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题名脉冲腐蚀法制备的多孔硅对乙醇气体的响应
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作者
黎学明
杨金瑞
杨根岭
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机构
重庆大学化学化工学院
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出处
《重庆工学院学报(自然科学版)》
2009年第8期172-175,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(10476035)
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文摘
采用电化学脉冲腐蚀法,在P型单晶硅片上制备了多孔硅(Porous Silicon,PS).以制备的多孔硅为传感元件,利用电感耦合器件(CCD)记录了乙醇蒸汽的反射干涉图.反射光谱经IGOR软件进行傅里叶变换后,得到多孔硅的光学厚度值,并以此为依据探讨多孔硅对乙醇蒸汽的传感特性.实验结果表明,当PS膜暴露于乙醇蒸汽中时,反射谱吸收峰位发生红移,相应的光学厚度也发生红移;当乙醇气体体积分数大于500×10-6时。PS的光学厚度急剧增大.
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关键词
多孔硅
法布里·珀罗干涉
脉冲腐蚀
光学厚度
传感
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Keywords
porous silicon
interference
fourier transform
optical thickness
sensor
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分类号
TN304.12
[电子电信—物理电子学]
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名LC-FPF的中心波长自动校准
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作者
马雨虹
孙军强
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机构
华中科技大学光电子工程系
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出处
《光通信研究》
北大核心
2005年第2期59-61,共3页
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文摘
介绍了向列型液晶折射率随电压和温度的变化规律。针对液晶法布里·珀罗光滤波器(LC FPF)在密集波分复用(DWDM)系统中的应用,设计了一种中心波长自动校准单元,描述了其相关原理和详细的光路、电路组成,并以数例形式分析了此单元的温度漂移补偿效果。
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关键词
滤波器
液晶
法布里·珀罗干涉计
密集波分复用
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Keywords
filter
liquid crystal
Fabry-Perot interferometer
DWDM
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分类号
TN814
[电子电信—信息与通信工程]
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