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水溶性光致抗蚀剂研究进展 被引量:2
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作者 翟晓晓 褚战星 王力元 《感光科学与光化学》 EI CSCD 2007年第1期69-79,共11页
本文按传统光化学反应型和化学增幅型两种类型对近10年水溶性光致抗蚀剂的发展状况做了分类总结,并重点介绍了成像反应原理和各体系的优缺点.
关键词 水溶性光致抗蚀剂 化学增幅 正型 负型
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水溶性负性光致抗蚀剂的研制 被引量:1
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作者 单英敏 曹瑞军 +1 位作者 高颖 刘毅 《影像科学与光化学》 EI CAS CSCD 2008年第2期116-124,共9页
以自制丙烯酰胺-双丙酮丙烯酰胺共聚物和聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为成膜基体物质,芳香族叠氮化合物为感光剂,研制出水溶性负性光致抗蚀剂配方.通过正交试验确定了最优配方.即共聚物中AM与DAAM质量比为1∶1;P(AM-DAAM)与PVP质量比为1∶2;感... 以自制丙烯酰胺-双丙酮丙烯酰胺共聚物和聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为成膜基体物质,芳香族叠氮化合物为感光剂,研制出水溶性负性光致抗蚀剂配方.通过正交试验确定了最优配方.即共聚物中AM与DAAM质量比为1∶1;P(AM-DAAM)与PVP质量比为1∶2;感光剂用量为占成膜基体物质质量的1/6;偶联剂用量占成膜基体物质质量的1/60;表面活性剂G-18用量占成膜基体物质质量的1/40.在该配方下配制的光致抗蚀剂达到商品规格要求.通过与国外同类商品的比较得出自制光致抗蚀剂具有同国外商品相当的感光性能. 展开更多
关键词 丙烯酰胺-双丙酮丙烯酰胺共聚物 聚乙烯吡咯烷酮 水溶性负性光致抗蚀剂
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