多弧离子镀沉积氮化钛铝超硬膜的研究

采用多弧离子镀技术沉积氮化钛铝超硬反应膜。考查了沉积工艺参数对膜层组织表面形态的影响 ,进行了显微硬度测定分析及膜层耐磨性实验 ,确定了氮化钛铝超硬反应膜的最佳沉积工艺。