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波面激光干涉仪在超精密加工中的应用
被引量:
1
1
作者
刘勇
徐昌语
+2 位作者
王帼媛
刘祎
张建明
《航空精密制造技术》
2013年第4期14-17,共4页
介绍了超精密加工的发展趋势和技术特点,介绍了波面激光干涉仪的测量原理及使用技巧,重点阐述了如何在超精密加工的多个环节,如工件检测、精密对刀、误差补偿中发挥波面激光干涉仪的作用。
关键词
波面激光干涉仪
超精密加工
测量
原文传递
题名
波面激光干涉仪在超精密加工中的应用
被引量:
1
1
作者
刘勇
徐昌语
王帼媛
刘祎
张建明
机构
北京航空精密机械研究所
出处
《航空精密制造技术》
2013年第4期14-17,共4页
文摘
介绍了超精密加工的发展趋势和技术特点,介绍了波面激光干涉仪的测量原理及使用技巧,重点阐述了如何在超精密加工的多个环节,如工件检测、精密对刀、误差补偿中发挥波面激光干涉仪的作用。
关键词
波面激光干涉仪
超精密加工
测量
Keywords
wave laser interferometer
ultra-precision machining
measurement
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
波面激光干涉仪在超精密加工中的应用
刘勇
徐昌语
王帼媛
刘祎
张建明
《航空精密制造技术》
2013
1
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