1
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石英湿法腐蚀及谐振器制作工艺研究 |
龙雪松
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《压电与声光》
CAS
北大核心
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2024 |
0 |
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2
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湿法腐蚀清洗设备废气排放过程中的流场优化 |
谢振民
黄鑫亮
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《清洗世界》
CAS
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2023 |
0 |
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3
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SiGe/SiHBT制造中干法、湿法腐蚀技术的研究 |
邹德恕
陈建新
袁颖
董欣
高国
沈光地
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《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
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1997 |
1
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4
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超声技术在硅湿法腐蚀中的应用 |
曾毅波
王凌云
谷丹丹
孙道恒
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《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2009 |
8
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5
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湿法腐蚀硅制作PDMS微流控芯片 |
张峰
张宏毅
周勇亮
杨渭
陈彬彬
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《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2005 |
5
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6
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石英湿法腐蚀及侧壁晶棱修平工艺研究 |
王浩旭
谢立强
吴学忠
李圣怡
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《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
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2009 |
7
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7
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InAs/GaSb超晶格红外探测器台面湿法腐蚀研究 |
陈慧娟
郭杰
丁嘉欣
鲁正雄
彭振宇
孙维国
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《微纳电子技术》
CAS
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2008 |
7
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8
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ST-石英的湿法腐蚀工艺研究 |
林丙涛
唐光庆
周倩
张巧云
翁邦英
班亚娟
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《压电与声光》
CSCD
北大核心
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2014 |
4
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9
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高功率垂直腔面发射激光器的湿法腐蚀工艺 |
侯立峰
冯源
杨永庄
瞿建新
赵英杰
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《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2011 |
3
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10
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7740玻璃湿法腐蚀凹槽及槽内光刻图形的研究 |
郑志霞
林雁飞
冯勇建
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《厦门大学学报(自然科学版)》
CAS
CSCD
北大核心
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2005 |
6
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11
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氮化物半导体GaN的光辅助湿法腐蚀 |
章蓓
黄其煜
周大勇
戴伦
张国义
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《Journal of Semiconductors》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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1998 |
4
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12
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单晶硅各向异性湿法腐蚀机理的研究进展 |
王涓
孙岳明
黄庆安
周再发
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《化工时刊》
CAS
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2004 |
16
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13
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湿法腐蚀DFB半导体激光器的均匀光栅的研究 |
高丽艳
陈国鹰
花吉珍
张世祖
郭艳菊
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《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
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2005 |
2
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14
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InAs/GaSb二类超晶格材料湿法腐蚀工艺研究 |
亢喆
温涛
郭喜
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《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
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2018 |
2
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15
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TMAH+Triton中Si湿法腐蚀机理研究现状 |
姚明秋
苏伟
唐彬
王芳
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《微纳电子技术》
CAS
北大核心
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2014 |
2
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16
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GaAs MISFET制备中柠檬酸/双氧水溶液对GaAs/Al_xGa_(1-x)As结构的选择湿法腐蚀 |
杨瑞霞
陈宏江
武一宾
杨克武
杨帆
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《电子器件》
CAS
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2007 |
1
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17
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电化学湿法腐蚀法制备硅微柱阵列 |
李鑫
罗洁
任丁
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《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
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2018 |
2
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18
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Al膜的微孔阵列湿法腐蚀技术研究 |
韩军
范琳琳
刘欢
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《红外与激光工程》
EI
CSCD
北大核心
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2015 |
1
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19
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碲镉汞p型接触孔湿法腐蚀工艺研究 |
陈慧卿
白雪飞
宁提
胡尚正
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《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
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2019 |
1
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20
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多孔硅层湿法腐蚀现象的研究 |
周卫
福田芳雄
古屋一夫
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《电子元件与材料》
CAS
CSCD
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2000 |
2
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