法布里—泊罗标准具实验的一种新的数据处理方法

给出了用法布里—泊罗标准具测量光波波长的一种数据处理方法,该方法克服了传统方法中叉丝难以对准圆环中心而引入的误差,并对实验测量的光波波长作了不确定度评价.

法布里—泊罗标准具在精密测量中的应用

根据最小二乘法原理,直接对法布里—泊罗标准具产生的干涉条纹进行拟合,在拟合过程中充分考虑了矩阵的病态条件,推导出光波波长与拟合方程系数间的关系。利用干涉条纹数字化方法求出了光波波长,这种方法克服了传统方法难以对准中心(圆心)和干涉条纹发生畸变时不能保证△r2恒为常量的缺陷。利用此方法可实现特殊形状工件的精密测量,提高测量精度。试验结果表明:系统对工件的测量精度可达到10μm量级,并可实现大规模快速测量。