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LED湿法清洗设备CDS设计
被引量:
6
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作者
祝福生
《电子工业专用设备》
2013年第1期43-45,65,共4页
介绍了LED湿法清洗设备CDS的组成及工作原理,对化学液配、补液的实现方法进行了探讨,给出了利用流量传感器提高配、补液精度的解决方案。
关键词
集中供液系统(CDS)
泵浦输送
双套管
下载PDF
职称材料
题名
LED湿法清洗设备CDS设计
被引量:
6
1
作者
祝福生
机构
中国电子科技集团公司第四十五研究所
出处
《电子工业专用设备》
2013年第1期43-45,65,共4页
文摘
介绍了LED湿法清洗设备CDS的组成及工作原理,对化学液配、补液的实现方法进行了探讨,给出了利用流量传感器提高配、补液精度的解决方案。
关键词
集中供液系统(CDS)
泵浦输送
双套管
Keywords
Chemical dispense system (CDS)
Pumping transfer
Double contained
分类号
TN305.97 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
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1
LED湿法清洗设备CDS设计
祝福生
《电子工业专用设备》
2013
6
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