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题名相干衍射成像技术的最新进展:层叠相位重建技术
被引量:6
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作者
潘兴臣
刘诚
肖伟刚
朱健强
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机构
中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理联合实验室
中国科学院中国工程物理研究院高功率激光物理联合实验室
中国科学院重大科技任务局
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出处
《激光与光电子学进展》
CSCD
北大核心
2022年第22期1-30,共30页
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基金
国家自然科学基金(61827816,11875308,61675215)
中国科学院科研仪器设备研制项目(YJKYYQ20180024)
+1 种基金
上海市“科技创新行动计划”项目(19142202600)
国家青年科学基金(61905259)。
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文摘
近些年新出现的层叠相位重建引擎(PIE)是一种能够有效解决相位测量难题的无透镜成像技术,相比于传统的相干衍射成像技术,PIE技术具备更高的重建精度、更好的收敛性。由于理论上具备可无限拓展的视场范围、超高分辨能力和对噪声的强鲁抗性,PIE目前被广泛应用于各种相位成像和相位测量领域。讨论了PIE技术提出的背景和核心原理,同时总结了近些年该类算法的主要技术突破,特别地,讨论了PIE技术在X射线、电子束和可见光波段成像领域的关键节点。此外,还总结了在其他领域中基于PIE技术的变形算法,并对将来可能的技术突破点和所面临的挑战进行了讨论。
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关键词
相位恢复
层叠相位重建
波前重建
迭代计算
光学检测
波前诊断
超快测量
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Keywords
phase retrieval
ptychographic iterative engine
wave reconstruction
iterative engine
optical metrology
wave front diagnostic
ultrafast wave measurement
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分类号
O436
[机械工程—光学工程]
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