微机电系统材料特性检测技术

微机电系统(MEMS)的材料特性是决定微机电系统性能的重要参数。本文介绍了微机电系统材料特性的各种检测技术以及材料特性的研究现状与发展,着重介绍了全光学测试法和波导测试站的分类、原理及特性。