期刊导航
期刊开放获取
河南省图书馆
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
6
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式:
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
直流磁控溅射氮化铁薄膜生长的动力学标度
被引量:
1
1
作者
王欣
高丽娟
+4 位作者
于陕升
郑伟涛
徐娓
郭巍
杨开宇
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期431-434,T002,共5页
利用直流磁控溅射方法,以Ar/N2作为放电气体,通过改变放电气体中N2的流量(N2流量比分别为5%,10%,30%,50%)及溅射时间(160,30,20,10,5min),在玻璃衬底上沉积了FexN薄膜。用X射线光电子能谱(XPS)方法确定了不同N2流量下薄膜的成分;X射线衍...
利用直流磁控溅射方法,以Ar/N2作为放电气体,通过改变放电气体中N2的流量(N2流量比分别为5%,10%,30%,50%)及溅射时间(160,30,20,10,5min),在玻璃衬底上沉积了FexN薄膜。用X射线光电子能谱(XPS)方法确定了不同N2流量下薄膜的成分;X射线衍射(XRD)方法分析了不同N2流量下的FexN薄膜结构,当N2流量比为5%时获得了FeN0 056相,10%时为ε Fe3N相,30%和50%流量比下均得到FeN相。利用原子力显微镜(AFM)和掠入射X射线散射(GIXA)方法研究了膜表面的粗糙度和形貌,发现随着N2流量的增加,薄膜表面光滑度增加,薄膜表面呈现自仿射性质。动力学标度方法定量分析表明:薄膜表面因不同N2流量的影响而具有不同的动力学指数,当氮气流量比为5%时,静态标度指数α≈0 65,生长指数β≈0 53±0 02,薄膜生长符合基于Kolmogorov提出的能量波动概念的KPZ模型指数规律。
展开更多
关键词
氮化铁薄膜
直流磁控溅射
薄膜
生长
动力学标度
下载PDF
职称材料
非晶氮化铁薄膜的生长机制——传统动力学生长标度方法的适用性
2
作者
徐娓
王欣
+2 位作者
贾辉
郑伟涛
龙北红
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第11期2102-2105,共4页
采用动力学标度方法研究了磁控溅射沉积的非晶氮化铁薄膜的动力学生长机制,结果表明,具有连续类柱状岛形貌的非晶氮化铁薄膜具有标度不变的自仿射分形特点,其粗糙度指数α=0.82±0.21,生长指数β=0.44±0.07,动力学标度指数1/z=...
采用动力学标度方法研究了磁控溅射沉积的非晶氮化铁薄膜的动力学生长机制,结果表明,具有连续类柱状岛形貌的非晶氮化铁薄膜具有标度不变的自仿射分形特点,其粗糙度指数α=0.82±0.21,生长指数β=0.44±0.07,动力学标度指数1/z=0.54±0.07.薄膜生长符合提出的热重新发射生长模型.
展开更多
关键词
非晶
氮化铁薄膜
动力学标度方法
热重新发射模型
下载PDF
职称材料
氮化铁薄膜的制备及其磁电阻效应
3
作者
陈红霞
徐秀莲
+1 位作者
曾祥华
陈允鸿
《扬州大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
2002年第1期27-29,共3页
用磁控反应溅射法制备了铁和氮化铁薄膜 ,分别测出其 X射线衍射谱 ( XRD) ,分析表明存在氮化铁薄膜 .在室温下测量了制备态和退火样品的磁电阻 。
关键词
阴极溅射
氮化铁薄膜
磁膜
磁致电阻
磁电阻效应
磁控溅射法
磁感应强度
下载PDF
职称材料
氮化铁梯度薄膜的制备
被引量:
3
4
作者
姜恩永
刘晖
+2 位作者
刘明升
林川
孙多春
《材料研究学报》
EI
CAS
CSCD
1995年第1期50-54,共5页
用对向靶溅射仪制备了具有梯度结构的氮化铁薄膜材料.卢瑟福背散射分析结果表明,铁、氮两种原子的密度沿膜厚度方向呈梯度变化.在薄膜中有ζ-Fe2N,ε-FexN(2<x<3),γ′-Fe4N和α″-Fe16N2等物相.振...
用对向靶溅射仪制备了具有梯度结构的氮化铁薄膜材料.卢瑟福背散射分析结果表明,铁、氮两种原子的密度沿膜厚度方向呈梯度变化.在薄膜中有ζ-Fe2N,ε-FexN(2<x<3),γ′-Fe4N和α″-Fe16N2等物相.振动样品磁强计测试结果表明部分梯度膜的饱和磁化强度值接近纯铁膜,膜面富铁的梯度样品的矫顽力与基底富铁的梯度样品的矫顽力相差很大。
展开更多
关键词
对向靶溅射
氮化铁薄膜
梯度
薄膜
卢瑟福背散射
下载PDF
职称材料
梯度氮化铁的制备试验
5
作者
阚靖
邬祥忠
刘晖
《河北工业大学成人教育学院学报》
2000年第1期34-36,共3页
叙述了受梯度功能材料的启发 ,利用对向靶薄膜溅射仪制备梯度氮化铁薄膜的试验 ,对解决钢铁的耐腐蚀问题 。
关键词
梯度功能材料
对向靶
薄膜
浅射仪
梯度
氮化铁薄膜
卢瑟福散射能谱法
制备
钢
铁
抗腐蚀性
表面保护
下载PDF
职称材料
DC磁控溅射沉积Fe_xN薄膜成分及生长机制
被引量:
5
6
作者
王欣
高丽娟
+1 位作者
郑伟涛
徐跃
《吉林大学学报(理学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第4期397-399,共3页
使用直流磁控溅射方法,Ar/N2作为放电气体,在玻璃衬底上沉积FexN薄膜.利用X射线光电子能谱(XPS)、掠入射小角X射线散射(GISAXS)、X射线衍射(XRD)、掠入射非对称X射线衍射(GIAXD)和原子力显微镜(AFM)研究薄膜的成分和生长机制.实验结果表...
使用直流磁控溅射方法,Ar/N2作为放电气体,在玻璃衬底上沉积FexN薄膜.利用X射线光电子能谱(XPS)、掠入射小角X射线散射(GISAXS)、X射线衍射(XRD)、掠入射非对称X射线衍射(GIAXD)和原子力显微镜(AFM)研究薄膜的成分和生长机制.实验结果表明,在5%N2流量下获得FeN0.056单相化合物,薄膜中氮原子含量为14%,该值与α″-Fe16N2相中的氮原子的化学计量(11%)接近;GISAXS和AFM对薄膜表面分析表明,随溅射时间增加,薄膜变得愈加不光滑,用动力学标度的方法定量分析结果为:薄膜表面呈现自仿射性质,静态标度指数α≈0.65,生长指数β≈0.53±0.02,动力学标度指数z≈1.2,薄膜生长符合Kol-mogorov提出的能量波动概念的KPZ模型指数规律.
展开更多
关键词
薄膜
成分
FexN
薄膜
直流磁控溅射
生长机制
表面形貌
氮化铁薄膜
磁性
下载PDF
职称材料
题名
直流磁控溅射氮化铁薄膜生长的动力学标度
被引量:
1
1
作者
王欣
高丽娟
于陕升
郑伟涛
徐娓
郭巍
杨开宇
机构
吉林大学材料科学与工程学院
吉林大学化学系
吉林大学电子科学与工程学院
出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第4期431-434,T002,共5页
文摘
利用直流磁控溅射方法,以Ar/N2作为放电气体,通过改变放电气体中N2的流量(N2流量比分别为5%,10%,30%,50%)及溅射时间(160,30,20,10,5min),在玻璃衬底上沉积了FexN薄膜。用X射线光电子能谱(XPS)方法确定了不同N2流量下薄膜的成分;X射线衍射(XRD)方法分析了不同N2流量下的FexN薄膜结构,当N2流量比为5%时获得了FeN0 056相,10%时为ε Fe3N相,30%和50%流量比下均得到FeN相。利用原子力显微镜(AFM)和掠入射X射线散射(GIXA)方法研究了膜表面的粗糙度和形貌,发现随着N2流量的增加,薄膜表面光滑度增加,薄膜表面呈现自仿射性质。动力学标度方法定量分析表明:薄膜表面因不同N2流量的影响而具有不同的动力学指数,当氮气流量比为5%时,静态标度指数α≈0 65,生长指数β≈0 53±0 02,薄膜生长符合基于Kolmogorov提出的能量波动概念的KPZ模型指数规律。
关键词
氮化铁薄膜
直流磁控溅射
薄膜
生长
动力学标度
Keywords
iron nitride thin films
kinetic scaling
DC magnetron sputtering
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
非晶氮化铁薄膜的生长机制——传统动力学生长标度方法的适用性
2
作者
徐娓
王欣
贾辉
郑伟涛
龙北红
机构
吉林大学化学学院
吉林大学材料科学与工程学院
北华大学物理学院
出处
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第11期2102-2105,共4页
基金
国家自然科学基金(批准号:50525204)资助
文摘
采用动力学标度方法研究了磁控溅射沉积的非晶氮化铁薄膜的动力学生长机制,结果表明,具有连续类柱状岛形貌的非晶氮化铁薄膜具有标度不变的自仿射分形特点,其粗糙度指数α=0.82±0.21,生长指数β=0.44±0.07,动力学标度指数1/z=0.54±0.07.薄膜生长符合提出的热重新发射生长模型.
关键词
非晶
氮化铁薄膜
动力学标度方法
热重新发射模型
Keywords
Amorphous iron nitride thin films
Dynamic scaling approach
Thermal reemissions model
分类号
O643.1 [理学—物理化学]
O614 [理学—无机化学]
下载PDF
职称材料
题名
氮化铁薄膜的制备及其磁电阻效应
3
作者
陈红霞
徐秀莲
曾祥华
陈允鸿
机构
扬州大学理学院物理学系
出处
《扬州大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
2002年第1期27-29,共3页
基金
江苏省教委自然科学基金资助项目 (0 0 KJB140 0 10 )
国家自然科学基金资助项目 (6 0 0 72 0 32
79970 12 1)
文摘
用磁控反应溅射法制备了铁和氮化铁薄膜 ,分别测出其 X射线衍射谱 ( XRD) ,分析表明存在氮化铁薄膜 .在室温下测量了制备态和退火样品的磁电阻 。
关键词
阴极溅射
氮化铁薄膜
磁膜
磁致电阻
磁电阻效应
磁控溅射法
磁感应强度
Keywords
cathode sputtering
iron nitride
magnetic films
magnetoresistance
分类号
O484.43 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
氮化铁梯度薄膜的制备
被引量:
3
4
作者
姜恩永
刘晖
刘明升
林川
孙多春
机构
天津大学
出处
《材料研究学报》
EI
CAS
CSCD
1995年第1期50-54,共5页
基金
国家自然科学基金
文摘
用对向靶溅射仪制备了具有梯度结构的氮化铁薄膜材料.卢瑟福背散射分析结果表明,铁、氮两种原子的密度沿膜厚度方向呈梯度变化.在薄膜中有ζ-Fe2N,ε-FexN(2<x<3),γ′-Fe4N和α″-Fe16N2等物相.振动样品磁强计测试结果表明部分梯度膜的饱和磁化强度值接近纯铁膜,膜面富铁的梯度样品的矫顽力与基底富铁的梯度样品的矫顽力相差很大。
关键词
对向靶溅射
氮化铁薄膜
梯度
薄膜
卢瑟福背散射
Keywords
facing targets sputtering
iron nitrides thin films
functionally gradient thin films
Rutherford backscattering spectrometry
分类号
TB43 [一般工业技术]
O484 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
梯度氮化铁的制备试验
5
作者
阚靖
邬祥忠
刘晖
机构
天津市医药职大
天津理工学院
出处
《河北工业大学成人教育学院学报》
2000年第1期34-36,共3页
文摘
叙述了受梯度功能材料的启发 ,利用对向靶薄膜溅射仪制备梯度氮化铁薄膜的试验 ,对解决钢铁的耐腐蚀问题 。
关键词
梯度功能材料
对向靶
薄膜
浅射仪
梯度
氮化铁薄膜
卢瑟福散射能谱法
制备
钢
铁
抗腐蚀性
表面保护
分类号
TG174.45 [金属学及工艺—金属表面处理]
TG174.23 [金属学及工艺—金属表面处理]
下载PDF
职称材料
题名
DC磁控溅射沉积Fe_xN薄膜成分及生长机制
被引量:
5
6
作者
王欣
高丽娟
郑伟涛
徐跃
机构
吉林大学材料科学与工程学院
吉林大学分析测试中心
出处
《吉林大学学报(理学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第4期397-399,共3页
文摘
使用直流磁控溅射方法,Ar/N2作为放电气体,在玻璃衬底上沉积FexN薄膜.利用X射线光电子能谱(XPS)、掠入射小角X射线散射(GISAXS)、X射线衍射(XRD)、掠入射非对称X射线衍射(GIAXD)和原子力显微镜(AFM)研究薄膜的成分和生长机制.实验结果表明,在5%N2流量下获得FeN0.056单相化合物,薄膜中氮原子含量为14%,该值与α″-Fe16N2相中的氮原子的化学计量(11%)接近;GISAXS和AFM对薄膜表面分析表明,随溅射时间增加,薄膜变得愈加不光滑,用动力学标度的方法定量分析结果为:薄膜表面呈现自仿射性质,静态标度指数α≈0.65,生长指数β≈0.53±0.02,动力学标度指数z≈1.2,薄膜生长符合Kol-mogorov提出的能量波动概念的KPZ模型指数规律.
关键词
薄膜
成分
FexN
薄膜
直流磁控溅射
生长机制
表面形貌
氮化铁薄膜
磁性
Keywords
FexN film
DC magnetron sputtering
growth mechanism
分类号
O484.43 [理学—固体物理]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
直流磁控溅射氮化铁薄膜生长的动力学标度
王欣
高丽娟
于陕升
郑伟涛
徐娓
郭巍
杨开宇
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
1
下载PDF
职称材料
2
非晶氮化铁薄膜的生长机制——传统动力学生长标度方法的适用性
徐娓
王欣
贾辉
郑伟涛
龙北红
《高等学校化学学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
0
下载PDF
职称材料
3
氮化铁薄膜的制备及其磁电阻效应
陈红霞
徐秀莲
曾祥华
陈允鸿
《扬州大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
2002
0
下载PDF
职称材料
4
氮化铁梯度薄膜的制备
姜恩永
刘晖
刘明升
林川
孙多春
《材料研究学报》
EI
CAS
CSCD
1995
3
下载PDF
职称材料
5
梯度氮化铁的制备试验
阚靖
邬祥忠
刘晖
《河北工业大学成人教育学院学报》
2000
0
下载PDF
职称材料
6
DC磁控溅射沉积Fe_xN薄膜成分及生长机制
王欣
高丽娟
郑伟涛
徐跃
《吉林大学学报(理学版)》
CAS
CSCD
北大核心
2002
5
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部