氪氖电子混合气体中杂质含量的测定

建立了一种氪氖电子混合气体中微量H_(2)、O_(2)、N_(2)、CH_(4)、CF_(4)、CO、CO_(2)的分析方法。采用多阀切割和多色谱柱分离的氦离子化气相色谱仪一次进样实现了氪氖电子混合气体中杂质的分离检测。经过方法验证,证明该方法能够达到较高的准确度和精密度。