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光弹效应在光电子器件中的应用
被引量:
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作者
邢启江
徐万劲
+3 位作者
高文胜
袁志军
孙锴
王爱民
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第z1期1-6,共6页
在直流负偏压120V作用下利用射频溅射和光刻剥离技术在InGaAsP/InP双异质结结构外延片表面淀积110nm厚、宽为2μm的W0.95Ni0.05金属薄膜应变条. 实验测得W0.95Ni0.05金属薄膜应变条边缘单位长度产生9.7×105dyn/cm压应变力.在这样...
在直流负偏压120V作用下利用射频溅射和光刻剥离技术在InGaAsP/InP双异质结结构外延片表面淀积110nm厚、宽为2μm的W0.95Ni0.05金属薄膜应变条. 实验测得W0.95Ni0.05金属薄膜应变条边缘单位长度产生9.7×105dyn/cm压应变力.在这样压应变力作用下,W0.95Ni0.05金属薄膜应变条下InGaAsP/InP 双异质结结构内0.2~2μm深度范围内形成的条形波导的导波强度为1.5×10-3至1.7 ×10-1.与由W和SiO2应变薄膜所形成的光弹波导及其光弹光电子器件相比较,由W 0.95Ni0.05金属薄膜应变条形成的光弹效应波导结构在平面型光电子器件中有着更重要的实际应用.
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关键词
WNi/半导体接触
光
弹效应
光
弹
波导
结构
平面型
光
弹
光
电子器件
.
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职称材料
基于变量变换级数展开法的光波导矢量本征模分析
被引量:
4
2
作者
肖金标
孙小菡
+1 位作者
张明德
丁东
《中国工程科学》
2001年第11期49-53,共5页
基于变量变换级数展开法 ,获得了掩埋矩形光波导及脊形光波导的矢量本征模及其传播常数。变量变换使无限平面映射成单位平面 ,从而使单位平面边界上的电磁场自然为零 ,消除了非物理反射 ,提高了计算精度 ;另外 ,由于这种方法所导致的矩...
基于变量变换级数展开法 ,获得了掩埋矩形光波导及脊形光波导的矢量本征模及其传播常数。变量变换使无限平面映射成单位平面 ,从而使单位平面边界上的电磁场自然为零 ,消除了非物理反射 ,提高了计算精度 ;另外 ,由于这种方法所导致的矩阵阶数小 ,因此计算效率较高。分析的结果与已发表的结果吻合较好 。
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关键词
变量变换级数展开法
光
波导
矢量本征模分析
波导光电子器件
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职称材料
题名
光弹效应在光电子器件中的应用
被引量:
1
1
作者
邢启江
徐万劲
高文胜
袁志军
孙锴
王爱民
机构
北京大学物理学院人工微结构和介观物理国家重点实验室
出处
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第z1期1-6,共6页
基金
国家自然科学基金(批准号69976003)资助项目
文摘
在直流负偏压120V作用下利用射频溅射和光刻剥离技术在InGaAsP/InP双异质结结构外延片表面淀积110nm厚、宽为2μm的W0.95Ni0.05金属薄膜应变条. 实验测得W0.95Ni0.05金属薄膜应变条边缘单位长度产生9.7×105dyn/cm压应变力.在这样压应变力作用下,W0.95Ni0.05金属薄膜应变条下InGaAsP/InP 双异质结结构内0.2~2μm深度范围内形成的条形波导的导波强度为1.5×10-3至1.7 ×10-1.与由W和SiO2应变薄膜所形成的光弹波导及其光弹光电子器件相比较,由W 0.95Ni0.05金属薄膜应变条形成的光弹效应波导结构在平面型光电子器件中有着更重要的实际应用.
关键词
WNi/半导体接触
光
弹效应
光
弹
波导
结构
平面型
光
弹
光
电子器件
.
Keywords
WNi/ semiconductor contact, photoelastic effect, photoelastic waveguide structures, planar phot oelastic optoelectronic devices.
分类号
TN3 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
基于变量变换级数展开法的光波导矢量本征模分析
被引量:
4
2
作者
肖金标
孙小菡
张明德
丁东
机构
东南大学电子工程系
出处
《中国工程科学》
2001年第11期49-53,共5页
基金
高等学校博士学科点专项科研基金资助课题 ( 980 2 86 38)
文摘
基于变量变换级数展开法 ,获得了掩埋矩形光波导及脊形光波导的矢量本征模及其传播常数。变量变换使无限平面映射成单位平面 ,从而使单位平面边界上的电磁场自然为零 ,消除了非物理反射 ,提高了计算精度 ;另外 ,由于这种方法所导致的矩阵阶数小 ,因此计算效率较高。分析的结果与已发表的结果吻合较好 。
关键词
变量变换级数展开法
光
波导
矢量本征模分析
波导光电子器件
Keywords
variable transformed series expansion method
optical waveguides
vectorial eigenmode analysis
分类号
TN252 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
光弹效应在光电子器件中的应用
邢启江
徐万劲
高文胜
袁志军
孙锴
王爱民
《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002
1
下载PDF
职称材料
2
基于变量变换级数展开法的光波导矢量本征模分析
肖金标
孙小菡
张明德
丁东
《中国工程科学》
2001
4
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职称材料
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