基于流量预测的波纹管泵流量脉动抑制控制方法

随着晶圆内部线宽减小,在晶圆制造的湿法清洗工艺中对超纯水杂质颗粒的数量和直径提出了更严格的要求,以提高晶圆生产的产量,因此,对作为流控部件的波纹管泵(BsP)有更高的要求。针对波纹管泵运行过程中流量脉动导致的超洁净水颗粒杂质增加和晶圆良品率下降的问题,提出了一种基于神经网络流量预测模型的流量脉动抑制控制方法。首先,阐述了波纹管泵的工作原理和流量脉动产生的原因;然后,介绍了波纹管泵流固耦合模型的搭建方法,使用神经网络流量预测模型建立了流量脉动前馈控制的理论方法;最后,使用COMSOL仿真进行了流量预测模型验证研究,基于Simulink仿真平台开展了前馈控制应用于流量脉动抑制的验证研究。研究结果表明:在流量为[3.39,5.01]L/min时,预测的绝对流量误差范围为[8.0×10^(-1),1.6×10^(-1)]L/min;当流量为5.0 L/min时,最大流量脉动可从1.6 L/min降至4.0×10^(-1) L/min。在仿真验证中,该方法对波纹管泵脉动抑制有显著的效果,还可以有效提高波纹管的性能。

波纹管泵与阻尼器耦合作用动力学分析与降脉动设计

波纹管泵是半导体湿法制程中实现工艺介质输送的关键零部件,但其采用往复式泵送原理,导致泵液流量与压力脉动较大,限制了其在先进制程的应用。在泵出口加装脉动阻尼器是降低泵液脉动的有效途径,但目前仍缺乏系统的动力学分析与设计方法支撑。本文首先对波纹管泵与脉动阻尼器的耦合作用进行动力学数值模拟,进而揭示阻尼器各关键参数对脉动吸收能力的影响规律,最终通过参数优化实现脉动降低,并通过样机性能测试验证了其有效性。

可用于氘氚气体输运的气体循环增压泵性能测试

针对ITER氚循环增压输运需求,自主研制了气体循环增压泵,包括主泵和后级泵。主泵采用斜盘式往复柱塞结构,3个往复柱塞完成五级压缩,达到粗真空和增压效果。后级泵采用摇摆柱塞式结构,以增加流量并降低极限真空,使入口压力达到50Pa的同时出口压力仍能达到0.4MPa。使用全金属双层波纹管完全隔离主轴系统和工作气腔,保持了输运气体的纯净度。使用金属C型密封圈作为气腔与外部环境的静密封,整机密封漏率低于1.0×10^(-7)Pa·m^(3)/s。测试结果表明,自研气体循环增压泵可以满足氚循环增压输运要求。

泵用波纹管机械密封在化工装置中的应用

化工装置特别是流程性材料在生产中往往离不开各种泵类的输送，由于各化工生产装置的特点，各种物料可能有易燃、易爆、高温、高压、有毒、腐蚀性等特性。一旦出现泄漏现象处理十分困难，轻者停车检修，影响生产，重者危机安全。特别是泵类设备的机械密封经过一段时间的使用，往往出现泄漏现象。针对这一情况，笔者经多年对机械密封问题的潜心研究，找到了一种切实可行的措施，减少泄漏现象的发生。

东芝TBA-120FR全自动生化分析仪常见故障与应对策略

东芝TBA-120FR全自动生化分析仪设计精巧、操作简便、精密度高。自从2013年购进以来,一直稳定高效地为临床提供准确的检验报告。近些年仪器开始出现了老化的迹象,导致在日常工作中出现了一些故障。掌握TBA-120FR常见故障的维修方法并加以总结很有必要。出现故障后及时解决,可以提高工作效率、节省维修费用、确保检验报告的准确发放。

面向半导体湿法制程的超洁净流控技术综述

湿法工艺作为半导体工艺的重要组成部分,通过化学品(酸、碱、溶剂等)与超纯水等液体介质,对晶圆表面进行刻蚀、清洗等处理,其制程需避免颗粒、金属、离子、细菌等污染物带来的工艺缺陷。为此,湿法工艺相关的化学品系统、超纯水系统与制程装备均需采用超洁净流控部件,但相关产品被国外垄断,我国对该技术领域的研究仍处起步阶段。该研究首先阐述了半导体湿法制程对超洁净流控部件的需求,剖析了该类部件的主要技术特征。进而,重点介绍了磁悬浮泵、波纹管泵、隔膜阀以及超声波流量传感器等超洁净流控部件的工作原理与发展历程,并分析了其关键技术与研究现状。最后,对超洁净流控技术的发展做出了展望。