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LED湿法清洗设备CDS设计 被引量:6
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作者 祝福生 《电子工业专用设备》 2013年第1期43-45,65,共4页
介绍了LED湿法清洗设备CDS的组成及工作原理,对化学液配、补液的实现方法进行了探讨,给出了利用流量传感器提高配、补液精度的解决方案。
关键词 集中供液系统(CDS) 泵浦输送 双套管
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