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氩气气压对铝丝电爆炸合成纳米粉体特性的影响
被引量:
9
1
作者
刘隆晨
张乔根
+3 位作者
燕文宇
王喆
张璐
铁维昊
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第7期1710-1715,共6页
为了研究氩气气压对铝丝电爆炸法合成的铝纳米粉体特性的影响,建立了一台基于金属丝电爆炸的纳米粉体生产和收集装置,在不同氩气气压条件下成功地制备了铝纳米粉体。利用透射电子显微镜(TEM)观察了合成的铝纳米粉体的形态与结构,并通过...
为了研究氩气气压对铝丝电爆炸法合成的铝纳米粉体特性的影响,建立了一台基于金属丝电爆炸的纳米粉体生产和收集装置,在不同氩气气压条件下成功地制备了铝纳米粉体。利用透射电子显微镜(TEM)观察了合成的铝纳米粉体的形态与结构,并通过TEM图像分析得到了铝纳米粉体的粒径大小及其分布。结果表明:当氩气气压较高时,铝纳米粉体颗粒外形规则,呈球形;其平均粒径比低气压时大;当氩气气压<100kPa时,较高的氩气气压可显著地扩宽铝纳米粉体的粒径分布范围。分析发现,采用这种方法制备的铝纳米粉体的颗粒外形、颗粒粒径及其粒径分布均可以通过改变氩气气压来进行控制。
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关键词
金属丝电爆炸
氩气气压
铝纳米粉体
颗粒形态
粒径分布
平均粒径
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职称材料
不同氩气气压下钒靶HIPIMS放电特性的演变
被引量:
5
2
作者
李春伟
田修波
+1 位作者
巩春志
许建平
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第8期103-109,共7页
目的以V靶为例,研究高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)放电时不同工作气压下靶脉冲电流及等离子体发射光谱的表现形式和演变规律,为HIPIMS技术的进一步广泛应用提供理论依据。方法利用数字示波器采集HIPIMS脉冲放电电流波形,并利用发射光谱仪...
目的以V靶为例,研究高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)放电时不同工作气压下靶脉冲电流及等离子体发射光谱的表现形式和演变规律,为HIPIMS技术的进一步广泛应用提供理论依据。方法利用数字示波器采集HIPIMS脉冲放电电流波形,并利用发射光谱仪记录不同放电状态下的光谱谱线,分析不同气压下V靶HIPIMS放电特性的演变规律。同时,利用HIPIMS技术成功制备了V膜,并利用扫描电子显微镜观察了V膜的截面形貌。结果不同氩气气压下,随着靶脉冲电压的增加,靶电流峰值、靶电流平台值及靶电流平均值均单调增加,而且增加的速度越来越快,但靶电流峰值的增加速度明显高于平台值,这是由于脉冲峰值电流由气体放电决定所致。不同气压下,Ar0、Ar+、V0和V+四种谱线峰的光谱强度均随靶电压的增加而增加,相同靶电压时,其光谱强度随着气压的增加而增加。当气压为0.9 Pa、靶电压为610 V时,Ar和V的离化率分别为78%和35%。此外,利用HIPIMS技术制备的V膜光滑、致密,无柱状晶生长形貌特征。结论较高的工作气压和靶脉冲电压有利于获得较高的系统粒子离化率,但HIPIMS放电存在不稳定性。合适的工作气压是获得优质膜层的关键。
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关键词
高功率脉冲磁控溅射
氩气气压
V靶
放电靶电流
放电光谱特性
V薄膜
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职称材料
大气压氩气条件低载气流量DBD放电特性
被引量:
7
3
作者
刘仕维
姜楠
+3 位作者
王世强
郭亚逢
李杰
吴彦
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期1988-1995,共8页
为探究大气压氩气条件低载气流量下介质阻挡放电的放电特性,通过拍摄放电图像、光谱分析、测量放电波形图等手段研究了大气压氩气条件下介质阻挡放电(DBD)的放电特性。分别考察了电压、频率、气隙间距和载气流量等参数对DBD特性的影...
为探究大气压氩气条件低载气流量下介质阻挡放电的放电特性,通过拍摄放电图像、光谱分析、测量放电波形图等手段研究了大气压氩气条件下介质阻挡放电(DBD)的放电特性。分别考察了电压、频率、气隙间距和载气流量等参数对DBD特性的影响。实验结果表明:提高外加电压幅值和频率可以显著增强放电功率。提高电压幅值会产生更多的高能电子,提高放电频率可以改变高能电子的分布,使得高能量电子数密度升高,低能量电子数密度下降。气隙间距的减小可以明显提高放电均匀性。载气流量增大时,放电强度下降,但放电均匀性会得到提高。
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关键词
介质阻挡放电
等离子体
放电特性
大
气压
氩气
气体放电
低载气流量
下载PDF
职称材料
大气压氩气放电中的斑图形成
被引量:
16
4
作者
尹增谦
柴志方
+1 位作者
董丽芳
李雪辰
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期925-928,共4页
采用双水电极的介质阻挡放电装置 ,在混有 0 .5 %空气的大气压氩气放电中观察到了六边形及正方网格斑图 ;测量了正方网格中的微放电的时间行为 ,发现相邻两次放电的时间间隔是长短交替的 ;
关键词
大
气压
氩气
放电
微放电
正方网格
自组织斑图
气体放电
六边形网格
介质阻挡放电
原文传递
同轴和平行平板介质阻挡放电特性研究
5
作者
李雪辰
贾鹏英
《河北大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2007年第S1期1-3,共3页
分别利用同轴和平行平板介质阻挡放电装置,在流动大气压氩气中实现了稳定的放电.利用电学方法对两装置的放电电流进行了比较,研究发现两装置外加电压每半周期都放电1次,但平行平板装置的放电电流脉冲是对称的,而同轴装置外加电压正负半...
分别利用同轴和平行平板介质阻挡放电装置,在流动大气压氩气中实现了稳定的放电.利用电学方法对两装置的放电电流进行了比较,研究发现两装置外加电压每半周期都放电1次,但平行平板装置的放电电流脉冲是对称的,而同轴装置外加电压正负半周的放电电流幅度和宽度明显不对称.通过分析放电动力学过程,对这一实验现象进行了定性解释.该结果对介质阻挡放电动力学过程的研究具有重要价值.
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关键词
介质阻挡放电
大
气压
氩气
电流脉冲
动力学
下载PDF
职称材料
溅射气压对Ge_2Sb_2Te_5薄膜光学常数的影响
6
作者
谢泉
侯立松
+3 位作者
干福熹
阮昊
李晶
李进延
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第3期313-316,共4页
实验研究了氩气气压对溅射制备的Ge2 Sb2 Te5 薄膜的光学常数随波长变化的影响 ,结果表明 :随薄膜制备时氩气气压的增加 ,Ge2 Sb2 Te5 薄膜的折射率n先增大后减小 ,而消光系数k先减小后增大。二者都随波长的变化而变化 ,且在长波长范围...
实验研究了氩气气压对溅射制备的Ge2 Sb2 Te5 薄膜的光学常数随波长变化的影响 ,结果表明 :随薄膜制备时氩气气压的增加 ,Ge2 Sb2 Te5 薄膜的折射率n先增大后减小 ,而消光系数k先减小后增大。二者都随波长的变化而变化 ,且在长波长范围变化较大 ,短波长范围变化较小 ,解释了溅射气压对Ge2 Sb2 Te5
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关键词
氩气气压
光学常数
GE2SB2TE5薄膜
溅射
气压
碲锑锗薄膜
原文传递
题名
氩气气压对铝丝电爆炸合成纳米粉体特性的影响
被引量:
9
1
作者
刘隆晨
张乔根
燕文宇
王喆
张璐
铁维昊
机构
西安交通大学电气工程学院
出处
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第7期1710-1715,共6页
文摘
为了研究氩气气压对铝丝电爆炸法合成的铝纳米粉体特性的影响,建立了一台基于金属丝电爆炸的纳米粉体生产和收集装置,在不同氩气气压条件下成功地制备了铝纳米粉体。利用透射电子显微镜(TEM)观察了合成的铝纳米粉体的形态与结构,并通过TEM图像分析得到了铝纳米粉体的粒径大小及其分布。结果表明:当氩气气压较高时,铝纳米粉体颗粒外形规则,呈球形;其平均粒径比低气压时大;当氩气气压<100kPa时,较高的氩气气压可显著地扩宽铝纳米粉体的粒径分布范围。分析发现,采用这种方法制备的铝纳米粉体的颗粒外形、颗粒粒径及其粒径分布均可以通过改变氩气气压来进行控制。
关键词
金属丝电爆炸
氩气气压
铝纳米粉体
颗粒形态
粒径分布
平均粒径
Keywords
electrical explosion of wire
pressure of argon gas
aluminum nanopowders
particle morphology
particle size distribution
count mean diameter
分类号
TB383.1 [一般工业技术—材料科学与工程]
下载PDF
职称材料
题名
不同氩气气压下钒靶HIPIMS放电特性的演变
被引量:
5
2
作者
李春伟
田修波
巩春志
许建平
机构
东北林业大学工程技术学院
哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室
东北林业大学林业工程博士后流动站
黑龙江工程学院材料与化学工程系
出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第8期103-109,共7页
基金
中央高校基本科研业务费专项资金项目资助(2572015CB07)
黑龙江省科学基金项目资助(QC2016053)
+3 种基金
中国博士后科学基金项目资助(2016M590273)
国家自然科学基金项目资助(U1330110
51175118)
黑龙江省教育厅科学技术研究项目资助(12523008)~~
文摘
目的以V靶为例,研究高功率脉冲磁控溅射(HIPIMS)放电时不同工作气压下靶脉冲电流及等离子体发射光谱的表现形式和演变规律,为HIPIMS技术的进一步广泛应用提供理论依据。方法利用数字示波器采集HIPIMS脉冲放电电流波形,并利用发射光谱仪记录不同放电状态下的光谱谱线,分析不同气压下V靶HIPIMS放电特性的演变规律。同时,利用HIPIMS技术成功制备了V膜,并利用扫描电子显微镜观察了V膜的截面形貌。结果不同氩气气压下,随着靶脉冲电压的增加,靶电流峰值、靶电流平台值及靶电流平均值均单调增加,而且增加的速度越来越快,但靶电流峰值的增加速度明显高于平台值,这是由于脉冲峰值电流由气体放电决定所致。不同气压下,Ar0、Ar+、V0和V+四种谱线峰的光谱强度均随靶电压的增加而增加,相同靶电压时,其光谱强度随着气压的增加而增加。当气压为0.9 Pa、靶电压为610 V时,Ar和V的离化率分别为78%和35%。此外,利用HIPIMS技术制备的V膜光滑、致密,无柱状晶生长形貌特征。结论较高的工作气压和靶脉冲电压有利于获得较高的系统粒子离化率,但HIPIMS放电存在不稳定性。合适的工作气压是获得优质膜层的关键。
关键词
高功率脉冲磁控溅射
氩气气压
V靶
放电靶电流
放电光谱特性
V薄膜
Keywords
high power impulse magnetron sputtering
argon pressure
vanadium target
discharge target current
spectral characteristics
vanadium films
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
大气压氩气条件低载气流量DBD放电特性
被引量:
7
3
作者
刘仕维
姜楠
王世强
郭亚逢
李杰
吴彦
机构
大连理工大学电气工程学院
中国石油化工股份有限公司青岛安全工程研究院
出处
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018年第6期1988-1995,共8页
基金
国家自然科学基金(51177007
51507026)
国家博士后科学基金(2015M580223)~~
文摘
为探究大气压氩气条件低载气流量下介质阻挡放电的放电特性,通过拍摄放电图像、光谱分析、测量放电波形图等手段研究了大气压氩气条件下介质阻挡放电(DBD)的放电特性。分别考察了电压、频率、气隙间距和载气流量等参数对DBD特性的影响。实验结果表明:提高外加电压幅值和频率可以显著增强放电功率。提高电压幅值会产生更多的高能电子,提高放电频率可以改变高能电子的分布,使得高能量电子数密度升高,低能量电子数密度下降。气隙间距的减小可以明显提高放电均匀性。载气流量增大时,放电强度下降,但放电均匀性会得到提高。
关键词
介质阻挡放电
等离子体
放电特性
大
气压
氩气
气体放电
低载气流量
Keywords
dielectric barrier discharge
plasma: discharge characteristic
atmosphere pressure with argon
gas discharge
low flow rate
分类号
O461.2 [理学—电子物理学]
下载PDF
职称材料
题名
大气压氩气放电中的斑图形成
被引量:
16
4
作者
尹增谦
柴志方
董丽芳
李雪辰
机构
河北大学物理科学与技术学院
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期925-928,共4页
基金
河北省科学攻关项目 (批准号 :0 12 12 180 )
教育部科学研究重点项目 (批准号 :0 2 0 2 0 )资助的课题~~
文摘
采用双水电极的介质阻挡放电装置 ,在混有 0 .5 %空气的大气压氩气放电中观察到了六边形及正方网格斑图 ;测量了正方网格中的微放电的时间行为 ,发现相邻两次放电的时间间隔是长短交替的 ;
关键词
大
气压
氩气
放电
微放电
正方网格
自组织斑图
气体放电
六边形网格
介质阻挡放电
Keywords
gas discharge
pattern
micro-discharge
分类号
O461 [理学—电子物理学]
原文传递
题名
同轴和平行平板介质阻挡放电特性研究
5
作者
李雪辰
贾鹏英
机构
河北大学物理科学与技术学院
出处
《河北大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2007年第S1期1-3,共3页
基金
国家自然科学基金资助项目(10647123)
河北省自然科学基金项目(A2007000134)
河北省教育厅项目(2006106)
文摘
分别利用同轴和平行平板介质阻挡放电装置,在流动大气压氩气中实现了稳定的放电.利用电学方法对两装置的放电电流进行了比较,研究发现两装置外加电压每半周期都放电1次,但平行平板装置的放电电流脉冲是对称的,而同轴装置外加电压正负半周的放电电流幅度和宽度明显不对称.通过分析放电动力学过程,对这一实验现象进行了定性解释.该结果对介质阻挡放电动力学过程的研究具有重要价值.
关键词
介质阻挡放电
大
气压
氩气
电流脉冲
动力学
Keywords
dielectric barrier discharge
atmospheric pressure argon
discharge current pulse
dynamics
分类号
O461 [理学—电子物理学]
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职称材料
题名
溅射气压对Ge_2Sb_2Te_5薄膜光学常数的影响
6
作者
谢泉
侯立松
干福熹
阮昊
李晶
李进延
机构
长沙交通学院信息与计算科学系
中国科学院上海光学精密机械研究所
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第3期313-316,共4页
基金
国家自然科学基金重大项目!(5 9832 0 6 0 )
文摘
实验研究了氩气气压对溅射制备的Ge2 Sb2 Te5 薄膜的光学常数随波长变化的影响 ,结果表明 :随薄膜制备时氩气气压的增加 ,Ge2 Sb2 Te5 薄膜的折射率n先增大后减小 ,而消光系数k先减小后增大。二者都随波长的变化而变化 ,且在长波长范围变化较大 ,短波长范围变化较小 ,解释了溅射气压对Ge2 Sb2 Te5
关键词
氩气气压
光学常数
GE2SB2TE5薄膜
溅射
气压
碲锑锗薄膜
Keywords
Argon
Light extinction
Microstructure
Pressure
Refractive index
Sputtering
分类号
O484.41 [理学—固体物理]
TG14 [金属学及工艺—金属材料]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
氩气气压对铝丝电爆炸合成纳米粉体特性的影响
刘隆晨
张乔根
燕文宇
王喆
张璐
铁维昊
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013
9
下载PDF
职称材料
2
不同氩气气压下钒靶HIPIMS放电特性的演变
李春伟
田修波
巩春志
许建平
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
5
下载PDF
职称材料
3
大气压氩气条件低载气流量DBD放电特性
刘仕维
姜楠
王世强
郭亚逢
李杰
吴彦
《高电压技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2018
7
下载PDF
职称材料
4
大气压氩气放电中的斑图形成
尹增谦
柴志方
董丽芳
李雪辰
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
16
原文传递
5
同轴和平行平板介质阻挡放电特性研究
李雪辰
贾鹏英
《河北大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2007
0
下载PDF
职称材料
6
溅射气压对Ge_2Sb_2Te_5薄膜光学常数的影响
谢泉
侯立松
干福熹
阮昊
李晶
李进延
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
0
原文传递
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