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氮化处理对ITO薄膜光电特性影响
被引量:
1
1
作者
杨盟
刁训刚
+2 位作者
刘海鹰
武哲
舒远杰
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第9期1518-1521,共4页
利用射频磁控溅射在玻璃衬底上制备了氧化铟锡(ITO)薄膜,分别采用两种方法对薄膜进行氮化处理,即:(1)利用氩气溅射在室温下制备薄膜,随后在氮气和氨气气氛下对薄膜进行热处理;(2)利用氩气/氮气共溅射成膜。利用X射线衍射、霍尔效应、UV-...
利用射频磁控溅射在玻璃衬底上制备了氧化铟锡(ITO)薄膜,分别采用两种方法对薄膜进行氮化处理,即:(1)利用氩气溅射在室温下制备薄膜,随后在氮气和氨气气氛下对薄膜进行热处理;(2)利用氩气/氮气共溅射成膜。利用X射线衍射、霍尔效应、UV-vis-NIR分光光度计等测试手段对薄膜样品进行表征,对比研究了两种氮化处理方法对ITO薄膜光电特性的影响。结果发现对于低温生长的薄膜,两种方法均能明显提高其在可见光区的透过率。氩气/氮气共溅射的方法会降低薄膜的结晶程度,降低载流子浓度,但使得其紫外/可见/近红外光谱发生明显红移;而热处理方法则能增加薄膜的结晶程度,提高其导电能力。
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关键词
射频磁控溅射
氨气
和氮气气氛下
热处理
氮气共溅射
ITO薄膜
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职称材料
海底微生物燃料电池碳毡阴极氨气改性及其电化学性能
2
作者
李佳
李洋
+5 位作者
毛楚儒
赵鸿浩
郝耀康
侯少鑫
宰学荣
付玉彬
《材料开发与应用》
CAS
2020年第4期69-75,共7页
在不同温度(650℃、800℃、950℃)下对碳毡阴极进行氨气热处理,比较改性前后海底微生物燃料电池(MSMFCs)阴极的电化学性能.其中950℃改性阴极的电容密度(172.53 F/cm^2)是Blank组的3.03倍,交换电流密度是空白组的1.53倍,说明950℃氨气...
在不同温度(650℃、800℃、950℃)下对碳毡阴极进行氨气热处理,比较改性前后海底微生物燃料电池(MSMFCs)阴极的电化学性能.其中950℃改性阴极的电容密度(172.53 F/cm^2)是Blank组的3.03倍,交换电流密度是空白组的1.53倍,说明950℃氨气改性后阴极的抗极化能力更高;电荷转移电阻(34.09Ω)为Blank(90.96Ω)组的0.37倍,输出功率密度(569 mW/m^2)为Blank组(337 mW/m^2)的1.69倍.故950℃氨气处理碳毡阴极具有最佳的氧还原反应速率..
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关键词
海底微生物燃料电池
氨气热处理
氮掺杂阴极
电化学性能
电池性能
原文传递
题名
氮化处理对ITO薄膜光电特性影响
被引量:
1
1
作者
杨盟
刁训刚
刘海鹰
武哲
舒远杰
机构
北京航空航天大学理学院
北京航空航天大学航空科学与技术学院
中国工程物理研究院化工材料研究所
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006年第9期1518-1521,共4页
基金
国家自然科学基金重点资助项目(90305026)
中国工程物理研究院双百人才基金资助项目(2005R0504)
文摘
利用射频磁控溅射在玻璃衬底上制备了氧化铟锡(ITO)薄膜,分别采用两种方法对薄膜进行氮化处理,即:(1)利用氩气溅射在室温下制备薄膜,随后在氮气和氨气气氛下对薄膜进行热处理;(2)利用氩气/氮气共溅射成膜。利用X射线衍射、霍尔效应、UV-vis-NIR分光光度计等测试手段对薄膜样品进行表征,对比研究了两种氮化处理方法对ITO薄膜光电特性的影响。结果发现对于低温生长的薄膜,两种方法均能明显提高其在可见光区的透过率。氩气/氮气共溅射的方法会降低薄膜的结晶程度,降低载流子浓度,但使得其紫外/可见/近红外光谱发生明显红移;而热处理方法则能增加薄膜的结晶程度,提高其导电能力。
关键词
射频磁控溅射
氨气
和氮气气氛下
热处理
氮气共溅射
ITO薄膜
Keywords
r. f. magnetron sputtering
annealing in ammonia and nitrogen
N2 co-sputtering
ITO film
分类号
TB43 [一般工业技术]
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职称材料
题名
海底微生物燃料电池碳毡阴极氨气改性及其电化学性能
2
作者
李佳
李洋
毛楚儒
赵鸿浩
郝耀康
侯少鑫
宰学荣
付玉彬
机构
中国海洋大学材料科学与工程学院
中国海洋大学化学化工学院
出处
《材料开发与应用》
CAS
2020年第4期69-75,共7页
文摘
在不同温度(650℃、800℃、950℃)下对碳毡阴极进行氨气热处理,比较改性前后海底微生物燃料电池(MSMFCs)阴极的电化学性能.其中950℃改性阴极的电容密度(172.53 F/cm^2)是Blank组的3.03倍,交换电流密度是空白组的1.53倍,说明950℃氨气改性后阴极的抗极化能力更高;电荷转移电阻(34.09Ω)为Blank(90.96Ω)组的0.37倍,输出功率密度(569 mW/m^2)为Blank组(337 mW/m^2)的1.69倍.故950℃氨气处理碳毡阴极具有最佳的氧还原反应速率..
关键词
海底微生物燃料电池
氨气热处理
氮掺杂阴极
电化学性能
电池性能
Keywords
marine sediment microbial fuel cell
ammonia heat treatment
nitrogen—doped cathode
electrochemical performance
battery performance
分类号
TM911 [电气工程—电力电子与电力传动]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氮化处理对ITO薄膜光电特性影响
杨盟
刁训刚
刘海鹰
武哲
舒远杰
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2006
1
下载PDF
职称材料
2
海底微生物燃料电池碳毡阴极氨气改性及其电化学性能
李佳
李洋
毛楚儒
赵鸿浩
郝耀康
侯少鑫
宰学荣
付玉彬
《材料开发与应用》
CAS
2020
0
原文传递
已选择
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