氯硅烷和多晶硅精馏节能减排与提高质量的技术措施

多晶硅在当前的工业领域中具有十分重要的作用。而在多晶硅的生产过程中,会产生很多三氯氢硅、二氯二氢硅、四氯化硅等氯硅烷副产品,导致生产成本升高。同时,很多氯硅烷和氯化氢将会进入尾气当中,加大了对环境的污染。本文首先对多晶硅的生产工艺进行了介绍,然后分析了多晶硅精馏节能技术的原理,最后阐述了利用高效分离技术提高产品质量和降低排放。