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溅射功率对氮化锌薄膜特性的影响
被引量:
2
1
作者
杨田林
贾绍辉
+4 位作者
刘先平
宋淑梅
李延辉
辛艳青
王雪霞
《光电子技术》
CAS
北大核心
2013年第3期155-159,共5页
在玻璃衬底上通过磁控反应溅射法,利用纯金属Zn靶,在N2-Ar等离子体氛围中制备出氮化锌薄膜。X射线衍射谱表明氮化锌具有(4 0 0)择优取向,反方铁锰矿结构。研究了溅射功率对氮化锌薄膜结构、电学及光学性质的影响。
关键词
氮化锌薄膜
磁控反应溅射法
结构特性
电学特性
光学特性
下载PDF
职称材料
衬底温度对氮化锌薄膜特性的影响
被引量:
2
2
作者
邵士运
陈俊芳
+2 位作者
赵益冉
冯军勤
高鹏
《华南师范大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2012年第4期66-69,共4页
采用直流磁控溅射的方法,在不同温度的玻璃衬底上生长Zn3N2薄膜.研究了衬底温度对样品的微结构、表面形貌以及光学性质的影响.结果表明,随着衬底温度的升高,生长的Zn3N2薄膜择优取向增多;晶粒尺寸逐渐变大;Zn3N2薄膜间接光学带隙由1.86...
采用直流磁控溅射的方法,在不同温度的玻璃衬底上生长Zn3N2薄膜.研究了衬底温度对样品的微结构、表面形貌以及光学性质的影响.结果表明,随着衬底温度的升高,生长的Zn3N2薄膜择优取向增多;晶粒尺寸逐渐变大;Zn3N2薄膜间接光学带隙由1.86 eV逐渐增大到2.26 eV.
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关键词
氮化锌薄膜
直流磁控溅射
表面形貌
光学带隙
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职称材料
射频磁控溅射制备氮化锌薄膜的椭圆偏振光谱研究
被引量:
1
3
作者
陈仁刚
邓金祥
+5 位作者
陈亮
孔乐
崔敏
高学飞
庞天奇
苗一鸣
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第13期368-375,共8页
在不同的衬底温度下,使用反应射频磁控溅射法,在玻璃衬底上制备了氮化锌薄膜样品.用X射线衍射仪、原子力显微镜和椭偏仪对薄膜的晶体结构、表面形貌、光学性质进行了表征分析.薄膜的晶粒尺寸会随着衬底温度的升高先增大后减小,在200?C...
在不同的衬底温度下,使用反应射频磁控溅射法,在玻璃衬底上制备了氮化锌薄膜样品.用X射线衍射仪、原子力显微镜和椭偏仪对薄膜的晶体结构、表面形貌、光学性质进行了表征分析.薄膜的晶粒尺寸会随着衬底温度的升高先增大后减小,在200?C时薄膜的结晶性最好.用椭偏仪测试样品,建立物理模型计算出氮化锌薄膜在430—850 nm范围内的折射率和消光系数等光学参数.利用Tauc公式计算出氮化锌薄膜的光学带隙在1.73—1.79 eV之间.
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关键词
氮化锌薄膜
X射线衍射
椭偏光谱
光学参数
原文传递
题名
溅射功率对氮化锌薄膜特性的影响
被引量:
2
1
作者
杨田林
贾绍辉
刘先平
宋淑梅
李延辉
辛艳青
王雪霞
机构
山东大学(威海)空间科学与物理学院
威海蓝星玻璃股份有限公司
威海中玻光电有限公司
出处
《光电子技术》
CAS
北大核心
2013年第3期155-159,共5页
文摘
在玻璃衬底上通过磁控反应溅射法,利用纯金属Zn靶,在N2-Ar等离子体氛围中制备出氮化锌薄膜。X射线衍射谱表明氮化锌具有(4 0 0)择优取向,反方铁锰矿结构。研究了溅射功率对氮化锌薄膜结构、电学及光学性质的影响。
关键词
氮化锌薄膜
磁控反应溅射法
结构特性
电学特性
光学特性
Keywords
zinc nitride film
magnetron sputtering structural property
optical property
electricalproperty
分类号
TN304.2 [电子电信—物理电子学]
TN305.8 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
衬底温度对氮化锌薄膜特性的影响
被引量:
2
2
作者
邵士运
陈俊芳
赵益冉
冯军勤
高鹏
机构
华南师范大学物理与电信工程学院量子信息技术重点实验室
华南师范大学实验中心
出处
《华南师范大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2012年第4期66-69,共4页
基金
国家自然科学基金项目(61072028)
广东省自然科学基金项目(10151063101000048)
文摘
采用直流磁控溅射的方法,在不同温度的玻璃衬底上生长Zn3N2薄膜.研究了衬底温度对样品的微结构、表面形貌以及光学性质的影响.结果表明,随着衬底温度的升高,生长的Zn3N2薄膜择优取向增多;晶粒尺寸逐渐变大;Zn3N2薄膜间接光学带隙由1.86 eV逐渐增大到2.26 eV.
关键词
氮化锌薄膜
直流磁控溅射
表面形貌
光学带隙
Keywords
zinc nitride films
DC magnetron sputtering
surface morphology
optical band gap
分类号
TN304 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
射频磁控溅射制备氮化锌薄膜的椭圆偏振光谱研究
被引量:
1
3
作者
陈仁刚
邓金祥
陈亮
孔乐
崔敏
高学飞
庞天奇
苗一鸣
机构
北京工业大学应用数理学院
出处
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第13期368-375,共8页
基金
国家自然科学基金(批准号:60876006
60376007)
北京市教育委员会科技计划重点项目(批准号:KZ201410005008)资助的课题~~
文摘
在不同的衬底温度下,使用反应射频磁控溅射法,在玻璃衬底上制备了氮化锌薄膜样品.用X射线衍射仪、原子力显微镜和椭偏仪对薄膜的晶体结构、表面形貌、光学性质进行了表征分析.薄膜的晶粒尺寸会随着衬底温度的升高先增大后减小,在200?C时薄膜的结晶性最好.用椭偏仪测试样品,建立物理模型计算出氮化锌薄膜在430—850 nm范围内的折射率和消光系数等光学参数.利用Tauc公式计算出氮化锌薄膜的光学带隙在1.73—1.79 eV之间.
关键词
氮化锌薄膜
X射线衍射
椭偏光谱
光学参数
Keywords
Zinc nitride thin film
XRD
spectroscopic ellipsometry
optical constants
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
溅射功率对氮化锌薄膜特性的影响
杨田林
贾绍辉
刘先平
宋淑梅
李延辉
辛艳青
王雪霞
《光电子技术》
CAS
北大核心
2013
2
下载PDF
职称材料
2
衬底温度对氮化锌薄膜特性的影响
邵士运
陈俊芳
赵益冉
冯军勤
高鹏
《华南师范大学学报(自然科学版)》
CAS
北大核心
2012
2
下载PDF
职称材料
3
射频磁控溅射制备氮化锌薄膜的椭圆偏振光谱研究
陈仁刚
邓金祥
陈亮
孔乐
崔敏
高学飞
庞天奇
苗一鸣
《物理学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
1
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