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并五苯晶体薄膜的生长 被引量:3
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作者 张素梅 石家纬 +5 位作者 刘建军 刘明大 郭树旭 王伟 赵玲 李靖 《吉林大学学报(理学版)》 CAS CSCD 北大核心 2002年第3期288-289,共2页
用物理气相沉积法在水平系统中生长有机半导体并五苯晶体薄膜 .用 1 0~ 3 0 mg的源生长出 2 0~ 3 0 mm2 大小的适合特性测量和器件制备的晶体薄膜 .利用 TEM,SEM和
关键词 并五苯晶体薄膜 物理气相沉积法 有机半导体薄膜 薄膜生长 水平生长系统
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