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一种新型硅压阻式流速流向传感器的设计 被引量:5
1
作者 魏泽文 秦明 黄庆安 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期1416-1420,共5页
本文设计了一种基于体微机械加工技术、SU-8-光刻胶工艺和压阻检测的新型硅压阻式流速流向传感器。该传感器由立柱和支撑梁构成,这种结构将流体的流速流向信息转化为立柱的倾斜和相应的梁的变形,通过4根正交梁端部的压阻应变计来测量梁... 本文设计了一种基于体微机械加工技术、SU-8-光刻胶工艺和压阻检测的新型硅压阻式流速流向传感器。该传感器由立柱和支撑梁构成,这种结构将流体的流速流向信息转化为立柱的倾斜和相应的梁的变形,通过4根正交梁端部的压阻应变计来测量梁的变形。通过测量压电电阻的阻值变化就可以得到流体的流速和流向。利用惠斯通电桥来获得正弦电压输出。理论分析了器件的结构变形和电压输出,并用有限元方法进行了验证。为该传感器设计了一套基于键合技术的体微机械加工工艺。 展开更多
关键词 微机械 流速流向传感器 压阻
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一种新型硅电容式流速流向传感器的设计 被引量:1
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作者 魏泽文 秦明 黄庆安 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2041-2043,2046,共4页
设计了一种基于体微机械加工技术的新型硅电容式流速流向传感器.这种传感器由圆柱型阻流体和支撑梁构成,这种结构将流体的流速流向信息转化为阻流体的位移,通过四组正交电容来测量位移,从而得到流体的流速和流向.理论计算了传感器的结... 设计了一种基于体微机械加工技术的新型硅电容式流速流向传感器.这种传感器由圆柱型阻流体和支撑梁构成,这种结构将流体的流速流向信息转化为阻流体的位移,通过四组正交电容来测量位移,从而得到流体的流速和流向.理论计算了传感器的结构尺寸并利用有限元分析方法计算了传感器的电容输出. 展开更多
关键词 微机械 流速流向传感器 电容
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磁阻传感器在海流计流向测量中的应用研究 被引量:2
3
作者 王沛云 秦平 陈鲁疆 《海洋技术》 北大核心 2012年第3期17-20,共4页
玻莫合金磁阻传感器在弱磁场测量方面有着巨大的优势,探讨了利用单片机控制技术将HMC1022磁阻传感器应用于数字流向传感器的研制中,以替代模拟方位传感器及码盘式方位传感器在海流计流向测量方面的应用,该流向传感器具有高精度、低功耗... 玻莫合金磁阻传感器在弱磁场测量方面有着巨大的优势,探讨了利用单片机控制技术将HMC1022磁阻传感器应用于数字流向传感器的研制中,以替代模拟方位传感器及码盘式方位传感器在海流计流向测量方面的应用,该流向传感器具有高精度、低功耗等特点。 展开更多
关键词 磁阻传感器 流向传感器 应用
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Double ESOs-based field-oriented control for PMSM drive system with current sensorless 被引量:1
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作者 TENG Qing-fang CUI Hong-wei TIAN Jie 《Journal of Measurement Science and Instrumentation》 CAS CSCD 2019年第2期126-133,共8页
A novel double extended state observers(ESOs)-based field-oriented control(FOC)strategy is developed for three-phase permanent magnet synchronous motor(PMSM)drive systems without any phase current sensor.In principle,... A novel double extended state observers(ESOs)-based field-oriented control(FOC)strategy is developed for three-phase permanent magnet synchronous motor(PMSM)drive systems without any phase current sensor.In principle,two current sensors are essential parts of the drive system for implementation of the feedback to achieve high accuracy control.For this purpose,the double ESOs are created to provide feedback stator currents instead of actual current sensors.The first one of the double ESOs is designed to estimate the benchmark value of q-axis stator current,which is a primary premise;While the second is designed to estimate real-time stator currents of d-axis and q-axis simultaneously.The resultant double ESOs can rapidly and accurately give estimation of the actual currents of a-axis,b-axis and c-axis,and the synthesized double ESOs-based FOC strategy for PMSM drive system without any current sensors has satisfactory control performance and strong robustness.Numerical experiments validate the feasibility and effectiveness of the proposed scheme. 展开更多
关键词 permanent magnet synchronous motor(PMSM)drive system extended state observers(ESOs) current sensorless field-oriented control(FOC)
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