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固氟氯化法从山东微山氟碳铈矿提取稀土的氯化率动力学 被引量:23
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作者 时文中 朱国才 《过程工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期278-282,共5页
研究了用固氟氯化铵焙烧法分解山东微山中品位氟碳铈精矿回收稀土的氯化率动力学. 结果表明:固氟焙砂的氯化反应动力学过程是区域反应速率模型,氯化反应过程经过了2个串联反应步骤,用Erofeev方程ln[ln(1a)]=lnk+nlnt处理反应速率,反应... 研究了用固氟氯化铵焙烧法分解山东微山中品位氟碳铈精矿回收稀土的氯化率动力学. 结果表明:固氟焙砂的氯化反应动力学过程是区域反应速率模型,氯化反应过程经过了2个串联反应步骤,用Erofeev方程ln[ln(1a)]=lnk+nlnt处理反应速率,反应速率常数与温度T的函数关系式为k=2.7107eEa/RT, 表观活化能Ea为125.9 kJ/mol,过程限制环节主要是界面化学反应控制. 展开更多
关键词 氟碳铈矿 稀土 固氟氯化铵焙烧法 氯化率 动力学 区域反应速模型 氯化反应
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反浮选法制氯化钾收率影响因素与控制 被引量:10
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作者 于雪峰 马光明 靳莹皓 《盐业与化工》 CAS 2014年第11期42-44,共3页
反浮选—冷结晶法制取氯化钾工艺较为先进,在规模化生产过程中,收率控制的重要性也日益突出。文章对反浮选—冷结晶法制备氯化钾过程中钾损失几个关键点进行了分析,并结合生产实践和理论知识对几个关键点的控制方法进行阐述。
关键词 反浮选 氯化钾收 影响因素 控制方法
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攀钢碳化高炉渣低温氯化试验研究 被引量:19
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作者 黄家旭 杨仰军 +1 位作者 陆平 刘森林 《钢铁钒钛》 CAS 北大核心 2011年第4期12-15,50,共5页
对攀钢高钛型高炉渣"高温碳化—低温选择性氯化"工艺中低温选择性氯化部分进行了研究,并在自行设计的100 mm连续式沸腾氯化装置上考察了连续加料、连续排渣条件下氯化温度、停留时间、气流速度、氯气浓度对碳化渣中TiC氯化... 对攀钢高钛型高炉渣"高温碳化—低温选择性氯化"工艺中低温选择性氯化部分进行了研究,并在自行设计的100 mm连续式沸腾氯化装置上考察了连续加料、连续排渣条件下氯化温度、停留时间、气流速度、氯气浓度对碳化渣中TiC氯化率的影响规律,并获得了较佳的工艺参数,为下一步的扩大试验奠定了基础。 展开更多
关键词 高炉渣 低温选择氯化 碳化渣 氯化率
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硼铁矿碳热氯化反应 被引量:6
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作者 王小欢 张丽清 +2 位作者 侯明艳 王婷 周华锋 《过程工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第4期702-705,共4页
应用热力学方法分析了硼铁矿碳热氯化反应的可能性以及反应进行所需要的热力学条件,硼铁矿中各组分的氯化反应能力顺序为2MgO·B2O3>MgO>Fe2O3>Mg2SiO4>SiO2.根据氯化反应产物的物理化学性质不同,初步实现了硼铁矿中主... 应用热力学方法分析了硼铁矿碳热氯化反应的可能性以及反应进行所需要的热力学条件,硼铁矿中各组分的氯化反应能力顺序为2MgO·B2O3>MgO>Fe2O3>Mg2SiO4>SiO2.根据氯化反应产物的物理化学性质不同,初步实现了硼铁矿中主要元素硼、镁、铁的分离.主要研究了反应温度和时间对硼铁矿碳热氯化反应的影响,实验在550~750℃进行,并得到最佳氯化条件:在700℃氯化反应进行90min,硼铁矿氯化率为94.02%.经X射线衍射分析硼铁矿中未被氯化的物质主要为Mg2SiO4. 展开更多
关键词 硼铁矿 热力学 碳热氯化 氯化率
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添加剂对改性含钛高炉渣氯化过程的影响 被引量:1
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作者 付念新 娄太平 +1 位作者 都兴红 隋智通 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期698-701,共4页
针对高钙镁改性含钛高炉渣氯化过程物料易粘结问题,通过热力学分析及X射线衍射检测研究了添加剂防止粘结的作用机制,并考察了温度、配碳量、气体(N2+Cl2)流量和氯气分压对氯化行为的影响.结果表明:氯化过程中添加剂磷酸优先与CaO作... 针对高钙镁改性含钛高炉渣氯化过程物料易粘结问题,通过热力学分析及X射线衍射检测研究了添加剂防止粘结的作用机制,并考察了温度、配碳量、气体(N2+Cl2)流量和氯气分压对氯化行为的影响.结果表明:氯化过程中添加剂磷酸优先与CaO作用生成高熔点的Ca3(PO4)2以及后者与CaCl2反应生成Ca5(PO4)3Cl,避免了低熔点钙镁氯化物富集而造成的物料粘结.当反应条件为温度850~900℃、配碳过量15%、气体流量400 mL/min和氯气分压40 kPa,得到最佳的氯化结果,60 min内氯化率可达到90.8%~93.5%. 展开更多
关键词 含钛高炉渣 氯化率 物料粘结 添加剂 磷酸钙 氯磷灰石
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CuO氯化过程动力学研究 被引量:1
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作者 汤卫东 朱伟伟 +1 位作者 姜平国 靖青秀 《有色金属科学与工程》 CAS 2017年第1期46-50,共5页
铜渣中含有30%~40%的Fe,对铜渣中的Fe进行回收,有利于缓解中国依赖进口铁矿石的压力.基于热力学分析氯化除铜的可行性,在823K、873K、923K、973K温度下,通过热重分析研究CuO-FeCl_2体系的氯化过程动力学,并考察反应温度和Ar气流量对反... 铜渣中含有30%~40%的Fe,对铜渣中的Fe进行回收,有利于缓解中国依赖进口铁矿石的压力.基于热力学分析氯化除铜的可行性,在823K、873K、923K、973K温度下,通过热重分析研究CuO-FeCl_2体系的氯化过程动力学,并考察反应温度和Ar气流量对反应的影响:CuO-FeCl_2体系的氯化率随温度的升高而增大,当Ar流量为50mL/min时,氯化率达到最大值为62.46%.通过推导氯化反应动力学公式,确定CuO-FeCl_2体系的氯化反应为0级反应,并且在873K时由氯化过程动力学区过渡到扩散区,动力学区的反应速率取决于CuCl_2的挥发速率,扩散区的反应速率取决于FeCl_2向CuO表面扩散的速率. 展开更多
关键词 铜渣 氯化挥发 动力学 氯化率
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活性炭对VOCs的吸附性能与其特征值之间的关系
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作者 熊烨栋 柯权力 +6 位作者 黄康康 闵炯 金传敏 章佩丽 顾震宇 翁小乐 卢晗锋 《中国环境科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第8期4193-4201,共9页
以甲苯为典型VOCs废气分子,考察了不同活性炭样品的碘值、四氯化碳吸附率(CTC值)、总比表面积和微孔比表面积与其动态甲苯平衡吸附容量的关系.结果发现,无论是低浓度还是高浓度的甲苯废气,CTC值均与活性炭的吸附容量呈现较高的线性相关... 以甲苯为典型VOCs废气分子,考察了不同活性炭样品的碘值、四氯化碳吸附率(CTC值)、总比表面积和微孔比表面积与其动态甲苯平衡吸附容量的关系.结果发现,无论是低浓度还是高浓度的甲苯废气,CTC值均与活性炭的吸附容量呈现较高的线性相关性,相关系数R 2高于0.92,而碘值只在低浓度条件下与活性炭吸附容量相关性较好,这表明CTC值相比碘值是更适合表征活性炭VOCs吸附性能的特征指标.此外,以含氧类VOCs(乙酸乙酯)为吸附质,CTC值也同样显示出与吸附容量优良的相关性.除活性炭外,本文还将上述方法拓展至硅胶、分子筛、碳硅复合材料等其他多孔吸附材料,结果证明CTC值可以用来指代不同多孔吸附材料的VOCs吸附性能,相对误差在30%以内,表明CTC值作为一个吸附特征指标具有良好的普适性. 展开更多
关键词 活性炭 VOCs吸附量 氯化碳吸附(CTC值) 碘值
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矿渣水泥中自由氯化物及可溶性氯化物的定量评价 被引量:2
8
作者 刘笑军 朴应模 《辽东学院学报(自然科学版)》 CAS 2008年第1期6-9,16,共5页
通过细孔溶液测定在水泥浆中自由氯化物含量和通过ASTM测定可溶性氯化物含量,在氯化物掺用量相同的条件下,BSC细孔溶液中的氯离子浓度比OPC低43%~71%,表明在水泥中掺用高炉矿渣将大大降低氯离子浓度。
关键词 高炉矿渣水泥 细孔溶液 自由氯化 可溶性氯化 氯化物固化
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高效污染质分离器处理四氯化碳废水的净化工艺
9
作者 金焰 杜险峰 +1 位作者 田凌霄 汪志 《武汉工程大学学报》 CAS 2015年第5期46-50,共5页
针对某化工厂冷却剂生产过程中所产生的四氯化碳废水(四氯化碳质量浓度为495.46μg/L),采用了萃取和高效污染质分离器的一体化工艺进行实验研究,确定了高效污染质分离器包括厌氧处理和好氧处理,探讨了降解时间、温度、初始p H、葡萄糖... 针对某化工厂冷却剂生产过程中所产生的四氯化碳废水(四氯化碳质量浓度为495.46μg/L),采用了萃取和高效污染质分离器的一体化工艺进行实验研究,确定了高效污染质分离器包括厌氧处理和好氧处理,探讨了降解时间、温度、初始p H、葡萄糖浓度等因素对厌氧阶段和好氧阶段的影响.结果表明:在四氯化碳废水/厌氧污泥水为1∶2,厌氧降解时间为5 d,反应温度为33℃,反应初始p H为7.0,葡萄糖质量浓度为20 g/L的条件下,厌氧处理效果最好,四氯化碳降解率达80.1%.在厌氧污泥出水/好氧污泥水为6∶15,好氧的降解时间为2 d,反应温度为30℃,反应初始p H为4.5、葡萄糖浓度为15 g/L的条件下,好氧处理效果最好,四氯化碳的降解率为42.4%.经过上述处理,四氯化碳的质量浓度为0.346μg/L,可达到《污水综合排放标准》(GB8978-1996)一级标准0.03 mg/L的要求. 展开更多
关键词 氯化碳降解 高效污染质分离器 厌氧 好氧
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包钢瓦斯灰中K、Na、Pb和Zn的去除 被引量:6
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作者 邓永春 高东辉 +1 位作者 罗果萍 贾燕璐 《湖南有色金属》 CAS 2011年第3期20-22,67,共4页
文章以包钢瓦斯灰为原料,通过配加氯化钙焙烧,将金属氧化物转化为水溶性的氯化物,从而将K、Na、Pb、Zn从原料中分离。热力学分析表明,只要控制合理的工艺条件,瓦斯灰中K、Na、Pb、Zn的氧化物均可以被CaCl2氯化。在同一温度下,氯化反应... 文章以包钢瓦斯灰为原料,通过配加氯化钙焙烧,将金属氧化物转化为水溶性的氯化物,从而将K、Na、Pb、Zn从原料中分离。热力学分析表明,只要控制合理的工艺条件,瓦斯灰中K、Na、Pb、Zn的氧化物均可以被CaCl2氯化。在同一温度下,氯化反应完成的程度由大到小依次是K2O>Na2O>PbO>ZnO;由氯化反应实验可知,在400℃和600℃时,氯化率由大到小依次都是K>Na>Pb>Zn;对同一种有害元素而言,在600℃时氯化率比400℃时的氯化率大;600℃时K2O和Na2O的氯化率均高于98%,Pb和Zn的氯化率分别为54.21%、15.24%。 展开更多
关键词 瓦斯灰 氯化 氯化反应 氯化率
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Current efficiency of recycling aluminum from aluminum scraps by electrolysis 被引量:3
11
作者 徐君莉 张净 +3 位作者 石忠宁 高炳亮 王兆文 胡宪伟 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2014年第1期250-256,共7页
Extracting aluminum from aluminum alloys in AlCl3-NaCl molten salts was investigated. Al coating was deposited on the copper cathode by the method of direct current deposition using aluminum alloys as anode. The purit... Extracting aluminum from aluminum alloys in AlCl3-NaCl molten salts was investigated. Al coating was deposited on the copper cathode by the method of direct current deposition using aluminum alloys as anode. The purity of the deposited aluminum is about 99.7% with the energy consumption of 3-9 kW&#183;h per kg Al, and the current efficiency is 44%-64% when the deposition process is carried out under 100 mA/cm2 for 4 h at 170 &#176;C. The effects of experimental parameters, such as molar ratio of AlCl3 to NaCl, cathodic current density and electrolysis time, on the current efficiency were studied. The molar ratio of AlCl3 to NaCl has little effect on the current efficiency, and the increase of deposition temperature is beneficial to the increase of current efficiency. However, the increase of current density or electrolysis time results in the decrease of current efficiency. The decrease of current efficiency is mainly related to the formation of dendritic or powder deposit of aluminum which is easy to fall into the electrolyte. 展开更多
关键词 aluminum recycling aluminum alloy current efficiency ELECTROLYSIS chlorides molten salts
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Response surface optimization of process parameters for removal of F and Cl from zinc oxide fume by microwave roasting 被引量:2
12
作者 李志强 李静 +4 位作者 张利波 彭金辉 王仕兴 马爱元 王宝宝 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第3期973-980,共8页
Microwave was applied to roasting the zinc oxide fume obtained from fuming furnace for the removal of F and Cl. The effects of important parameters, such as roasting temperature, holding time and stirring speed, were ... Microwave was applied to roasting the zinc oxide fume obtained from fuming furnace for the removal of F and Cl. The effects of important parameters, such as roasting temperature, holding time and stirring speed, were investigated and the process conditions were optimized using response surface methodology (RSM). The results show that the effects of roasting temperature and holding time on the removal rate of F and Cl are the most significant, and the effect of stirring speed is the second. The defluorination rate reaches 92.6% while the dechlorination rate reaches 90.2%, under the process conditions of roasting temperature of 700 °C, holding time of 80 min and stirring speed of 120 r/min. The results indicate that the removal of F and Cl from fuming furnace production of zinc oxide fumes using microwave roasting process is feasible and reliable. 展开更多
关键词 zinc oxide fume F CL removal rate microwave roasting response surface methodology
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净水用活性炭吸附指标相关性试验 被引量:2
13
作者 苗丛瑶 任凌颖 +1 位作者 罗浩为 倪晓芸 《净水技术》 CAS 2021年第S02期51-54,共4页
近年来,活性炭在水处理应用中发挥着越来越重要的作用,为了更好地对活性炭产品进行规范,用《煤质颗粒活性炭试验方法》(GB/T 7702—2008)等一系列的国家标准方法,对不同活性炭样品进行常规吸附指标如碘吸附值、亚甲蓝吸附值、四氯化碳... 近年来,活性炭在水处理应用中发挥着越来越重要的作用,为了更好地对活性炭产品进行规范,用《煤质颗粒活性炭试验方法》(GB/T 7702—2008)等一系列的国家标准方法,对不同活性炭样品进行常规吸附指标如碘吸附值、亚甲蓝吸附值、四氯化碳吸附率、比表面积等进行多次检测,得出了大量检测结果。研究发现,不同吸附指标之间存在着一定的相互关系,这对检测工作也具有一定指导意义。 展开更多
关键词 活性炭 碘吸附值 比表面积 亚甲蓝吸附值 氯化碳吸附 检测
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V432A缓蚀剂的现场小型缓蚀试验 被引量:2
14
作者 陈文道 《甘肃科技》 2004年第10期108-109,共2页
以V4 32A为缓蚀剂 ,当投加量为 4 0 0mg/L、5 0 0mg/L和 10 0 0mg/L时 ,在新鲜氯化钙盐水和 14 #制冷装置冷冻盐水系统现用的循环盐水中标准试片的腐蚀情况 ,跟不加V4 32A缓蚀剂现用的循环盐水中标准试片腐蚀率的大小进行比较 ,表明V4 ... 以V4 32A为缓蚀剂 ,当投加量为 4 0 0mg/L、5 0 0mg/L和 10 0 0mg/L时 ,在新鲜氯化钙盐水和 14 #制冷装置冷冻盐水系统现用的循环盐水中标准试片的腐蚀情况 ,跟不加V4 32A缓蚀剂现用的循环盐水中标准试片腐蚀率的大小进行比较 ,表明V4 32A缓蚀剂能够对系统的设备起到很有效的缓蚀作用 ,可以投入到实际工业生产中。 展开更多
关键词 缓蚀剂 氯化钙盐水:腐蚀 溃疡状腐蚀 标准试片
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焦炉煤气净化工艺中活性炭再生研究 被引量:3
15
作者 董晓春 刘苗 《中国资源综合利用》 2015年第2期24-26,共3页
对焦炉煤气净化工艺中失活活性炭进行再生研究,通过加热再生方法,调整再生温度和时间,得到合理的再生条件为:500℃加热30 min,此时其吸附性能可达到新活性炭——四氯化碳吸附性能的93%,使失效活性炭重新得到利用。
关键词 活性炭再生 再生温度 氯化碳吸附
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Smelting chlorination method applied to removal of copper from copper slags 被引量:6
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作者 李磊 王华 胡建杭 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS CSCD 2015年第1期59-65,共7页
In order to reasonably utilize the iron resources of copper slags, the smelting chlorination process was used to remove copper from copper slags. Higher holding temperature and O2 flow rate are beneficial to increasin... In order to reasonably utilize the iron resources of copper slags, the smelting chlorination process was used to remove copper from copper slags. Higher holding temperature and O2 flow rate are beneficial to increasing copper removal rate. However,the Cu2O mode is formed by the reaction of surplus O2 and CuCl with O2 flow rate increasing over 0.4 L/min, causing CuCl volatilization rate and copper removal rate to decrease. The resulting copper removal rate of 84.34% is obtained under the optimum conditions of holding temperature of 1573 K, residence time of 10 min, Ca Cl2 addition amount of 0.1(mass ratio of CaCl2 and the copper slag) and oxygen flow rate of 0.4 L/min. The efficient removal of copper from copper slags through chlorination is feasible. 展开更多
关键词 copper slags smelting chlorination copper removal volatilization waste utilization
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Valence variation of arsenic in bioleaching process of arsenic-bearing gold ore 被引量:8
17
作者 崔日成 杨洪英 +2 位作者 陈森 张硕 李科峰 《Transactions of Nonferrous Metals Society of China》 SCIE EI CAS CSCD 2010年第6期1171-1175,共5页
The concentration and variational trend of As3 +and As 5+,the bacterial resistance for the As 3+and As 5+and converting conditions from As3 +to As 5+were analyzed.The additive was used to prompt the bacterial leaching... The concentration and variational trend of As3 +and As 5+,the bacterial resistance for the As 3+and As 5+and converting conditions from As3 +to As 5+were analyzed.The additive was used to prompt the bacterial leaching efficiency by changing valence state of arsenic.The results show that the concentration of As 3+ is larger than that of As 5+ in the lag phase.The concentration of As 3+ decreases in the log phase,and is lower than that of As5 +.HQ-0211 typed bacteria express better resistance for As 3+and As 5+and remain growing when the concentrations of As3 +and As 5+are above 6.0 g/L and 12.0 g/L,respectively.It is found that Fe 3+cannot oxidize As3 +singly as strong oxidant in the leaching system,but can cooperate with pyrite or chalcopyrite to do that.The oxidation of As 3+ is prompted with addition of H2O2.The bacterial activity is improved in favor of bacterial leaching efficiency.NaClO restrains the bacterial growth to depress leaching efficiency because of the chloric compounds affecting bacterial activity. 展开更多
关键词 As^3 As ^5+ bacterial leaching arsenic resistance OXIDANT arsenic-bearing gold ore
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Analysis of inhibition of concrete steel-rebar corrosion by Na_2Cr_2O_7 concentrations:Implications for conflicting reports on inhibitor effectiveness 被引量:1
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作者 J.O.Okeniyi I.O.Oladele +4 位作者 I.J.Ambrose S.O.Okpala O.M.Omoniyi C.A.Loto A.P.I.Popoola 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2013年第12期3697-3714,共18页
Corrosion test data were measured using non-destructive electrochemical techniques and analysed for studying inhibition effectiveness by different concentrations of NazCr207 on the corrosion of concrete steel-rehar in... Corrosion test data were measured using non-destructive electrochemical techniques and analysed for studying inhibition effectiveness by different concentrations of NazCr207 on the corrosion of concrete steel-rehar in NaC1 and in H2SO4 media. For these, specifications of ASTM G16-95 R04 were combined with the normal and the Gumbel probability density functions as model analytical methods for addressing issues of conflicting reports of inhibitor effectiveness that had generated concerns. Results show that reinforced concrete samples admixed with concentrations having 4 g (0.012 7 tool), 8 g (0.025 4 mol) and 6 g (0.019 l tool) NaaCr207 exhibited, in that order, high inhibition effectiveness, with respective efficiency, r/, of (90.46±1.30)%, (88.41+2.24)% and (84.87±4.74)%, in the NaC1 medium. These exhibit good agreements within replicates and statistical methods for the samples. Also, optimal inhibition effectiveness model in the H2SO4 medium was exhibited by 8 g (0.025 4 mol) Na2Cr207 concentration having r/=(78.44±1.10)%. These bear implications for addressing conflicting test data in the study of effective inhibitors for mitigating steel-rebar corrosion in aggressive environments. 展开更多
关键词 corrosion inhibitor effectiveness saline/marine and industrial/microbial environments concrete steel-rebar normal andGumbel probability distribution functions Kolmogorov-Smirnov statistics tests of significance
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Alkaline extraction characteristics of steelmaking slag batch in NH_4Cl solution under environmental pressure 被引量:1
19
作者 张慧宁 徐安军 +1 位作者 贺东风 崔健 《Journal of Central South University》 SCIE EI CAS 2013年第6期1482-1489,共8页
In order to obtain better carbonation effect, extraction behavior of slag batch is necessary to study. Relevant parameters like selective extraction yield were originally discussed. The relationship between selective ... In order to obtain better carbonation effect, extraction behavior of slag batch is necessary to study. Relevant parameters like selective extraction yield were originally discussed. The relationship between selective extraction yield and conversion ratio was systemically focused on. The results show that alkaline earth metal conversion ratio is changed with leaching time and NH4CI concentration by first order exponential, and the maximum conversion for calcium keeps about 68% at 120 min in 0.4 mol/L NH4C1 solution, while leaching temperature and particle size have a linear effect on conversion ratio. Selective extraction yield of calcium is more than 93%, and the value of Mg is less than 5%. Apparent layer bands of silicon and calcium appear in the surface area through morphology detection of slag after leaching, and the case for 38-75 μm slag batch is more obvious than 75 150 μm slag and slag with larger particle size when leaching in 0.4 mol/L NH4Cl solution for 90 rain at 60 ℃. 展开更多
关键词 steel slag alkaline leaching NH4Cl solution selective extraction yield conversion ratio
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Effect of Boundary Layers on Polycrystalline Silicon Chemical Vapor Deposition in a Trichlorosilane and Hydrogen System 被引量:4
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作者 张攀 王伟文 +1 位作者 陈光辉 李建隆 《Chinese Journal of Chemical Engineering》 SCIE EI CAS CSCD 2011年第1期1-9,共9页
This paper presents the numerical investigation of the effects of momentum, thermal and species boundary layers on the characteristics of polycrystalline silicon deposition by comparing the deposition rates in three c... This paper presents the numerical investigation of the effects of momentum, thermal and species boundary layers on the characteristics of polycrystalline silicon deposition by comparing the deposition rates in three chemical vapor deposition (CVD) reactors. A two-dimensional model for the gas flow, heat transfer, and mass transfer was coupled to the gas-phase reaction and surface reaction mechanism for the deposition of polycrystalline silicon from trichlorosilane (TCS)-hydrogen system. The model was verified by comparing the simulated growth rate with the experimental and numerical data in the open literature. Computed results in the reactors indicate that the deposition characteristics are closely related to the momentum, thermal and mass boundary layer thickness. To yield higher deposition rate, there should be higher concentration of TCS gas on the substrate, and there should also be thinner boundary layer of HCl gas so that HCl gas could be pushed away from the surface of the substrate immediately. 展开更多
关键词 boundary layer polycrystalline silicon numerical simulation mass diffusion
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