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超纯氮气纯化器的稳定性因素分析
1
作者
刘松青
刘君伟
+2 位作者
李文豪
霍金虎
赵冰
《集成电路应用》
2022年第2期42-43,共2页
阐述氮气纯化器为多部份组成设备,对每一组成部分定期维护可提前发现问题,对特定的组成部分做定期保养可降低该组成单元的故障率,提高氮气纯化器的稳定性。
关键词
氮气纯化器
稳定因素
温控系统
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职称材料
题名
超纯氮气纯化器的稳定性因素分析
1
作者
刘松青
刘君伟
李文豪
霍金虎
赵冰
机构
大连华邦化学有限公司
出处
《集成电路应用》
2022年第2期42-43,共2页
文摘
阐述氮气纯化器为多部份组成设备,对每一组成部分定期维护可提前发现问题,对特定的组成部分做定期保养可降低该组成单元的故障率,提高氮气纯化器的稳定性。
关键词
氮气纯化器
稳定因素
温控系统
Keywords
nitrogen purifier
stability factor
temperature control system
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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作者
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1
超纯氮气纯化器的稳定性因素分析
刘松青
刘君伟
李文豪
霍金虎
赵冰
《集成电路应用》
2022
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