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Mo沉积成膜质量与磁控溅射条件间关系的STM研究 被引量:7
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作者 黎刚 杨海强 +1 位作者 王俊 崔明启 《电子显微学报》 CAS CSCD 1997年第4期453-454,共2页
利用扫描遂道显微镜(STM)和X射线小角衍射(SAXRD)研究了几种经常使用的直流磁控溅射条件(包括:Ar气压强06Pa、溅射电流100mA、200mA及Ar气压强04Pa、溅射电流100mA三种条件)下所沉积的... 利用扫描遂道显微镜(STM)和X射线小角衍射(SAXRD)研究了几种经常使用的直流磁控溅射条件(包括:Ar气压强06Pa、溅射电流100mA、200mA及Ar气压强04Pa、溅射电流100mA三种条件)下所沉积的Mo单层薄膜的质量及相同溅射条件下不同溅射时间(35s到220s)对成膜质量的影响。实验的结果表明:降低Ar气压强提高溅射电流(即提高氩离子加速电压)都会使形成的薄膜更致密表面更光滑。相同条件下随沉积时间的增加,薄膜的晶粒线度随之增大,晶粒间界变得明显粗糙度变大。几乎所有的样品都观察到晶粒生长有明显的优先取向。 展开更多
关键词 磁控溅射 STM 沉积成膜
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电解沉积成膜法制备氧化钼变色薄膜的研究 被引量:13
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作者 姚建年 陈萍 藤岛昭 《感光科学与光化学》 CSCD 1996年第3期224-229,共6页
本文研究了一种新的制备过渡金属氧化钼(MoO_3)变色薄膜的方法,即电解沉积成膜法。通过X射线衍射实验证明用该方法制得的氧化钼薄膜为非晶质。与传统的真空蒸镀法相比,该薄膜同样具有良好的电致变色和光致变色特性,并观测到... 本文研究了一种新的制备过渡金属氧化钼(MoO_3)变色薄膜的方法,即电解沉积成膜法。通过X射线衍射实验证明用该方法制得的氧化钼薄膜为非晶质。与传统的真空蒸镀法相比,该薄膜同样具有良好的电致变色和光致变色特性,并观测到了可见光变色效应。结果表明,该方法将为大面积制备均匀过滤金属氧化物变色薄膜走向实用化打下基础。 展开更多
关键词 电解沉积成膜 氧化钼 光致变色 半导体薄膜
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离心沉积成膜法在AFM表征纳米粉体中的应用
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作者 李酽 刘传生 +2 位作者 凤慧云 张楠 李根 《纳米科技》 2008年第6期50-52,共3页
研究了原子力显微镜在表征纳米粉体微观形貌中的应用,介绍了离心沉积成膜制备纳米粉末待测试样的方法。结果表明,与普通的沉淀成膜法制样相比,离心沉积成膜法以云母片为基底材料,在分散液中加入了凝聚剂,AFM表征结果表明,离心沉... 研究了原子力显微镜在表征纳米粉体微观形貌中的应用,介绍了离心沉积成膜制备纳米粉末待测试样的方法。结果表明,与普通的沉淀成膜法制样相比,离心沉积成膜法以云母片为基底材料,在分散液中加入了凝聚剂,AFM表征结果表明,离心沉积成膜法使纳米粉体的微观形貌在测试中能更好地反映。该方法拓宽了原子力显微镜在表征粉末状样品微观形貌上的应用。 展开更多
关键词 离心沉积成膜 原子力显微镜 表征 微观形貌
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磁过滤真空弧等离子体钛沉积膜改善H13钢腐蚀机理的研究
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作者 李永良 张通和 +2 位作者 周固 王广甫 王晓妍 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期179-183,共5页
利用磁过滤真空弧等离子体沉积成膜系统 ,在H13钢基体上沉积一层 36 0nm的钛膜。透射电镜 (TEM)分析结果表明 ,沉积膜膜层的微观结构呈晶须状。在 pH =5.6的NaAc/HAc缓冲液中阳极极化扫描曲线测量表明 ,沉积膜样品的腐蚀电流密度峰值较... 利用磁过滤真空弧等离子体沉积成膜系统 ,在H13钢基体上沉积一层 36 0nm的钛膜。透射电镜 (TEM)分析结果表明 ,沉积膜膜层的微观结构呈晶须状。在 pH =5.6的NaAc/HAc缓冲液中阳极极化扫描曲线测量表明 ,沉积膜样品的腐蚀电流密度峰值较H13钢降低 1— 2个数量级 ,抗腐蚀性能大幅度提高 ,离子注入进一步降低了沉积膜样品的峰值腐蚀电流密度 ,提高了沉积膜样品的抗腐蚀性。SEM对腐蚀样品的表面形貌进行了分析 ,并对沉积膜样品的抗腐蚀机理进行了研究。 展开更多
关键词 微观结构 抗腐蚀性 H13钢 沉积 离子注入 防腐 磁过滤真空弧等离子体沉积成膜系统
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点接触方式纳米锌润滑添加剂自修复规律的研究 被引量:4
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作者 杨长江 陈国需 +2 位作者 粟斌 化岩 廖梓珺 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第4期350-355,共6页
本文采用四球试验法,以含纳米锌自修复剂的基础油为润滑介质,运用均匀设计试验方法对磨损的钢球进行在线自修复试验,建立并验证回归模型,对影响自修复效果的因素量化排序.选择不同修复效果的试验条件,分别加入抗氧抗腐剂T202和空白试验... 本文采用四球试验法,以含纳米锌自修复剂的基础油为润滑介质,运用均匀设计试验方法对磨损的钢球进行在线自修复试验,建立并验证回归模型,对影响自修复效果的因素量化排序.选择不同修复效果的试验条件,分别加入抗氧抗腐剂T202和空白试验研究点接触方式下自修复过程特点.用带能谱仪的扫描电镜对修复后钢球磨斑表面进行表征.结果表明:试验验证结果与预测值符合较好,说明回归模型可行、可信.纳米锌自修复剂能对磨损的钢球表面进行修复,向表层基体元素扩散并牢固结合,使磨斑直径减小,具有自修复特点. 展开更多
关键词 点接触 纳米锌 均匀设计 磨斑直径变化 自修复 沉积成膜
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金属和半导体纳米微粒薄膜的制备 被引量:1
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作者 连伟 刘春艳 《感光科学与光化学》 CSCD 北大核心 2001年第4期286-294,共9页
由于金属、半导体纳米微粒在光物理、光化学、光催化等方面具有突出的性能 ,因此如何将金属、半导体纳米微粒通过某些方式构建成某些薄膜材料 ,对实现纳米微粒在分子器件和光电器件方面的应用具有重要的意义 .本文以制备方法为主线 ,介... 由于金属、半导体纳米微粒在光物理、光化学、光催化等方面具有突出的性能 ,因此如何将金属、半导体纳米微粒通过某些方式构建成某些薄膜材料 ,对实现纳米微粒在分子器件和光电器件方面的应用具有重要的意义 .本文以制备方法为主线 ,介绍了几种构建金属、半导体纳米微粒薄膜的基本方法 。 展开更多
关键词 金属 半导体 纳米微粒薄膜 制备 气相沉积成膜 LB膜法 自组装成膜 电化学法成膜
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Synthesis and Separation Performance of Y-type Zeolite Membranes by Pre-Seeding Using Electrophoresis Deposition Method 被引量:1
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作者 Cheng Zhilin Han Shuai 《China Petroleum Processing & Petrochemical Technology》 SCIE CAS 2015年第4期62-70,共9页
Y-type zeolite membranes were synthesized by a two-step approach in which a particle seed layer was prepared by electrophoresis deposition(EPD) at first, followed by densification through secondary growth. The pre-see... Y-type zeolite membranes were synthesized by a two-step approach in which a particle seed layer was prepared by electrophoresis deposition(EPD) at first, followed by densification through secondary growth. The pre-seeding adopted the directing agent for Y-type zeolite synthesis serving as seeds. The effects of aging time of the directing agent, electrophoresis voltage and electrophoresis deposition time on seed layers quality as well as the quality of zeolite membranes were investigated. The results indicated that the zeolite seeds derived from the directing agent could be evenly deposited on substrate under certain EPD conditions. The XRD patterns of the seeded substrates after the secondary growth showed that the pure as-synthesized Y-type zeolite membranes had successfully grown on the substrates. The SEM images indicated that the substrate was covered by the highly intergrown zeolite crystals when the seeding solution employed the directing agent with an aging time of 2 days. The separation performance of zeolite membrane was evaluated using a CO_2/N2 mixture(with a mole ratio of 1:1) at different temperatures. Furthermore, the pervaporation measurements were carried out for the dehydration of isopropanol aqueous solutions with different mass fractions. The as-synthesized Y-type zeolite membranes exhibited a relatively high selectivity of water from isopropanol and sustainable permeation flux. 展开更多
关键词 zeolite membrane crystal growth electrophoresis deposition separation
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