高活性载氧体的化学链燃烧氩气纯化

一次单晶硅生产工艺后,氩气会受到CO、H2等杂质气体的污染,无法再次使用,且杂质气体浓度通常小于0.01%,传统方法(如物理吸附、化学吸附和催化氧化)难以高效直接进行脱除。基于此背景,本文提出"化学链燃烧净化回收氩气"技术,采用第一性原理计算对高活性载氧体材料进行筛选,选择并制备了CuCoFe三元尖晶石载氧体材料,实现了中温条件下对低浓度杂质气体的精确脱除,处理后的氩气中CO及H_2含量低于0.001%,回收氩气纯度>99.9998%,单次循环回收率>90%。