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高功率激光装置中传输镜表面颗粒物去除轨迹的数值模拟 被引量:5
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作者 李养帅 朱健强 +2 位作者 庞向阳 吴永忠 焦翔 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期88-94,共7页
利用Fluent软件,以N-S方程和RNGκ-ε模型为基础,采用离散相模型,对风刀吹扫去除传输镜表面颗粒物污染物的流场,以及吹扫去除过程中颗粒物的运动轨迹进行了模拟,并基于模拟仿真结果搭建了颗粒物污染捕捉和收集的装置,最终提高了传输镜... 利用Fluent软件,以N-S方程和RNGκ-ε模型为基础,采用离散相模型,对风刀吹扫去除传输镜表面颗粒物污染物的流场,以及吹扫去除过程中颗粒物的运动轨迹进行了模拟,并基于模拟仿真结果搭建了颗粒物污染捕捉和收集的装置,最终提高了传输镜表面污染物的清除效率和洁净度,并且在一定程度上避免了吹扫过程中污染物颗粒进入周围环境以造成对其他光学元器件的污染。 展开更多
关键词 激光技术 高功率激光 污染物除去轨迹 数值模拟 传输镜 洁净度
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