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波面激光干涉仪在超精密加工中的应用 被引量:1
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作者 刘勇 徐昌语 +2 位作者 王帼媛 刘祎 张建明 《航空精密制造技术》 2013年第4期14-17,共4页
介绍了超精密加工的发展趋势和技术特点,介绍了波面激光干涉仪的测量原理及使用技巧,重点阐述了如何在超精密加工的多个环节,如工件检测、精密对刀、误差补偿中发挥波面激光干涉仪的作用。
关键词 波面激光干涉仪 超精密加工 测量
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