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杯形波动陀螺振型偏移角快速辨识方法 被引量:4
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作者 陶溢 席翔 +3 位作者 肖定邦 陈志华 谭颖琦 吴学忠 《振动工程学报》 EI CSCD 北大核心 2011年第4期351-358,共8页
振型偏移角辨识是杯形波动陀螺平衡调节工序的关键步骤。在研究了杯形波动陀螺振型分布与压电电极信号输出关系的基础上,根据陀螺两阶相邻工作模态下其固有轴系分布相差45°的特点,提出了一种基于压电电极输出信号检测的杯形波动陀... 振型偏移角辨识是杯形波动陀螺平衡调节工序的关键步骤。在研究了杯形波动陀螺振型分布与压电电极信号输出关系的基础上,根据陀螺两阶相邻工作模态下其固有轴系分布相差45°的特点,提出了一种基于压电电极输出信号检测的杯形波动陀螺振型偏移角快速辨识方法,该方法可消除杯形波动陀螺压电电极振动传递效率差异对振型测试带来的影响,准确辨识出振型偏移角度,同时可计算出各压电电极振动传递效率的比例关系。采用该方法对杯形波动陀螺原理样机进行振型偏移角辨识,并将辨识结果与激光测振仪对样机的振型测试数据进行比较,结果表明该方法电路实现简单,耗时短,计算准确,可有效提高振型偏移角的辨识效率。研究工作可为杯形波动陀螺平衡调节和测控电路设计提供参考。 展开更多
关键词 杯形波动陀螺 振型偏移角 压电电极 振动传递效率 信号检测
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硅基MEMS环形波动陀螺谐振结构的研制 被引量:1
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作者 寇志伟 刘俊 +2 位作者 曹慧亮 石云波 张英杰 《微纳电子技术》 北大核心 2018年第3期178-182,218,共6页
根据固体波动陀螺的工作机理与振动特性,提出并制作了一种新颖的电容式全对称硅基MEMS环形波动陀螺谐振结构。设计了全对称双U形弹性梁环形敏感结构并进行了动力学分析。分析结果表明其工作模态的谐振频率为10.193 0与10.198 0 kHz,频... 根据固体波动陀螺的工作机理与振动特性,提出并制作了一种新颖的电容式全对称硅基MEMS环形波动陀螺谐振结构。设计了全对称双U形弹性梁环形敏感结构并进行了动力学分析。分析结果表明其工作模态的谐振频率为10.193 0与10.198 0 kHz,频率差为5 Hz,表明该敏感结构在结构设计上具有高灵敏度。研究了基于深反应离子刻蚀(DRIE)与阳极键合技术的玻璃上硅(SOG)结构加工制造流程,并成功制作了该环形谐振结构。模态响应测试表明该硅基MEMS环形波动陀螺敏感结构的工作模态谐振频率为10.985 0和10.962 5 kHz,与动力学仿真分析结果的相对误差为7.21%,表明该陀螺谐振结构设计合理,加工工艺流程可行。 展开更多
关键词 微电子机械系统(MEMS) 环形波动陀螺 谐振结构 深反应离子刻蚀(DRIE) 玻璃上硅(SOG)结构
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微型固体波动陀螺技术发展研究 被引量:1
3
作者 蒋军彪 刘奎 谭鹏立 《弹箭与制导学报》 北大核心 2021年第6期12-17,共6页
微型固体波动陀螺具有超高精度的潜质,可作为不依赖卫星的导航系统的传感器。首先简述了固体波动陀螺的技术方案;然后较为详细介绍了微型半球谐振陀螺的发展现状和制备工艺;着重讨论了微型半球谐振陀螺的主要误差源;最后分析了存在的问... 微型固体波动陀螺具有超高精度的潜质,可作为不依赖卫星的导航系统的传感器。首先简述了固体波动陀螺的技术方案;然后较为详细介绍了微型半球谐振陀螺的发展现状和制备工艺;着重讨论了微型半球谐振陀螺的主要误差源;最后分析了存在的问题,提出了解决途径。 展开更多
关键词 微型固体波动陀螺 微型半球谐振陀螺 谐振子 频率裂解 锁区
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杯形波动陀螺高稳定度正弦驱动技术研究 被引量:3
4
作者 谢笛 吴学忠 +3 位作者 苏剑彬 陶溢 周泽龙 李浩 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第12期1712-1717,共6页
杯形波动陀螺具有极高的Q值,一般都在20 000以上,因此仅仅0.3‰的驱动信号频率误差都会使陀螺机械灵敏度降低99%以上。针对这一问题实现了一种基于直接数字频率合成的高性能正弦信号生成算法,以此为基础从统计域的角度对引起频率源抖动... 杯形波动陀螺具有极高的Q值,一般都在20 000以上,因此仅仅0.3‰的驱动信号频率误差都会使陀螺机械灵敏度降低99%以上。针对这一问题实现了一种基于直接数字频率合成的高性能正弦信号生成算法,以此为基础从统计域的角度对引起频率源抖动的根源进行了估计分析,并给出了一种具有针对性的抖动分离方法,为频率源的设计提供了理论指导和依据,降低了修正和优化频率源的盲目性。由阿伦方差可知采用抖动分离方法优化后,频率源短期稳定度提高约为20%。通过对设计的频率源进行一系列时域和频域测试分析,证明最终的驱动信号频率稳定在1 mHz以内。 展开更多
关键词 杯形波动陀螺 高稳定度正弦信号 抖动分离 频率直接合成 优化方法
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一种高灵敏度电容式波动陀螺的设计与分析 被引量:1
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作者 寇志伟 崔啸鸣 +2 位作者 陈苏力德 孔哲 景高乐 《电子测量技术》 北大核心 2023年第7期39-44,共6页
基于固体波动陀螺灵敏度高、可靠性好、动态范围宽等突出优点,本文研究了一种全新的高灵敏度电容式微机电环形波动陀螺。首先设计了微机电环形波动陀螺的敏感结构与整体结构,并分析了工作特性与敏感原理;其次建立了环形敏感结构的灵敏... 基于固体波动陀螺灵敏度高、可靠性好、动态范围宽等突出优点,本文研究了一种全新的高灵敏度电容式微机电环形波动陀螺。首先设计了微机电环形波动陀螺的敏感结构与整体结构,并分析了工作特性与敏感原理;其次建立了环形敏感结构的灵敏度数值模型,分析了灵敏度与主要设计参数的关系;最后对环形敏感结构进行了模态仿真、静电驱动分析、灵敏度分析与极限位移分析,得到了该微机电环形波动陀螺的谐振频率为6.036 0 kHz,在2.906 8μm的驱动激励下机械灵敏度为0.003 6μm/°,最大静态应力为19.82 MPa。分析结果表明该陀螺敏感结构设计合理,能够实现高灵敏度的角速度敏感,为进一步研制高灵敏度MEMS陀螺奠定了基础。 展开更多
关键词 微机电系统 环形波动陀螺 灵敏度 敏感结构
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基于激光多普勒的杯形波动陀螺频率裂解测量
6
作者 李靖轩 孙小燕 +2 位作者 于亚龙 林星 胡友旺 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2021年第7期26-31,43,共7页
频率裂解是杯形波动陀螺的关键技术指标,对陀螺性能有着重要影响,因此设计测试方案对其进行准确测量十分必要。根据陀螺的工作原理,设计了扫频激励、单频激励2种激励方案,在周向不同方位实现陀螺的激振;利用激光多普勒测振仪采集陀螺的... 频率裂解是杯形波动陀螺的关键技术指标,对陀螺性能有着重要影响,因此设计测试方案对其进行准确测量十分必要。根据陀螺的工作原理,设计了扫频激励、单频激励2种激励方案,在周向不同方位实现陀螺的激振;利用激光多普勒测振仪采集陀螺的振动信号,解算出陀螺的谐振频率,实现频率裂解的非接触式检测;在此基础上,对陀螺低频轴和高频轴进行了区分。实验表明,两种激励方案的测量结果具有较好的可重复性和一致性,可以实现陀螺频率裂解的准确测量。 展开更多
关键词 杯形波动陀螺 频率裂解 激光多普勒测量 扫频激励 单频激励
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固体波动陀螺(二)
7
作者 ЖуравлевВ.Ф. КлимовД.М. 于波 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1990年第6期65-78,共14页
二、均值法基础3.单频系统在本书中,为了解决固体波动陀螺的动力学问题,广泛地采用了均值法.这种方法用于分析微分方程时有其局限性.下面将阐述均值法的基本概念.
关键词 固体 波动陀螺 陀螺
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固体波动陀螺(一)
8
作者 ЖуравлвB.Ф. КлимовД.М. 陈子玉 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1990年第5期73-82,共10页
本译文是根据1985年苏联科学出版社出版的朱拉夫拉夫Β.Φ.和克里莫夫的《固体波动陀螺》(1985.)一书全文译出.作者任职于苏联科学院应用力学所,兼职于莫斯科国立技术大学(以前的鲍曼高工)仪表、定向与稳定系统及载体导航教研室.固体波... 本译文是根据1985年苏联科学出版社出版的朱拉夫拉夫Β.Φ.和克里莫夫的《固体波动陀螺》(1985.)一书全文译出.作者任职于苏联科学院应用力学所,兼职于莫斯科国立技术大学(以前的鲍曼高工)仪表、定向与稳定系统及载体导航教研室.固体波动陀螺是振动陀螺的一种,而半球谐振陀螺是固体波动陀螺的一种结构形式.此书在建立固体波动陀螺的数学模型的基础上,讨论了分析的方法,建立了这种陀螺的理论.讨论了谐振器激振的方法,对制造过程中的误差及对精度的影响,仪表输出信息的采集与处理,以及非线性的影响等问题都进行了论述.为推动我国固体波动陀螺的发展,编辑部接受专家的要求,将此书译文在本刊分期连载,这对新型陀螺仪的研制来说是很有益的.此书由国防工业出版社陈子玉同志(译序言、第一章)、北京航空航天大学于波同志(译第二章)、曾乃真同志(译第三、四章)分别译出,最后由于波同志统一定稿,且做了文字上的修改,并由该校徐学贤、郦吉臣同志校稿. 展开更多
关键词 固体 波动陀螺
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微机电固态波动陀螺敏感结构设计与分析
9
作者 寇志伟 孔哲 +1 位作者 陈苏力德 卢普州 《内蒙古工业大学学报(自然科学版)》 2023年第2期163-168,共6页
基于微机电固态波动陀螺的工作原理,设计了一种全对称的S形弹性梁环形波动陀螺敏感结构。首先设计了微机电环形固态波动陀螺的环形敏感结构,并分析了其动力学方程与角度敏感原理。其次,在有限元软件中建立了S形弹性梁环形波动陀螺敏感... 基于微机电固态波动陀螺的工作原理,设计了一种全对称的S形弹性梁环形波动陀螺敏感结构。首先设计了微机电环形固态波动陀螺的环形敏感结构,并分析了其动力学方程与角度敏感原理。其次,在有限元软件中建立了S形弹性梁环形波动陀螺敏感结构的微机械模型,仿真分析了敏感结构的运动模态与幅频响应。模态仿真表明该S形弹性梁环形波动陀螺敏感结构的1~10阶模态中,中心频率为9.2897~9.2914 kHz的第7、8阶模态为面内的四波腹椭圆弯曲振动,可以作为环形陀螺的基础工作模态。幅频响应分析表明在0~10 kHz的频段上只有一个振动模态被激发且中心频率为9.2897、9.2914 kHz,谐振幅值为0.673μm,该模态的频率与模态分析的中心频率一致,验证了敏感结构设计的合理性,为其进一步的研究与工程化提供了必要的理论基础。 展开更多
关键词 微机电 固态波动陀螺 敏感结构 运动模态 幅频响应
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固体波动陀螺(四)
10
作者 Журавлев В.Ф. Климов Д.М 曾乃真 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1991年第2期55-76,共22页
14 材料的内耗和它对谐振器的影响 前章所讨论的理想情况与现实的最大区别之一在于:现实中还存在着一种能衰减环自由振动的耗散力。如果衰减不大,在短时间工作时,那么有弯矩振动的环可以用作惯性信息传感器,此时不必采取特殊措施来支... 14 材料的内耗和它对谐振器的影响 前章所讨论的理想情况与现实的最大区别之一在于:现实中还存在着一种能衰减环自由振动的耗散力。如果衰减不大,在短时间工作时,那么有弯矩振动的环可以用作惯性信息传感器,此时不必采取特殊措施来支持振动,也即使它处于“跑动”状态。 展开更多
关键词 固体波动陀螺 陀螺 谐振器 动力学
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固体波动陀螺(三)
11
作者 Журавлев В.Ф. Климов Д.М. 曾乃真 《压电与声光》 CSCD 北大核心 1991年第1期68-90,共23页
9.弹性非拉伸环的动力学性质 在本章节中,我们要求出旋转的薄壁环自由振动的线性微分方程解,它一方面反映波场的进动现象,同时还反映各种形式形态振动的规律。此时假定,环的旋转速度相对时间来说是任意的。
关键词 固体波动陀螺 陀螺 谐振器 动力学
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杯形波动陀螺的振动仿真分析和试验 被引量:3
12
作者 席翔 陶溢 +2 位作者 崔红娟 肖定邦 吴学忠 《机械设计与研究》 CSCD 北大核心 2010年第6期31-33,共3页
针对一种基于压电激励方式的杯形波动陀螺谐振子,进行理论分析并采用有限元软件,得到了谐振子在工作模态下的轴向与周向振幅分布特性,通过给出挠度函数重点分析了谐振子的径向振幅计算问题;最后对25 mm的杯形波动陀螺谐振子样机进行... 针对一种基于压电激励方式的杯形波动陀螺谐振子,进行理论分析并采用有限元软件,得到了谐振子在工作模态下的轴向与周向振幅分布特性,通过给出挠度函数重点分析了谐振子的径向振幅计算问题;最后对25 mm的杯形波动陀螺谐振子样机进行了试验验证。研究结果表明将谐振子沿轴向的振幅变化作线性处理是合适的,由仿真分析引出的幅值计算函数适用于实际情况分析,同时也为杯形波动陀螺谐振子的参数化建模及结构优化设计提供了依据。 展开更多
关键词 杯形波动陀螺 振动仿真 幅值计算 测试
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固体波动陀螺金属振子温度特性研究 被引量:1
13
作者 马晓飞 苏中 《导航与控制》 2015年第3期48-52,93,共6页
温度性能是制约陀螺精度等性能的一个主要因素,在各类陀螺技术的研究中都备受关注。温度因素对固体波动陀螺性能的影响主要体现在陀螺的测量精度以及零偏,究其根本原因是温度变化对金属振子的振动特性产生了影响。本文分别从理论推导、... 温度性能是制约陀螺精度等性能的一个主要因素,在各类陀螺技术的研究中都备受关注。温度因素对固体波动陀螺性能的影响主要体现在陀螺的测量精度以及零偏,究其根本原因是温度变化对金属振子的振动特性产生了影响。本文分别从理论推导、仿真分析和实验测试方面研究了温度对金属振子振动特性的影响行为,为解决温度对固体波动陀螺性能影响的改善提供了一种新途径。 展开更多
关键词 固体波动陀螺 金属振子 温度特性 振动特性 频率
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金属壳固体波动陀螺信号提取方法研究
14
作者 苏中 李擎 《导航与控制》 2015年第3期15-20,47,共7页
金属壳固体波动陀螺是利用驻波的进动特性来敏感输入角速率的一种新型壳体振动陀螺,具有结构简单、功耗低、抗冲击性强、稳定性高等优点,可广泛应用于中低精度角速度测量领域。针对金属壳固体波动陀螺信号提取方法进行研究,在分析其工... 金属壳固体波动陀螺是利用驻波的进动特性来敏感输入角速率的一种新型壳体振动陀螺,具有结构简单、功耗低、抗冲击性强、稳定性高等优点,可广泛应用于中低精度角速度测量领域。针对金属壳固体波动陀螺信号提取方法进行研究,在分析其工作原理和基本数学模型的基础上,提出利用四回路控制方法,进行角速度解算。首先,通过激励电极和反馈电极对振子振动特性进行控制;其次,通过阻尼电极和检测电极抑制振子振型偏移:最后,根据阻尼控制力解算出输入角速度。通过仿真计算,给出了角速度解算结果,验证了该方法的有效性。 展开更多
关键词 金属壳固体波动陀螺 钟形振子 哥氏振动陀螺 陀螺信号提取
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高端MEMS固体波动陀螺的发展与应用 被引量:8
15
作者 权海洋 杨栓虎 +1 位作者 陈效真 王浩 《导航与控制》 2017年第6期74-82,73,共10页
总结了固体波动陀螺的发展历程,分析了从固体波动陀螺到MEMS陀螺的演化过程。通过对MEMS谐振环陀螺的演化与研制历程进行分析,预测未来高端MEMS陀螺发展方向,推动我国高端MEMS环形固体波动陀螺的研究与应用。
关键词 MEMS谐振环陀螺 固体波动陀螺 谐振盘DRG陀螺
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金属壳谐振陀螺数字式多回路信号检测方法 被引量:4
16
作者 刘宁 苏中 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期100-105,共6页
针对金属壳谐振陀螺信号处理过程中,由于控制模型中的强耦合性和变结构特点,传统控制方法很难有效控制振子整体振型,导致输入角速率无法精确估计的难题,本文提出了一种结合金属壳谐振陀螺模型的数字式多回路检测方法。分析了金属壳谐振... 针对金属壳谐振陀螺信号处理过程中,由于控制模型中的强耦合性和变结构特点,传统控制方法很难有效控制振子整体振型,导致输入角速率无法精确估计的难题,本文提出了一种结合金属壳谐振陀螺模型的数字式多回路检测方法。分析了金属壳谐振陀螺信号特点,确定数字式信号调理方式;在谐振子机电耦合模型的基础上,建立陀螺的等效电路模型;利用频域分析方法,对模型参数进行辨识;研究多回路控制检测方法与实现方式,分析各回路间的作用效果,实现输入角速率的准确检测。通过仿真验证与实际测试,验证了所述方法的有效性。 展开更多
关键词 金属壳谐振陀螺 数字式多回路信号检测 角速率估计 动力学方程 谐振子 固体波动陀螺
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Structure design and simulation of MEMS vibrating ring gyroscope 被引量:2
17
作者 寇志伟 曹慧亮 +2 位作者 石云波 刘俊 唐军 《Journal of Measurement Science and Instrumentation》 CAS CSCD 2016年第1期78-83,共6页
MEMS gyroscope is a new inertial navigation sensor,which can measure the input angular rate of sensitive axis using Coriolis effect.Compared to the conventional gyroscope,it owns many unique advantages.A novel structu... MEMS gyroscope is a new inertial navigation sensor,which can measure the input angular rate of sensitive axis using Coriolis effect.Compared to the conventional gyroscope,it owns many unique advantages.A novel structure of vibrating ring gyroscope is proposed and the finite element model of the oscillator is established based on MEMS technology.Through the modal analysis,the natural frequency and mode shapes of the oscillator are obtained.By analyzing the effects of the structural parameters on the mode shapes and frequency of the harmonic oscillator,the optimal design parameters are got.The frequency difference between the operating mode and the other modes is greater than 1kHz after optimization,which can avoid the frequency coupling of the operating mode and other vibrating modes of the oscillator.The simulation results show that the performance parameters of the ring structure meet the design requirements and have obvious advantages. 展开更多
关键词 MEMS vibrating ring gyroscope inertial sensor angular rate solid wave gyroscope
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抑制旋转抛物面形谐振子频率裂解研究
18
作者 刘洪 苏中 《导航与控制》 2015年第3期26-30,14,共6页
旋转抛物面形金属结构作为一种新型固体波动陀螺的振子,利用处于谐振状态下的轴对称谐振壳体中驻波的哥氏效应敏感角运动。谐振子本身的结构特点使其具有抗高过载、高冲击的特性,因而在高动态环境下的中低精度角速率测量场合具有广阔的... 旋转抛物面形金属结构作为一种新型固体波动陀螺的振子,利用处于谐振状态下的轴对称谐振壳体中驻波的哥氏效应敏感角运动。谐振子本身的结构特点使其具有抗高过载、高冲击的特性,因而在高动态环境下的中低精度角速率测量场合具有广阔的应用前景。在实际制造过程中.由于旋转抛物面形谐振子的壁厚、密度、弹性模量等结构和材料参数的不均匀会导致其固有频率发生裂解,其值的大小是决定能否产生陀螺效应以及影响陀螺整体性能指标的关键因素。针对上述问题,提出了一种通过去除谐振子边缘质量的方法减小其频率裂解。通过有限元仿真分析及试验测试证明该方法能够有效抑制谐振子的固有频率裂解,使得频率裂解减小到0.2Hz以下。 展开更多
关键词 固体波动陀螺 旋转抛物面形谐振子 频率裂解
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Simple Adaptive Filtering Scheme to Improve Measurement Accuracy of Gyroscope on Angular Motion Base 被引量:1
19
作者 张克志 田蔚风 +1 位作者 张淑雯 钱峰 《Journal of Shanghai Jiaotong university(Science)》 EI 2009年第6期732-735,共4页
The objective of this work is to improve the measurement accuracy of a gyroscope on a angular motion base with a simple adaptive filter scheme.Two main topics are highlighted in this work.The first topic is to show bu... The objective of this work is to improve the measurement accuracy of a gyroscope on a angular motion base with a simple adaptive filter scheme.Two main topics are highlighted in this work.The first topic is to show building a dual-process model employed for the conventional Kalman filter.The second topic is to show developing a modified noise adaptive algorithm when measurement noise and process noise are unknown.The experimental results are presented to show that the simple adaptive filtering scheme outperforms the other conventional scheme in this paper in terms of noise reduction. 展开更多
关键词 adaptive filter dual-process model GYROSCOPE
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