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条形沟槽深度对船舶水润滑尾轴承材料摩擦性能的影响 被引量:3
1
作者 盛晨兴 马成 吴祖旻 《船舶工程》 CSCD 北大核心 2018年第6期31-35,共5页
为了研究条形沟槽深度对船舶水润滑尾轴承摩擦磨损性能的影响,在轴承试件表面分别添加0.5 mm、1.0 mm和1.5 mm 3种不同深度的条形沟槽,并加入1组不添加表面纹理的试件作为对比。使用CBZ-1船舶轴系摩擦磨损试验机对材料进行测试,并结合... 为了研究条形沟槽深度对船舶水润滑尾轴承摩擦磨损性能的影响,在轴承试件表面分别添加0.5 mm、1.0 mm和1.5 mm 3种不同深度的条形沟槽,并加入1组不添加表面纹理的试件作为对比。使用CBZ-1船舶轴系摩擦磨损试验机对材料进行测试,并结合表面形貌及磨损量比较分析其摩擦磨损性能。结果表明,条形沟槽可有效提高材料的摩擦磨损性能且沟槽深度对材料性能有着较大影响:转速较低时,较深的沟槽深度更能提升材料的摩擦磨损性能;转速较高时,较浅沟槽深度的材料具有更加优良的性能。 展开更多
关键词 条形沟槽深度 水润滑轴承 条形槽 摩擦性能
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U-MOSFET沟槽深度对特性影响的仿真分析 被引量:1
2
作者 王南南 关艳霞 《微处理机》 2019年第5期5-8,共4页
U-MOSFET是在LDMOS和VDMOS基础上发展起来的一种功率半导体器件,具有大电流和低导通电阻、无少子存储效应、开关速度快、可工作于较高频率等优点,结合此类优点,利用Silvaco软件对U型槽深度对阻断特性和通态特性的影响进行仿真分析。通... U-MOSFET是在LDMOS和VDMOS基础上发展起来的一种功率半导体器件,具有大电流和低导通电阻、无少子存储效应、开关速度快、可工作于较高频率等优点,结合此类优点,利用Silvaco软件对U型槽深度对阻断特性和通态特性的影响进行仿真分析。通过观察仿真中沟槽深度的增加对器件阻断电压、导通电阻等的影响,综合探讨了在对U型槽底部氧化层厚度以及沟槽深度的调整中,考虑到对击穿电压和特征导通电阻的影响而需要做出的折衷。 展开更多
关键词 功率U-MOSFET Silvaco仿真 沟槽深度 氧化层厚度 导通电阻 击穿电压
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沟槽深度对UMOS功率器件电学性能的影响
3
作者 张金英 华光平 +2 位作者 纪新明 周嘉 黄宜平 《复旦学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期506-510,共5页
采用0.35μm工艺设计制造了新型UMOS功率器件,芯片集成了数千个UMOS沟槽并使之并联,以获得高的击穿电压和大的工作电流.研究发现,沟槽深度对器件的工艺参数及其导通电阻、漏电流、阈值电压、击穿电压等电学性能都有影响,且最终影... 采用0.35μm工艺设计制造了新型UMOS功率器件,芯片集成了数千个UMOS沟槽并使之并联,以获得高的击穿电压和大的工作电流.研究发现,沟槽深度对器件的工艺参数及其导通电阻、漏电流、阈值电压、击穿电压等电学性能都有影响,且最终影响量产中的良率.实验表明,在相同的工艺条件下,沟槽深度为1.65μm(试验范围为1.60~1.95μm)时,Ф200mm晶片的良率可达98%以上,器件导通电阻约8.2mΩ,源漏击穿电压稳定在34V以上,正常工作电流可达5A,开启电压和漏电流也稳定在要求范围内. 展开更多
关键词 高功率 U形多晶硅栅金属氧化物半导体 沟槽深度 击穿电压 良率
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火炮驻退杆变深度沟槽测量专机设计与应用 被引量:1
4
作者 谭胜龙 龚运环 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2012年第1期123-126,共4页
针对火炮驻退杆变深度沟槽加工后人工手动检测精度低,效率低,影响火炮生产线生产效率的问题,结合某火炮驻退杆生产线设备火炮驻退杆拉槽机,设计了用于驻退杆变深度沟槽测量专机,实现自动化测量。
关键词 驻退杆 深度沟槽 自动化检测 专机设计
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复合型高深宽比沟槽标准样板
5
作者 赵琳 张晓东 +4 位作者 雷李华 袁群 李锁印 梁法国 吴爱华 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2023年第4期235-243,共9页
硅基MEMS器件中存在大量高深宽比结构,对这些结构进行线宽和深度的无损检测,是当前的热点问题。为了实现对这些高深宽比结构无损测量系统的准确校准,采用半导体工艺研制了一系列高深宽比沟槽标准样板,宽度范围2~30μm、深度范围10~300... 硅基MEMS器件中存在大量高深宽比结构,对这些结构进行线宽和深度的无损检测,是当前的热点问题。为了实现对这些高深宽比结构无损测量系统的准确校准,采用半导体工艺研制了一系列高深宽比沟槽标准样板,宽度范围2~30μm、深度范围10~300μm,其深宽比最大达到30∶1。为了满足样板的校准功能,设计了多种特征结构,包括辅助定值结构、测量定位结构和定位角结构等,还设计了样板量值的表征与考核方法。考核量值包括线宽尺寸、沟槽深度尺寸和均匀性。使用扫描电镜对标准样板进行了测试,结果表明该标准样板可以用于校准近红外宽光谱干涉显微测量系统。 展开更多
关键词 高深宽比 线宽 沟槽深度 复合型标准样板
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超声探伤样块沟槽深度的测量和不确定度评定 被引量:1
6
作者 王培强 《中国计量》 2012年第4期78-79,共2页
为了判定超声探伤仪检出数据是否正确,人们常在产品中人为制造一些"标准伤痕",用以不定期对超声探伤仪进行校对。这种人为制造带"标准伤痕"的产品,我们称之为超声探伤样块。而这些"标准伤痕"则必须事先准确测量其各种参数。
关键词 超声探伤仪 准确测量 不确定度评定 沟槽深度 样块 石油管道 伤痕 标准
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中压沟槽MOSFET的设计与研究 被引量:1
7
作者 卓宁泽 赖信彰 于世珩 《微电子学与计算机》 2023年第3期125-131,共7页
基于仿真和实验方法,开展了100VN沟槽MOSFET的设计研究工作.通过沟槽深度,体区注入剂量和栅氧化层厚度拉偏,获得了对击穿电压,阈值电压和导通电阻的影响规律并对机理进行了分析,仿真工具同时描述了器件内部的电流路径和碰撞电离率分布.... 基于仿真和实验方法,开展了100VN沟槽MOSFET的设计研究工作.通过沟槽深度,体区注入剂量和栅氧化层厚度拉偏,获得了对击穿电压,阈值电压和导通电阻的影响规律并对机理进行了分析,仿真工具同时描述了器件内部的电流路径和碰撞电离率分布.随着沟槽深度增加击穿电压先升后降,导通电阻则表现为相反趋势;击穿电压与注入剂量具有弱相关性,阈值电压随注入剂量增加而升高;击穿电压随着栅氧化层厚度增加整体表现上升趋势,但变化幅度不大,阈值电压与厚度变化表现出强相关性.通过逐步优化获得了最终结构和工艺参数为沟槽深度1.5 um,体区注入剂量1.3E13,栅氧化层厚度700 A,通过流片获得器件最终电性参数为击穿电压为105.6 V,阈值电压2.67 V,导通电阻3.12 mR,相较于仿真参数分别有98%,94%和75%的变化率. 展开更多
关键词 沟槽MOSFET 沟槽深度 注入剂量 击穿电压 导通电阻 阈值电压
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反应堆压力容器法兰面沟槽尺寸参数对其金属O形环密封性能的影响 被引量:10
8
作者 沈明学 李文静 +3 位作者 谢林君 励行根 魏世军 彭旭东 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第3期516-523,共8页
基于二维轴对称非线性弹塑性模型,对反应堆压力容器(RPV)用Inconel 718合金O形环进行了有限元分析,在试验验证的基础上探讨了筒体法兰面安装沟槽深度、沟槽间隙等关键参数对密封性能的影响。结果表明:镀银层对O形环的变形行为无实质影响... 基于二维轴对称非线性弹塑性模型,对反应堆压力容器(RPV)用Inconel 718合金O形环进行了有限元分析,在试验验证的基础上探讨了筒体法兰面安装沟槽深度、沟槽间隙等关键参数对密封性能的影响。结果表明:镀银层对O形环的变形行为无实质影响,在进行有限元分析时可忽略镀银层;沟槽深度和沟槽间隙是影响O形环密封性能的关键参数,所涉及的RPV用金属O形环的最佳有效沟槽深度在(11±0.25)mm范围内、沟槽间隙取0.6mm左右为宜。此外,O形环的安装和制造要求均极为苛刻,为保证O形环与沟槽间距的均匀性应严格控制好制造和安装等工序尺寸参数,从而提高密封性能。 展开更多
关键词 反应堆压力容器 O形环 沟槽深度 沟槽间隙 密封性能
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Image-Pro Plus技术在沟槽滤棒特征参数测量中的应用 被引量:2
9
作者 赵亮 徐玉中 +4 位作者 应伟 章军 刘万里 邱建雄 张博 《烟草科技》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第2期85-90,共6页
为准确描述并测量沟槽滤棒的特征参数,采用Image-Pro Plus(IPP)技术建立了一种沟槽滤棒特征参数测量系统。将5组已知沟槽面积比的沟槽滤棒标准件和10支裁切后的自制沟槽滤棒放置在显微镜载物台上,沟槽端面朝上,调整光圈亮度及显微镜焦距... 为准确描述并测量沟槽滤棒的特征参数,采用Image-Pro Plus(IPP)技术建立了一种沟槽滤棒特征参数测量系统。将5组已知沟槽面积比的沟槽滤棒标准件和10支裁切后的自制沟槽滤棒放置在显微镜载物台上,沟槽端面朝上,调整光圈亮度及显微镜焦距,按编号顺序拍摄成像,并使用IPP软件计算沟槽特征参数,运用MINITAB软件分析IPP测量系统的准确性和精密度。结果表明:1IPP测量系统操作方便,测量过程简单,能快速测量沟槽滤棒的沟槽面积比、深度、数目等特征参数。2系统对沟槽面积比、沟槽深度的测量结果不存在线性偏倚。沟槽面积比精密度指标Gage R&R=24.66%<30%,沟槽深度精密度指标Gage R&R=26.40%<30%,测量数据精密度好。3系统手动和自动两种测量模式对测量结果无显著差异(P>0.05),可以根据不同需求选择测量模式。该测量方法为研究沟槽滤棒降焦机理和提高生产过程控制能力提供了技术支持。 展开更多
关键词 Image-Pro PLUS软件 沟槽滤棒 沟槽面积比 沟槽深度 精密度
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沟槽MOSFET耐压与导通电阻的优化设计 被引量:7
10
作者 乔杰 冯全源 《电子元件与材料》 CAS CSCD 北大核心 2020年第12期71-76,共6页
研究了沟槽MOSFET沟槽深度和沟槽宽度对导通电阻与耐压的影响。以击穿电压65 V的沟槽MOSFET器件为研究对象,仅改变沟槽深度或沟槽宽度,详细分析了导通电阻和耐压的变化以及产生相应变化的原因。使用Sentaurus TCAD对器件进行了模拟仿真... 研究了沟槽MOSFET沟槽深度和沟槽宽度对导通电阻与耐压的影响。以击穿电压65 V的沟槽MOSFET器件为研究对象,仅改变沟槽深度或沟槽宽度,详细分析了导通电阻和耐压的变化以及产生相应变化的原因。使用Sentaurus TCAD对器件进行了模拟仿真,仿真结果表明,在控制其他参数不变的条件下,导通电阻随沟槽深度的增大而逐渐减小,随沟槽宽度的增大而略微增大;耐压随沟槽深度的增大先增大后减小,随沟槽宽度的增大逐渐增大。最后,得到了比导通电阻为0.79 mΩ·cm^2,耐压为81 V的优化设计。 展开更多
关键词 沟槽MOSFET 导通电阻 击穿电压 沟槽深度 沟槽宽度
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喂料段沟槽锥角对单螺杆挤出机性能的影响 被引量:1
11
作者 周密 《塑料挤出》 2004年第2期36-42,共7页
本文介绍了一种在沟槽喂料挤出机中调整沟槽几何尺寸的新装置。采用该装置可在挤出过程中高效、连续、独立地改变沟槽尺寸、这一新颖的解决方案能改变沟槽数量、锥角以及与之相关的沟槽深度。文中包含的图表来自科学的实验分析,实验采... 本文介绍了一种在沟槽喂料挤出机中调整沟槽几何尺寸的新装置。采用该装置可在挤出过程中高效、连续、独立地改变沟槽尺寸、这一新颖的解决方案能改变沟槽数量、锥角以及与之相关的沟槽深度。文中包含的图表来自科学的实验分析,实验采用在挤出机上用自热挤出法挤出中密度聚氯乙烯。 展开更多
关键词 单螺杆挤出机 喂料段沟槽锥角 沟槽深度 聚合物 熔体 输送效率 机筒 摩擦力
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飞行式电解铣削加工TiB_(2)/7050Al复合材料试验研究
12
作者 徐晨龑 李寒松 +1 位作者 何彬森 蔡晶 《机械制造与自动化》 2023年第5期51-54,共4页
铝基复合材料作为应用最广泛的一种金属基复合材料,具有高比强度、高比刚度、高导热性、高耐磨性、高耐腐蚀性等多方面优点。在加工该材料的薄壁零件时,飞行式电解铣削的方式不会产生加工应力,可以有效规避加工中的变形与震颤。通过分... 铝基复合材料作为应用最广泛的一种金属基复合材料,具有高比强度、高比刚度、高导热性、高耐磨性、高耐腐蚀性等多方面优点。在加工该材料的薄壁零件时,飞行式电解铣削的方式不会产生加工应力,可以有效规避加工中的变形与震颤。通过分析研究加工电压及进给速度对加工效率产生的影响,总结得出试验结果:沟槽深度随加工电压及进给速度的增大而增大,且近似呈线性关系;进给速度的增大能够提升材料去除率,但上升的趋势由18.5%降至2.8%。在40 V加工电压的参数下,单次进给的最大沟槽深度为1.22 mm,最大材料去除率为608 mm^(3)/min。 展开更多
关键词 铝基复合材料 电解铣削 沟槽深度 材料去除率
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城市燃气管道施工中常见的问题与应对措施 被引量:16
13
作者 刘旭亮 吴伟 《中国高新技术企业》 2012年第14期81-83,共3页
城市燃气管道施工可以提高居民的生活水平,是利民惠民政策的重要体现。但是在施工当中还存在诸多问题需要解决。文章主要针对这些问题提出了做好管道防腐工作的措施,以提高施工质量、保障人民群众的生命财产安全。
关键词 城市燃气管道 施工质量 燃气管道外加套管 沟槽深度 管道施工设计
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纳米校准与测试——基于纳米测量机的试验性研究 被引量:2
14
作者 陈晓梅 万宇 朱振宇 《计测技术》 2008年第2期1-5,15,共6页
主要介绍了基于纳米测量机的高阶梯差台阶标准样板和深沟槽深度标准样板计量测试和校准工作研究,包括在NMM上对两种标准样板进行计量测试和校准、在NMM上安装不同的探测传感器时纳米级深度标准样板和台阶高度样板的校准比较、以及在研... 主要介绍了基于纳米测量机的高阶梯差台阶标准样板和深沟槽深度标准样板计量测试和校准工作研究,包括在NMM上对两种标准样板进行计量测试和校准、在NMM上安装不同的探测传感器时纳米级深度标准样板和台阶高度样板的校准比较、以及在研航空基金项目"在NMM上实现小型非球面的坐标扫描轮廓测量方法"。 展开更多
关键词 纳米测量机 沟槽深度标准样板 台阶高度标准样板 非球面坐标测量
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预应力淬硬磨削加工表面微观形貌仿真与实验 被引量:2
15
作者 邓延生 宋建伟 +1 位作者 修世超 王雨时 《东北大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第2期244-248,共5页
为了揭示预应力对磨削淬硬过程及表面微观形貌的影响机理,根据热弹塑性有限元理论,在不同大小的预应力作用下,以45钢试件为研究对象,使用DEFORM-3D进行单磨粒切削仿真,并结合预应力淬硬磨削实验,对等效应变、沟槽深度、表层微观组织及... 为了揭示预应力对磨削淬硬过程及表面微观形貌的影响机理,根据热弹塑性有限元理论,在不同大小的预应力作用下,以45钢试件为研究对象,使用DEFORM-3D进行单磨粒切削仿真,并结合预应力淬硬磨削实验,对等效应变、沟槽深度、表层微观组织及表面微观形貌进行分析.研究表明:施加预应力对热-机械等效应变影响较小,对微观组织转变影响明显,进而影响位错密度和晶粒体积,间接影响表面粗糙度;在预应力取值较小时,随着预应力增大表面沟槽深度减小,有利于减小表面粗糙度值,但在预应力超过某一数值后,会引起表面褶皱,反而使表面粗糙度数值增大. 展开更多
关键词 预应力淬硬磨削 等效应变 沟槽深度 表面粗糙度 仿真与实验
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新型PSVA像素结构中液晶配向的研究 被引量:1
16
作者 邓竹明 赵锋 +4 位作者 邱钟毅 吴欲志 李佳育 罗长诚 连水池 《光电子技术》 CAS 北大核心 2014年第4期226-229,233,共5页
研究了一种新型的PSVA(聚合物稳定垂直配向)像素结构,与传统的的像素结构相比,该新型结构具有更高的穿透率。钝化(Passivation,PV)层的沟槽深度是新型像素结构中的一个关键参数,液晶的方位角和倾斜角与沟槽深度具有很强的相关性。通过... 研究了一种新型的PSVA(聚合物稳定垂直配向)像素结构,与传统的的像素结构相比,该新型结构具有更高的穿透率。钝化(Passivation,PV)层的沟槽深度是新型像素结构中的一个关键参数,液晶的方位角和倾斜角与沟槽深度具有很强的相关性。通过模拟和实验研究了液晶的在该结构中的配向行为。 展开更多
关键词 液晶配向 沟槽深度 像素结构
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高速线材辊环检测工具
17
作者 张涛 崔国权 胡巍 《一重技术》 2001年第4期21-22,共2页
高速线材轧机上的辊环修磨后,使用一套专用工具对其沟槽轴向位置和沟槽深度进行检测,操作 方便。性能可靠。论述这种专用检测工具的结构形式和工作原理。
关键词 辊环 高速线材轧机 沟槽轴向位置 沟槽深度 检测工具
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小型汽油机缸孔平顶珩磨技术简介
18
作者 沈明均 唐晓芸 《汽车工程学报》 2001年第2期52-53,共2页
关键词 平顶珩磨 小型汽油机 负荷曲线 技术简介 磨损高度 缸孔 沟槽深度 磨合性能 发动机 断面形状
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A New Approach to Cleave MEMS Devices from Silicon Substrates
19
作者 Mehdi Rezaei Jonathan Lueke Dan Sameoto Don Raboud Walied Moussa 《Journal of Mechanics Engineering and Automation》 2013年第12期731-738,共8页
关键词 MEMS器件 硅衬底 反应离子蚀刻 光致抗蚀剂 切割技术 沟槽深度 微机电系统 显影时间
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连续墙抓斗动滑轮的改进
20
作者 李敬明 卓凯 刘玮 《工程机械与维修》 2012年第4期140-141,共2页
连续墙抓斗施工特点是借助于泥浆的护壁作用,通过抓斗的提升和下放在地下挖出窄而深的沟槽。所挖沟槽深度可达百米,宽度通常在0.4~1.5 m之间。抓斗施工过程是:抓斗液压缸将抓斗打开后,主卷扬下放钢丝绳,将抓斗下放到沟槽底部;抓斗液... 连续墙抓斗施工特点是借助于泥浆的护壁作用,通过抓斗的提升和下放在地下挖出窄而深的沟槽。所挖沟槽深度可达百米,宽度通常在0.4~1.5 m之间。抓斗施工过程是:抓斗液压缸将抓斗打开后,主卷扬下放钢丝绳,将抓斗下放到沟槽底部;抓斗液压缸将抓斗闭合,主卷扬提升钢丝绳,将抓斗提升到地面卸土。 展开更多
关键词 连续墙 抓斗 动滑轮 提升钢丝绳 沟槽深度 施工特点 施工过程 液压缸
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