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大工业电热膜元件生产线——喷镀控制系统的设计
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作者 罗勇 《科技视界》 2013年第35期233-234,233,共2页
本文介绍了大工业电热膜元件生产线中之关键系统—喷镀控制系统的设计,阐述了该装置IPC-PLC控制系统的基本组成、控制系统的主要特点及有关技术。
关键词 喷镀控制系统 工控机 可编程控制器 气体质量流量控制器 汽液路系统
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