XeCl激光与铜蒸气激光诱导硅中掺硼的比较

讨论了XeCl激光和铜蒸气激光（CVL）诱导硅中掺硼的实验比较结果。CVL诱导掺硼是首次由本课题完成的。激光掺杂之P－N结结深可小于0．2μm，表面硼浓度大于1021cm-3。CVL激光掺杂制成的太阳能电池最高光电效率比XeCl激光高8％，表明CVL激光在激光诱导掺杂中具有明显优势。

一体化XeCl准分子激光振荡－放大系统

采用“一体化自放大”技术，从实验上研究了ＸｅＣｌ激光器振荡－放大一体化的特性，获得了自放大输出的明显结果，并分析了自放大的内在要求。结果及理论分析表明，这种系统可适用于高增益激光系统的光束质量的改善，并用于准分子激光器件的窄带高功率输出的获得。

放电泵浦XeCl准分子激光器虚共焦非稳腔性能的实验研究

在放电泵浦ＸｅＣｌ准分子激光器上，对放大率Ｍ从１．８０到２０．５６共十一种虚共焦非稳腔的光束水平、竖直方向发散角θ∥，θ⊥，能量Ｅ，近场光强Ｉｏｕｔ及远场功率密度ρ在不同泵浦速率下随Ｍ的变化关系进行系统的实验研究。

XeCl与XeBr激光同时振荡的时间特性

本文首次报道了ＸｅＣｌ与ＸｅＢｒ两激光在双振荡过程中的时间关系，给出了影响这一时间关系的因素。并就其中的动力学过程作了定性的讨论。