粒子与洁净度分级

介绍国际标准《洁净室及相关受控环境》中的基本技术术语和技术概念,以利从业者准确理解并熟悉应用粒子、洁净度分级、洁净度检测等基本概念。

ISO 14644-1:2015标准简介及对某些问题的质疑

国内现行洁净室各相关标准均依据ISO 14644-1:1999制定,目前正处于参照2015版修订中。介绍了ISO 14644-1:2015的主要内容,探讨了2015版在证实等级的检测方法中有关采样点数量相比1999版的较大变动。对2015版采样点数量确定方法的科学性提出了质疑。参考国内多年来洁净室检测的实践经验,提出了有别于ISO 14644-1:2015有关采样点数量确定方法的建议,供国内标准进行相应修订时参考。对国内洁净室及相关受控环境有关标准编制所面临的处境和状况提出了一些看法和建议。