半导体激光器阵列横向波长分布与键合应力关系的研究

测试了半导体激光器阵列的横向波长分布。结果表明,多数阵列的波长分布出现了V型的"凹陷"。这一分布与器件工作温升引起的横向波长分布相反,根据半导体禁带宽度与应变关系的基本理论,说明这一波长分布反映了键合应力的状态。通过对键合应力产生机理的初步分析,提出了线性应力分布模型,很好地解释了现有的实验数据。实验和分析表明,激光器阵列横向波长分布的测量是键合应力探测的一个有用手段。