太阳辐照度光谱仪光谱定标用汞灯电源设计

为了满足FY-3太阳辐照度光谱仪的星上光谱定标要求,针对汞灯高起辉电压、低工作电压的特点设计了一种汞灯电源。采用单端反激拓扑结构及四级倍压整流电路实现了汞灯高压起辉,通过闭环负反馈实现了汞灯工作电流的恒流控制;无需外加微控制器,完成了汞灯高起辉电压和低工作电压的自动切换,并且在保证电源稳定性的同时,解决了现有汞灯电源适用性较差、低温下无法可靠起辉的问题。实验结果表明:设计的汞灯电源电流精度为0.000 21、电流调整率为0.001 8、稳流系数为0.009,在低温下也可稳定驱动汞灯工作,完全满足载荷的任务需求。

休斯光刻机汞灯电源的原理与维修技术

汞灯具有电弧密度大、亮度高、近紫外谱线集中等许多优点,在微电子光刻领域中有广泛应用。由于汞灯为高强度气体放电灯,发光受环境温度、电压强度等因素影响较大,为光刻设备中易出现故障的器件之一。在大连理工大学微系统实验室近9年的使用过程中,对德国休斯公司生产的MA6型光刻机的汞灯工作原理进行了充分的研究和分析。通过维修,解决了汞灯电源电流停机保护故障和温度停机保护故障两个问题,保障了设备的正常运行。同时,揭示了汞灯光源的功率电路、控制电路原理,介绍了恒功率输出、恒光强输出的电路工作原理。

接触式光刻机汞灯电源功率大幅波动故障处理

某型号接触式光刻机汞灯电源在通道1恒光强模式时,电源功率大幅波动,光的亮度忽明忽暗。使用交换法、恢复参数法找到故障原因,采用合适方法解决故障。