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一种精密流场维持系统的设计与应用
1
作者
罗晋
《电子工业专用设备》
2021年第3期42-45,共4页
对一种精密流场维持系统进行了设计,包括软件模块、维持单元控制模块、供液控制模块、运动平台控制模块等,并通过这一控制系统实现了精密流场的建立、动态维持和撤销等功能。使用流场温度测量系统、流场压力测量系统、流场气泡观测系统...
对一种精密流场维持系统进行了设计,包括软件模块、维持单元控制模块、供液控制模块、运动平台控制模块等,并通过这一控制系统实现了精密流场的建立、动态维持和撤销等功能。使用流场温度测量系统、流场压力测量系统、流场气泡观测系统对相关流场进行了测量与验证,测试结果表明,流场的温度梯度、压力波动、气泡数量等指标达到实验要求。
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关键词
流场
维持系统
流场
温度
测试
流场
压力
测试
流场气泡测试
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职称材料
题名
一种精密流场维持系统的设计与应用
1
作者
罗晋
机构
上海微电子装备(集团)股份有限公司
出处
《电子工业专用设备》
2021年第3期42-45,共4页
文摘
对一种精密流场维持系统进行了设计,包括软件模块、维持单元控制模块、供液控制模块、运动平台控制模块等,并通过这一控制系统实现了精密流场的建立、动态维持和撤销等功能。使用流场温度测量系统、流场压力测量系统、流场气泡观测系统对相关流场进行了测量与验证,测试结果表明,流场的温度梯度、压力波动、气泡数量等指标达到实验要求。
关键词
流场
维持系统
流场
温度
测试
流场
压力
测试
流场气泡测试
Keywords
Flow field maintaining system
Temperature measurement
Pressure measurement
Bubble observation
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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题名
作者
出处
发文年
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1
一种精密流场维持系统的设计与应用
罗晋
《电子工业专用设备》
2021
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