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基于Fabry-Perot的高灵敏度局部放电检测传感器
1
作者
吴明孝
李雪桓
+2 位作者
周少珍
杨威
付刚
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2023年第7期90-93,共4页
提出了一种用于局部放电检测的高灵敏度微型光纤法布里—珀罗(F-P)传感器。利用MEMS技术由单模光纤端面和具有波纹结构的氮化硅(Si3N4)膜构成。实验分析了传感器不同膜片结构的性能。结果表明:所提出的传感器1 kHz声信号下,声压为38.86 ...
提出了一种用于局部放电检测的高灵敏度微型光纤法布里—珀罗(F-P)传感器。利用MEMS技术由单模光纤端面和具有波纹结构的氮化硅(Si3N4)膜构成。实验分析了传感器不同膜片结构的性能。结果表明:所提出的传感器1 kHz声信号下,声压为38.86 mPa时,信噪比为80.18 dB,最小可探测声压为3.07μPa/Hz1/2。此外,该传感器具有平坦的频率响应和线性的声压响应,同时具有极高的灵敏度和微小的尺寸,适合局部放电的检测实际应用。
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关键词
光纤传感器
光纤法布里—珀罗
氮化硅膜
波纹膜结构
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职称材料
题名
基于Fabry-Perot的高灵敏度局部放电检测传感器
1
作者
吴明孝
李雪桓
周少珍
杨威
付刚
机构
国网河南省电力公司电力科学研究院
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2023年第7期90-93,共4页
基金
国网河南省电力公司科技攻关项目(002126)。
文摘
提出了一种用于局部放电检测的高灵敏度微型光纤法布里—珀罗(F-P)传感器。利用MEMS技术由单模光纤端面和具有波纹结构的氮化硅(Si3N4)膜构成。实验分析了传感器不同膜片结构的性能。结果表明:所提出的传感器1 kHz声信号下,声压为38.86 mPa时,信噪比为80.18 dB,最小可探测声压为3.07μPa/Hz1/2。此外,该传感器具有平坦的频率响应和线性的声压响应,同时具有极高的灵敏度和微小的尺寸,适合局部放电的检测实际应用。
关键词
光纤传感器
光纤法布里—珀罗
氮化硅膜
波纹膜结构
Keywords
fiber-optic sensor
fiber Fabry-Perot
silicon nitride membrane
corrugated membrane structure
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TP216.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于Fabry-Perot的高灵敏度局部放电检测传感器
吴明孝
李雪桓
周少珍
杨威
付刚
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2023
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