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题名电弧离子镀制备(TiCr)N薄膜的微观结构及性能
被引量:17
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作者
刘燕燕
张庆瑜
林国强
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机构
大连理工大学三束材料改性国家重点实验室
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出处
《真空科学与技术》
CSCD
北大核心
2002年第4期299-302,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目 (No .5 0 0 710 17)
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文摘
利用电弧离子镀 (ArcIonPlating)方法 ,通过对独立的Ti靶和Cr靶的弧电流进行控制 ,成功地在高速钢 (HSS)基体上制备了不同成分配比的 (TiCr)N薄膜。采用X射线衍射 (XRD)分析显示 :薄膜为单一的fcc的结构、没有TiN或CrN相存在 ;薄膜呈 (2 2 0 )结构 ,薄膜的晶格常数随着Cr含量的增加而减小。透射电子显微镜 (TEM)结果表明 :(TiCr)N薄膜的晶粒尺度为2 0nm左右。显微硬度测试表明 :薄膜具有很高的硬度 ,而且随弧流比的变化 ,硬度值有一极大值。同时 ,本文探讨了 (TiCr)N薄膜的宏观残余应力。
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关键词
(TiCr)N薄膜
性能
电弧离子镀
微观结构
显微硬度
氮化铬钛
金属材料
表面处理
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Keywords
Arc ion plating,(TiCr)N coating,Microstructure,Microhardness
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分类号
TG174.444
[金属学及工艺—金属表面处理]
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题名纳米钛铬氧氮化物粉体
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出处
《科技开发动态》
2003年第3期33-33,共1页
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关键词
纳米钛铬氧氮化物粉体
制备方法
技术特征
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分类号
TB321
[一般工业技术—材料科学与工程]
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