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题名氩气浓度对热丝法化学气相沉积纳米金刚石膜的影响
被引量:3
- 1
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作者
任瑛
张贵锋(指导)
侯晓多
姜辛
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机构
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
德国锡根大学材料工程学院
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出处
《机械工程材料》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第11期61-64,共4页
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文摘
采用热丝化学气相沉积方法,以Ar+CH4+H2混合气体作为气源,通过改变氩气浓度,在单晶硅(100)基片上沉积纳米金刚石膜;采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、X射线衍射仪和拉曼光谱仪等分析了纳米金刚石膜的形貌、微结构以及残余应力。结果表明:随着氩气浓度的增大,膜的晶粒尺寸逐渐减小到纳米级;由于晶粒细化导致膜内残余应力由拉应力变为压应力,并且压应力随氩气浓度的增大呈现先增大后减小的趋势;当氩气体积分数为98%时,即在贫氢的气氛中成功获得了平均晶粒尺寸为54 nm、均方根粗糙度约为14.7 nm的纳米金刚石膜。
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关键词
纳米金刚石膜
热丝化学气相沉积
氩气浓度
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Keywords
nano-crystalline diamond film
hot filament chemical vapor deposition
Ar concentration
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分类号
TQ161.8
[化学工程—高温制品工业]
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题名管道内部氩气浓度对焊缝成型的影响
被引量:3
- 2
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作者
肖德铭
东岩
史文渊
张锡善
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机构
天津电力建设公司
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出处
《电力建设》
2011年第6期112-113,共2页
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文摘
通过采用氩气分析仪对不锈钢、马氏体钢等高合金钢在焊接过程中充氩的浓度大小进行测定,讨论氩气浓度的大小对不锈钢、马氏体钢等高合金钢焊缝内部质量的影响。试验表明:氩气浓度的大小对焊缝根部的保护效果有很大的影响,管道内部氩气浓度是制约焊缝内部质量的关键,是保障焊接质量的重要环节。
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关键词
马氏体钢
奥氏体不锈钢
氩气浓度
焊缝成型
内壁氧化
根部保护方式
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Keywords
martensite steel
austenitic stainless steel
argon concentration
weld configuration
innerwall oxidation
protection way for root of weld
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分类号
TM621.72
[电气工程—电力系统及自动化]
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题名氩气对MPCVD制备纳米金刚石薄膜的影响
被引量:2
- 3
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作者
任昱霖
张田田
黄宏伟
付秋明
马志斌
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机构
武汉工程大学材料科学与工程学院湖北省等离子体化学与新材料重点实验室
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出处
《人工晶体学报》
CSCD
北大核心
2017年第4期657-661,共5页
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基金
国家自然科学基金(11575134)
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文摘
纳米金刚石(NCD)在精密机械、光学真空窗口等领域具有广泛的应用。利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)以乙醇、氩气和氢气为气源,通过改变氩气浓度探究氩气对NCD膜光学性质的影响,利用扫描电子显微镜(SEM)、Raman光谱、X射线衍射仪(XRD)和红外光谱对不同氩气浓度沉积的薄膜的结构、成分和性质进行表征。结果表明,随着氩气浓度升高,NCD膜表面粗糙度降低,同时金刚石的纯度下降,在此作用下,NCD膜的透光性随氩气浓度先升高后降。
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关键词
纳米金刚石
MPCVD微波等离子体
光学性质
氩气浓度
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Keywords
nano diamond
MPCVD microwave plasma
optical property
argon concentration
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分类号
TQ163
[化学工程—高温制品工业]
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