基于微机电系统波纹振膜的高灵敏度光纤传声器

提出了一种基于微机电系统(MEMS)波纹振膜的高灵敏度光纤传声器,通过波纹振膜研制法布里-珀罗干涉腔,可进一步提升光纤传声器的灵敏度。在理论分析中,应用有限元分析软件COMSOL对振膜进行建模,仿真分析了波纹宽度、波纹深度和波纹间距等参数对振膜灵敏度和工作频率的影响。实验结果表明,基于MEMS波纹振膜研制的光纤传声器样机灵敏度为630 mV/Pa,频率响应范围为50 Hz~8 kHz;且该光纤传声器的结构简单,能很好地应用于远场语音拾取等领域。