SMIF隔离技术的洁净微环境——洁净技术的新发展

叙述了当今世界空气净化的新概念--SMIF隔离技术。介绍了该项技术的国内研究发展情况。并以详细的技术对比数据显示了SMIF技术将成为21世纪高级别空气净化的主流。

微洁净环境中的颗粒监测

微环境的出现极大地提高了半导体加工过程的洁净度。新的微环境设计原理,例如防护罩、正压强和机械臂的应用使其性能明显地优于传统的设计。安装和调校微洁净环境的过程为精确调试工艺设备提供了的机会,使之能在ISO一级或二级洁净度的环境中开始运行。

净化搬运机械手及其控制系统

介绍净化搬运机械手的总体结构和主从配置的控制系统。它能在完成工作的同时 ,又能与洁净微环境接口密闭。经实际应用 ,效果良好。