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高功率脉冲磁控溅射ZrN纳米薄膜制备及性能研究
被引量:
7
1
作者
吴忠振
田修波
+2 位作者
段伟赞
巩春志
杨士勤
《材料研究学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期561-566,共6页
采用高功率复合脉冲磁控溅射的方法(HPPMS)在不锈钢基体上制备ZrN纳米薄膜,并研究了不同的工作气压对薄膜形貌、相结构及各种性能的影响。采用SEM、XRD对其表面形貌和结构进行分析,发现制备的薄膜表面光滑、致密,无大颗粒,主要以ZrN(111...
采用高功率复合脉冲磁控溅射的方法(HPPMS)在不锈钢基体上制备ZrN纳米薄膜,并研究了不同的工作气压对薄膜形貌、相结构及各种性能的影响。采用SEM、XRD对其表面形貌和结构进行分析,发现制备的薄膜表面光滑、致密,无大颗粒,主要以ZrN(111)和ZrN(220)晶面择优生长,并呈现出多晶面竞相生长的现象。对薄膜硬度、弹性模量、耐磨性和耐腐蚀性的测试发现薄膜具有很高的硬度,最高可达33.1 GPa,同时摩擦系数均小于0.2,耐腐蚀性也都有很大提高,腐蚀电位比基体提高了0.28 V,腐蚀电流下降到未处理工件的1/5。工作气压较低时,薄膜耐磨耐蚀性能都较好,但在较高气压时,耐磨耐蚀性能出现一定的下降。
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关键词
材料表面与界面
高功率脉冲磁控溅射
氮化镐
微观结构
表面性能
原文传递
题名
高功率脉冲磁控溅射ZrN纳米薄膜制备及性能研究
被引量:
7
1
作者
吴忠振
田修波
段伟赞
巩春志
杨士勤
机构
哈尔滨工业大学现代焊接生产技术国家重点实验室
出处
《材料研究学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期561-566,共6页
基金
国家自然科学基金10775036和50773015
新世纪优秀人才计划资助项目~~
文摘
采用高功率复合脉冲磁控溅射的方法(HPPMS)在不锈钢基体上制备ZrN纳米薄膜,并研究了不同的工作气压对薄膜形貌、相结构及各种性能的影响。采用SEM、XRD对其表面形貌和结构进行分析,发现制备的薄膜表面光滑、致密,无大颗粒,主要以ZrN(111)和ZrN(220)晶面择优生长,并呈现出多晶面竞相生长的现象。对薄膜硬度、弹性模量、耐磨性和耐腐蚀性的测试发现薄膜具有很高的硬度,最高可达33.1 GPa,同时摩擦系数均小于0.2,耐腐蚀性也都有很大提高,腐蚀电位比基体提高了0.28 V,腐蚀电流下降到未处理工件的1/5。工作气压较低时,薄膜耐磨耐蚀性能都较好,但在较高气压时,耐磨耐蚀性能出现一定的下降。
关键词
材料表面与界面
高功率脉冲磁控溅射
氮化镐
微观结构
表面性能
Keywords
surface and interface in the materials
high power pulsed magnetron sputtering
ZrN
micro-structure
surface properties
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高功率脉冲磁控溅射ZrN纳米薄膜制备及性能研究
吴忠振
田修波
段伟赞
巩春志
杨士勤
《材料研究学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
7
原文传递
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参考文献
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