驱动波形对氯化氪准分子灯222nm辐射效率的影响

提出了一种测量KrCl*准分子灯222 nm辐射效率的辐射度学方法。KrCl*准分子灯为同轴结构,内管和外管的内,外径分别为14,16和37,40 mm。灯中充有总气压为2×104Pa的氯气(Cl2)和氪气(Kr),其中含0.5%的氯气。KrCl*准分子灯用正弦和脉冲电源来驱动。用紫外功率计测量222 nm辐照度,辐射功率由Keitz公式计算。灯的电功率则通过高压探头和电流互感器结合示波器测量得出。结果表明,KrCl*准分子灯在脉冲电源驱动下的最佳效率(11.4%)是正弦电源的2倍。

管壁厚度和方波电源频率对氯化氪准分子灯效率的影响

本文介绍了基于介质阻挡放电(DBD)的KrCl*准分子灯的光谱、输入功率以及222nm的辐射效率。KrCl*准分子灯为同轴结构,内管内/外径为14/16mm,外管外径为40mm,壁厚分别为1.2,1.5,2.0mm。灯中充有1.5Torr氯气(Cl2)和148.5Torr氪气(Kr),总气压为150Torr。灯用方波电源来驱动。222nm的辐射功率由Keitz公式计算得出,而灯电功率则通过高压探头和电流互感器结合示波器测量得出。结果表明,管壁越薄效率越高,1.2mm壁厚的KrCl*准分子灯在方波电源驱动下的最佳效率为8.1%.在40～70kHz范围内,方波频率对效率的影响不大,70kHz略好。文中还讨论了输入功率、管壁温度和石英管透过率对效率的影响。

正弦电源驱动下氯化氪准分子灯的特性研究

介绍了基于介质阻挡放电的氯化氪(KrCl*)准分子灯的光谱、输入功率以及222 nm的辐射效率.KrCl*准分子灯为同轴结构,内管和外管的内/外径分别为14/16,37.6/40 mm.灯内总气压为200 hPa,其中含2 hPa氯气和198 hPa氪气.KrCl*准分子灯由正弦电源驱动.测定辐照度后,通过Keitz公式计算222 nm的辐射功率,而灯的功率则通过示波器结合高压探头和电流互感器来测量.结果表明,KrCl*准分子灯在正弦电源频率48.4 kHz,输入功率150 W时222 nm辐射的最佳效率为5.3%.