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运用泽尼克多项式进行物面波前数据拟合
被引量:
17
1
作者
惠梅
牛憨笨
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1999年第12期1113-1116,共4页
本文提出了一种运用泽尼克(Zernike) 多项式的波前数据拟合方法- 给出了离散点上正交多项式的构造并描述了具体计算步骤- 可对待测物面低调制度点、散斑点、噪音及灰尘点区域进行波前数据拟合,通过一定阈值的设定,将误差...
本文提出了一种运用泽尼克(Zernike) 多项式的波前数据拟合方法- 给出了离散点上正交多项式的构造并描述了具体计算步骤- 可对待测物面低调制度点、散斑点、噪音及灰尘点区域进行波前数据拟合,通过一定阈值的设定,将误差点用掩模滤除并予以拟合- 进一步提高了物体测量精度-
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关键词
泽尼克多项式
波前数据拟合
物体
三维形貌
下载PDF
职称材料
题名
运用泽尼克多项式进行物面波前数据拟合
被引量:
17
1
作者
惠梅
牛憨笨
机构
中国科学院西安光学精密机械研究所
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1999年第12期1113-1116,共4页
文摘
本文提出了一种运用泽尼克(Zernike) 多项式的波前数据拟合方法- 给出了离散点上正交多项式的构造并描述了具体计算步骤- 可对待测物面低调制度点、散斑点、噪音及灰尘点区域进行波前数据拟合,通过一定阈值的设定,将误差点用掩模滤除并予以拟合- 进一步提高了物体测量精度-
关键词
泽尼克多项式
波前数据拟合
物体
三维形貌
Keywords
Zernike polynomials
Wavefront data fittng
Threshold
Mask
分类号
O432.2 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
运用泽尼克多项式进行物面波前数据拟合
惠梅
牛憨笨
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
1999
17
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职称材料
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