集成电路光刻光源装备的发展历程

本文研究集成电路光刻光源装备的发展历程,即根据光刻设备的曝光光源的发展时间顺序,分析三代光刻光源装备,对汞灯灯源、准分子激光器以及二氧化碳(CO_(2))激光器进行简要概述;同时,挖掘和分析其底层光源系统、气体组成以及驱动电路,并对未来光源进行展望。