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题名半导体工业洁净室新风处理机组热回收计算
被引量:3
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作者
杨伟荣
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机构
开利空调销售服务(上海)有限公司
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出处
《制冷技术》
2009年第4期37-40,共4页
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文摘
半导体工业洁净室是使用新风处理机组最多的场所,而热回收技术是具有显著节能效果的措施之一。特别用于夏季工况的热回收,使其节约大量的电、煤和气等能量,本文采用EXCEL的计算方法,对不同新风参数和不同盘管露点温度条件下进行热回收计算,同时考虑对于不同地区使用防冻剂的浓度不同,给出相应修正系数。
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关键词
半导体工业
洁净室新风处理机组
热回收
计算
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Keywords
semiconductor industry, MAU for the clean room, heat recovery, calculation
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分类号
TU831
[建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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