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波导薄膜厚度测量原理的理论分析 被引量:3
1
作者 赵毅红 陈荣发 《真空》 CAS 北大核心 2005年第1期25-27,共3页
运用电磁场理论对金属波导膜厚测量的原理进行了详细分析,并且研制了一台膜厚测量仪,理论和实践表明:可以通过测量复合金属波导膜系励磁电流的脉冲波形来控制薄膜的生长厚度。
关键词 膜厚测量 波导薄膜 电磁场理论 励磁电流
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波导薄膜折射率测量方法研究
2
作者 李晶 蒋安民 +1 位作者 夏青生 李锡善 《曲阜师范大学学报(自然科学版)》 CAS 1993年第3期53-60,共8页
本文讨论了四种测量波导薄膜的有效方法,对各种测量方法作了分析研究,并着重对棱镜耦合法进行了实验研究。
关键词 波导薄膜 棱镜耦合 折射率 测量
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氮化铝波导薄膜的TM模测试原理与方法
3
作者 袁一方 夏翔 《光子学报》 EI CAS CSCD 2000年第Z01期44-46,共3页
用MOCVD在蓝宝石基板上生长的氮化工铝单晶薄膜,波导测量方法用作研究单晶薄膜的偏振的理论分析和从实验结果得到的TE和TM的光学特性。这是首次提出的AIN单晶薄膜的偏振特性研究。
关键词 氮化铝 偏振 AIN波导薄膜
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层状YIG薄膜波导中的静磁正向体波与光相互作用
4
作者 何华辉 苏钧 +2 位作者 冯则坤 欧阳嘉 陈传著 《应用科学学报》 CAS CSCD 1992年第4期293-298,共6页
利用新的微扰方法导出了层状YIG薄膜波导中静磁波微扰下的光模式耦合振幅方程;讨论了静磁波-光相互作用Bragg衍射效率和扫描特性;实现了端面耦合方式下的静磁正向体波-光的非共线相互作用,并研究了静磁正向体波频率和功率对其的影响.
关键词 相互作用 薄膜波导 YIG 静磁波
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非晶态As_2S_8半导体薄膜波导的热处理效应
5
作者 邹林儿 陈抱雪 +3 位作者 杜丽萍 刘小青 浜中广见 矶守 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1307-1311,共5页
研究了非晶态As2S8半导体薄膜在热作用下的结构变化效应.采用棱镜耦合技术、喇曼光谱测试技术,确认了As2S8薄膜经热处理后,薄膜密度增高和折射率增大的现象.实验表明,淀积态非晶As2S8半导体薄膜经紫外光饱和照射后,再经退火处理,当光折... 研究了非晶态As2S8半导体薄膜在热作用下的结构变化效应.采用棱镜耦合技术、喇曼光谱测试技术,确认了As2S8薄膜经热处理后,薄膜密度增高和折射率增大的现象.实验表明,淀积态非晶As2S8半导体薄膜经紫外光饱和照射后,再经退火处理,当光折变在退火温度不低于160℃时,出现不完全可逆现象,可逆程度跟退火温度有关.实验显示,退火态非晶As2S8半导体薄膜在玻璃转化温度130℃时退火处理,光折变存在完全可逆现象.光传输实验显示,热处理后的非晶态As2S8半导体薄膜波导,其传输损耗减小了约4dB/cm. 展开更多
关键词 硫系非晶态半导体 As2S8薄膜波导 热处理效应 光传输
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SBN60铁电薄膜横向电光系数及M-Z波导半波电压的研究
6
作者 沈智如 叶辉 +3 位作者 沈伟东 曹晓燕 郭冰 邹桐 《光学仪器》 2004年第2期156-160,共5页
主要介绍MgO衬底上掺K和不掺K的SBN60铁电薄膜的横向电光系数r51的测量,并由此设计一种MgO衬底上M-Z型薄膜波导调制器,并计算出此种波导调制器的半波调制电压,实验说明掺入K离子能减少其半波调制电压。
关键词 铁电薄膜 横向电光系数 半波调制电压 M-Z型薄膜波导调制器
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基于介孔TiO_2薄膜等离子体波导的拉曼光谱技术研究
7
作者 万秀美 陈晨 +3 位作者 范智博 逯丹凤 高然 祁志美 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第13期263-270,共8页
利用溶胶-凝胶分子模板法在表面覆金的玻璃基底上制备275 nm厚的介孔二氧化钛(TiO_2)薄膜,形成等离子体波导(PW)传感芯片.利用菲涅耳公式拟合实验测得的导模共振波长,得出TiO_2薄膜的多孔度约为0.589.基于光学互易定理仿真分析了置于介... 利用溶胶-凝胶分子模板法在表面覆金的玻璃基底上制备275 nm厚的介孔二氧化钛(TiO_2)薄膜,形成等离子体波导(PW)传感芯片.利用菲涅耳公式拟合实验测得的导模共振波长,得出TiO_2薄膜的多孔度约为0.589.基于光学互易定理仿真分析了置于介孔导波层中的电偶极子的拉曼辐射角分布,结果表明:辐射到衬底中的拉曼光包含沿导模共振角辐射的定向信号和辐射角小于全反射角的非定向信号;前者需借助棱镜耦合器才能被探测到,后者可从芯片背面直接被探测到;从导波层直接辐射到空气中的拉曼光称为背向信号,它的角分布呈发散式,几乎不受棱镜耦合器影响;定向信号的最大功率值远大于非定向信号和背向信号的相应值.实验研究了吸附于介孔导波层中的结晶紫分子的拉曼光谱,采用体光束激发方式探测到了定向、非定向和背向拉曼信号,定向信号强度的最大值是非定向信号的2倍多,在使用棱镜耦合器前后测得的背向信号强度几乎不变. 展开更多
关键词 介孔薄膜等离子体波导 背向拉曼 定向拉曼 棱镜耦合器
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基于光栅耦合悬空薄膜波导的折射率传感器
8
作者 韩晶 冯胜飞 《首都师范大学学报(自然科学版)》 2018年第2期26-32,共7页
提出了一种纳米光栅耦合悬空薄膜波导液体折射率传感器件设计方案.纳米光栅位于悬空薄膜波导上表面,被分析液体位于波导下表面.这种薄膜波导将光栅和被分析液体分离开的传感方案,避免了液体与纳米光栅的接触导致其衍射效率下降的问题,... 提出了一种纳米光栅耦合悬空薄膜波导液体折射率传感器件设计方案.纳米光栅位于悬空薄膜波导上表面,被分析液体位于波导下表面.这种薄膜波导将光栅和被分析液体分离开的传感方案,避免了液体与纳米光栅的接触导致其衍射效率下降的问题,同时增加了被分析液体与波导的接触面积,从而增强器件的传感性能.本文首先采用数值模拟方法分析器件各个参数对其传感性能的影响.分析表明,当波导模式越靠近瑞利反常波长时,器件灵敏度越高.然后实验采用3D双光子光刻技术在悬空氮化硅薄膜波导上制备光刻胶纳米光栅.最后通过自搭建光纤光谱测试系统对器件传感性能进行表征,验证了设计方案的可行性. 展开更多
关键词 波导模式 瑞利反常 纳米光栅 3D双光子光刻技术 悬空薄膜波导 折射率传感
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薄膜波导的电光效应
9
作者 陈胜钰 《闽江学院学报》 2001年第5期50-51,共2页
本文指出薄膜波导在电光调制下TEl模与TMm 模之间的耦合情况。
关键词 薄膜波导 电光调制 耦合波方程
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BaTiO3晶体薄膜波导极化导模与晶体双折射和波导结构的相关性
10
作者 韩月 孙德贵 《应用物理》 CAS 2021年第1期62-67,共6页
钛酸钡(BaTiO3)作为具有超高电光效应的铁电晶体,近年来已经成为光电子器件领域研究的前沿和热点之一。本文研究了BaTiO3晶体薄膜波导中光偏振态的变化与晶体双折射和波导结构的关系,从理论上对BaTiO3晶体薄膜波导结构的双折射与光偏振... 钛酸钡(BaTiO3)作为具有超高电光效应的铁电晶体,近年来已经成为光电子器件领域研究的前沿和热点之一。本文研究了BaTiO3晶体薄膜波导中光偏振态的变化与晶体双折射和波导结构的关系,从理论上对BaTiO3晶体薄膜波导结构的双折射与光偏振态之间的关系进行了建模,并通过实验得到了两种不同波导结构得到的输出光偏振态。进一步,结合理论和实验结果,分析了光偏振态变化与晶体双折射和波导结构的关系。 展开更多
关键词 BaTiO3晶体薄膜波导 偏振态 双折射 波导
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有限差分法在非线性薄膜波导中的应用
11
作者 王照明 林铁生 +1 位作者 佘守宪 王薇 《中国人民公安大学学报(自然科学版)》 2000年第4期49-53,共5页
对于芯区为非线性介质、包层和衬底为线性介质的平板波导 ,以克尔型薄膜为例 ,用有限差分法导出了非线性导波的场分布和功率的数学表达式 ,并给出了典型实例的计算数据和曲线。这种方法编程十分简单 ,有普适性 ,可精确求得非线性薄膜波... 对于芯区为非线性介质、包层和衬底为线性介质的平板波导 ,以克尔型薄膜为例 ,用有限差分法导出了非线性导波的场分布和功率的数学表达式 ,并给出了典型实例的计算数据和曲线。这种方法编程十分简单 ,有普适性 ,可精确求得非线性薄膜波导中场强与功率的分布。 展开更多
关键词 非线性光波导 有限差分法 非线性薄膜波导 平板波导 克尔型薄膜 场强 功率 传播特性
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非线性薄膜波导的数值积分法计算
12
作者 王照明 佘守宪 +1 位作者 林铁生 王薇 《中国人民公安大学学报(自然科学版)》 2000年第2期53-56,共4页
对于芯区为克尔型非线性介质、覆盖层和衬底为线性介质的平板波导 ,用数值积分法导出了功率的数学表达式 ,并给出了典型实例的计算数据。这种方法编程十分简单 ,有普适性 ,可精确求得场强和功率的分布。
关键词 非线性薄膜波导 数值积分法 非线性平板波导 导波光学 克尔型介质 计算方法
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凝胶基质有机染料薄膜制备工艺
13
作者 王华珍 郭亨群 《华侨大学学报(自然科学版)》 CAS 2004年第2期140-144,共5页
采用溶胶 凝胶工艺 ,通过旋转涂膜法在玻片上制备有机阳离子染料掺杂薄膜 ,对制膜过程中薄膜的缺陷问题进行了详细的分析和研究 .结果表明 ,溶胶的组分比例、涂膜参数、凝胶干燥和热处理是造成缺陷的主要原因 .通过调整前驱组份配比、... 采用溶胶 凝胶工艺 ,通过旋转涂膜法在玻片上制备有机阳离子染料掺杂薄膜 ,对制膜过程中薄膜的缺陷问题进行了详细的分析和研究 .结果表明 ,溶胶的组分比例、涂膜参数、凝胶干燥和热处理是造成缺陷的主要原因 .通过调整前驱组份配比、控制涂膜参数和干燥过程及温度 ,获得了光学质量良好的有机染料薄膜 .借助高倍电子显微镜、紫外可见吸收光谱等分析测试手段 ,对薄膜的光学性质进行表征 . 展开更多
关键词 溶胶-凝胶 有机阳离子染料 制备工艺 旋转涂膜法 有机染料波导薄膜 波导光学
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光波导材料及制备
14
《中国光学》 EI CAS 1997年第3期58-60,共3页
TN252 97031802He<sup>+</sup>离子注入LiNbO<sub>3</sub>晶体波导的制备及其性能研究=Study of property and formation of He<sup>+</sup> ionsimplantedLiNbO<sub>3</sub> wavegui... TN252 97031802He<sup>+</sup>离子注入LiNbO<sub>3</sub>晶体波导的制备及其性能研究=Study of property and formation of He<sup>+</sup> ionsimplantedLiNbO<sub>3</sub> waveguide[刊,中]/卓壮,李健,王象泰(山东师范大学物理系.山东,济南(250014)),王克明(山东大学物理系.山东,济南(250100)),Y GChow(香港城市理工学院电子工程系.香港)//光学学报.-1996,16(8). 展开更多
关键词 脊形光波导 制备 离子注入 薄膜波导 电子工程 光子学 物理系 性能研究 晶体 镁离子
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光波导材料与制备
15
《中国光学》 EI CAS 2002年第2期64-64,共1页
TN252 2002021263改进的非线性薄膜波导导模的无量纲表示=Improvedsealing rules for guided modes in nonlinear filmwaveguides[刊,中]/佘守宪,王照明,吴柳,林铁生(北方交通大学物理系.北京(100044))∥光电子·激光.—2001,12(3).... TN252 2002021263改进的非线性薄膜波导导模的无量纲表示=Improvedsealing rules for guided modes in nonlinear filmwaveguides[刊,中]/佘守宪,王照明,吴柳,林铁生(北方交通大学物理系.北京(100044))∥光电子·激光.—2001,12(3).—239-243对 Fontaine 所采用的非线性薄膜波导导模的无量纲表示法作了改进,给出了以无量纲参数表示的芯区为克尔型非线性介质,衬底和包层为线性介质的 LNL 型非线性平板光波导的有关计算公式。 展开更多
关键词 非线性介质 薄膜波导 无量纲 平板光波导 北方交通大学 导模 光电子 参数表示 计算公式 表示法
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集成光学、波导理论
16
《中国光学》 EI CAS 2000年第4期62-63,共2页
TN252 2000042653非线性薄膜波导TE模色散特性的多层分割法计算=Dispersion characteris tics of TE modes in nonlinearslab guides:A stratification method[刊,中]/佘守宪(北方交通大学物理系.北京(100044))//光学学报.—1999,19(9).... TN252 2000042653非线性薄膜波导TE模色散特性的多层分割法计算=Dispersion characteris tics of TE modes in nonlinearslab guides:A stratification method[刊,中]/佘守宪(北方交通大学物理系.北京(100044))//光学学报.—1999,19(9).—1212—1217对于芯区为非线性介质。 展开更多
关键词 多层分割法 色散特性 非线性介质 薄膜波导 折射率 扩散沟道光波导 北方交通大学 集成光学 波导理论 分布计算
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接触反应钎焊在薄波导焊接中的应用
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作者 陶明 《电子工艺简讯》 1994年第7期2-3,共2页
关键词 薄膜波导 焊接 钎焊
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8mm波段铁氧体快捷开关研究 被引量:1
18
作者 刘强 钱汝彪 陈巧生 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1995年第1期64-66,共3页
基于空波导中置入纵向磁化铁氧体圆棒结构所具有的传输电磁波极化面旋转的效应,分别设计了矩口正交的渐变型波导结构和正交波导结构.置入铁氧体圆棒,在脉冲电流磁场驱动下,制成了电调铁氧体开关。所制成的开关工作于8mm波段,性... 基于空波导中置入纵向磁化铁氧体圆棒结构所具有的传输电磁波极化面旋转的效应,分别设计了矩口正交的渐变型波导结构和正交波导结构.置入铁氧体圆棒,在脉冲电流磁场驱动下,制成了电调铁氧体开关。所制成的开关工作于8mm波段,性能指标为:正向损耗α_+≤1.0dB,关断隔离α_-≥22dB,输入驻波比VSWR≤1.3,开关响应时间t_S≤5us。 展开更多
关键词 毫米波 铁氧体 开关 薄膜波导
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铁电SBN薄膜电光系数的测量及其在波导中的应用 被引量:1
19
作者 沈智如 叶辉 +2 位作者 沈伟东 曹晓燕 郭冰 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期121-125,共5页
 利用溶胶凝胶法在MgO(001)衬底上获得C轴择优取向的铁电铌酸锶钡(SBN)薄膜,主要介绍MgO(001)衬底上SBN60薄膜及掺入的K离子与Nb离子摩尔比例为1∶3的SBN60薄膜横向电光系数r51的测量,实验测得不掺K的SBN60薄膜r51值为37.6 pm/V,掺K的...  利用溶胶凝胶法在MgO(001)衬底上获得C轴择优取向的铁电铌酸锶钡(SBN)薄膜,主要介绍MgO(001)衬底上SBN60薄膜及掺入的K离子与Nb离子摩尔比例为1∶3的SBN60薄膜横向电光系数r51的测量,实验测得不掺K的SBN60薄膜r51值为37.6 pm/V,掺K的r51值为58.5 pm/V。并由此设计一种基于MgO(001)衬底上的马赫曾德尔型SBN60薄膜波导调制器,计算出在633 nm时,掺K比例为1∶3的此种波导调制器半波调制电压值为10 V,不掺K的半波电压值为16 V,结果说明掺入K离子能增加薄膜的横向电光系数并有效的减少波导的半波调制电压。 展开更多
关键词 薄膜光学 横向电光系数 掺K M-Z型薄膜波导调制器 半波调制电压
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Interface waves between two piezoelectric half-spaces with a semiconductor film 被引量:1
20
作者 YANGJia-shi ZHOUHong-gang 《Journal of Zhejiang University-Science A(Applied Physics & Engineering)》 SCIE EI CAS CSCD 2005年第2期90-96,共7页
In this work propagation of anti-plane (SH) waves in two piezoelectric ceramic half-spaces with a thin layer of a semiconducting material between the half-spaces is studied, and wave attenuation and dispersion caused ... In this work propagation of anti-plane (SH) waves in two piezoelectric ceramic half-spaces with a thin layer of a semiconducting material between the half-spaces is studied, and wave attenuation and dispersion caused by semiconduction as well as wave amplification by a biasing electric field are examined. Key words Piezoelectricity - Semiconductor - Wave - Attenuation - Dispersion Document code A CLC number TH11 展开更多
关键词 PIEZOELECTRICITY SEMICONDUCTOR Wave ATTENUATION Dispersion
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