移相式数字波面干涉仪中的几个技术问题

光学件波面测量在光学加工业中有着大量的需求 ,近年来相关测量技术发展非常迅速 ,其中移相技术是较典型的代表 ,发展日趋成熟并得到了广泛应用。以PG 15型平面干涉仪为硬件基础 ,采用移相技术 ,解决了其中移相值标定、相位解调、误差处理中的难点 ,研制了数字波面干涉仪。对干涉仪中的这几个关键技术问题进行了讨论 。

激光数字波面干涉仪傅里叶变换移相干涉术

讨论了一种新的干涉图处理方法，能实时快速准确地提取干涉图信息，直接测量波面的位相分布，获得较高的位相分辨率和空间分辨率，使光学波面的检测精度达到λ／１００以上，并且实现了波面的实时显示。

数字波面干涉仪的绝对校正问题

数字波面干涉仪是高精度快速评价光学零件的有效工具，绝对校正是数字波面干涉仪研究中的一项重大技术，本文对数字面干涉仪的绝对校正问题作了一些探讨。

数字波面干涉仪测试光学材料均匀性

本文叙述了一种不受干涉仪系统误差及试样加工误差限制的测试光学材料均匀性的方法。借助于电子计算机,通过对四张干涉图的分析与处理,可以精确计算不包括线性变化的折射率偏差及厚度偏差。给出了两块玻璃的测试结果,并进行了测量精度的分析,对25mm厚的玻璃,精度为4×10^(-7)。

波面数字干涉仪检测技术及其在光刻镜头生产中应用

移相式波面数字干涉仪是国际上八十年代出现的一种最先进的光学检测设备，它采用计算机图象处理技术对干涉图形进行实时动态采样处理，从而实现了光学面形的定量测量和形象化图形显示。本文介绍了我所用ＱＧＹ—１型激光球面干涉仪改造成的移相式激光波面数字干涉仪，在光刻镜头生产中的应用。

波面激光干涉仪在超精密加工中的应用

介绍了超精密加工的发展趋势和技术特点,介绍了波面激光干涉仪的测量原理及使用技巧,重点阐述了如何在超精密加工的多个环节,如工件检测、精密对刀、误差补偿中发挥波面激光干涉仪的作用。

高精度六面体垂直度误差测量的一种新方法

介绍了一种利用波面干涉仪和精度为0.2″的端齿盘组合测量六面体相邻两面垂直度误差的新方法,建立了基于最小二乘算法的评定垂直度误差分布的数学模型,介绍了测量装置及测量实验步骤。该方法不但测量精度高,而且能够获得两个面之间垂直度误差分布数据,可用于六面体面体形位误差的高精度修形加工。针对精度为2″的标准直角棱镜的测量实验表明该方法测量结果可信,精度优于0.5″。可推广到其他多面体类零件形位误差的高精度测量。

内表面间垂直度的高精度测量方法设计与误差分析

针对框体类零件超精密加工的难点问题——内表面间垂直度误差的高精度测量,提出了一种基于波面干涉技术测量的新方法,建立了垂直度测量系统,分析了各调整误差对测量结果的影响。该方法能够实现框体类零件内表面间垂直度误差的高精度测量与评价,并能得到误差的三维分布,测量结果可直接用于零件的确定性修形加工。实验表明,该方法可实现0.6″的综合测量精度。

光学薄膜参数测试

采用ZYGO Markm一GPI数字波面干涉仪对电子束蒸发方法制备的ZrO:薄膜中的残余应力进行了研究,讨论了沉积温度、沉积速率等工艺参量对ZrO:薄膜残余应力的影响。实验结果表明,随着沉积温度及沉积速率的升高,Zr():薄膜中残余应力状态由张应力变为压应力,且压应力值随着沉积温度升高而增大。