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热壁CVD制备铂薄膜的沉积室内壁材料选择研究
1
作者
李颖
胡劲
+3 位作者
武晋文
王玉天
于晓东
谭成文
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第2期445-448,共4页
选择合适的沉积室内壁材料是热壁化学气相沉积制备Pt薄膜过程中降低前驱体在沉积室内壁上大量消耗,进而保证沉积室内Pt前驱体分压的关键。本研究对比了Pt在镍基高温合金,备选沉积室内壁材料——有氧化层的Cu以及紫铜表面的沉积的难易程...
选择合适的沉积室内壁材料是热壁化学气相沉积制备Pt薄膜过程中降低前驱体在沉积室内壁上大量消耗,进而保证沉积室内Pt前驱体分压的关键。本研究对比了Pt在镍基高温合金,备选沉积室内壁材料——有氧化层的Cu以及紫铜表面的沉积的难易程度,发现在有氧化层的Cu的表面Pt薄膜很难沉积,因此当镍基高温合金为沉积基体时有氧化层的Cu可以作为热壁CVD的沉积室内壁衬底材料,但是只能一次性使用。
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关键词
Pt薄膜
热
壁
CVD
沉积室内壁材料
原文传递
题名
热壁CVD制备铂薄膜的沉积室内壁材料选择研究
1
作者
李颖
胡劲
武晋文
王玉天
于晓东
谭成文
机构
昆明理工大学
北京理工大学
出处
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第2期445-448,共4页
文摘
选择合适的沉积室内壁材料是热壁化学气相沉积制备Pt薄膜过程中降低前驱体在沉积室内壁上大量消耗,进而保证沉积室内Pt前驱体分压的关键。本研究对比了Pt在镍基高温合金,备选沉积室内壁材料——有氧化层的Cu以及紫铜表面的沉积的难易程度,发现在有氧化层的Cu的表面Pt薄膜很难沉积,因此当镍基高温合金为沉积基体时有氧化层的Cu可以作为热壁CVD的沉积室内壁衬底材料,但是只能一次性使用。
关键词
Pt薄膜
热
壁
CVD
沉积室内壁材料
Keywords
platinum films
hot wall chemical vapor deposition
deposition chamber materials
分类号
TG174.4 [金属学及工艺—金属表面处理]
原文传递
题名
作者
出处
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被引量
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1
热壁CVD制备铂薄膜的沉积室内壁材料选择研究
李颖
胡劲
武晋文
王玉天
于晓东
谭成文
《稀有金属材料与工程》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
0
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