光电测微系统中的聚焦伺服控制

介绍了光电测微系统的基本原理及其构成,分析了该系统的关键环节即聚焦伺服系统,建立了音圈电机的数学模型。在此基础上,详细介绍了采用PID校正网络提高系统的稳定性和响应速度的方法,并用Matlab进行仿真,仿真效果令人满意。

纳米级电容测微系统的研究

本文首先介绍非接触式高精度电容测微仪的基本工作原理,进而详细论述纳米级电容测微技术中所涉及到的非线性误差、环境噪声等的关键技术问题,对典型驱动电缆方案作比较。根据原理模型,给出仪器的主要结构。对仪器自身产生的各种误差进行详细的分析,并提出相应的消除或修正方法。换用不同有效直径的传感器可以使仪器分辨率最小达到0 1nm ,测量范围±2～±5 0 μm ,满量程非线性度优于0 5 %。该仪器可广泛应用于通过串口、USB口通信的高精度的动。

高精度电容测微系统相关电路设计

为了能够进一步提高重力仪电容测微系统的测量精度与动态特性,本文对高精度电容测微系统相关电路设计进行了具体研究,而这一研究使得电容测微系统具备了更便利的操作性以及更强的数据处理、分析功能,由此就可以看出本文研究的可行性。

卡尔曼滤波器在CCD测微系统中的应用

结合ＣＣＤ测微系统的实际，应用信号变换及卡尔曼滤波，解决了噪声干扰的滤波问题，使ＣＣＤ测微系统具有更高测量精度和置信度，其应用范围得到了拓展，满足了非规则物尺寸实时测量的要求．

PSD测微仪研制

论述一种新型数显光电测微仪 ,它的核心器件是位置敏感器件 PSD(PositionSensitive Detector) ,此测微仪具有原理新颖、结构和信号处理电路简单、示值稳定性好且成本低廉等特点。

全系统动态误差建模理论分析与应用

对测量系统进行动态特性和精度理论研究必须建立测量系统的数学模型。针对传统建模方法的缺陷,研究分析了全系统动态误差建模理论与方法,该建模理论与方法充分考虑了系统内部各组成环节的信息,建立的模型能够反映实际测量系统内部各结构单元的传递特性随时间变化对系统测量精度的影响。该建模理论与方法具有普遍的适用意义,不管是动态测量系统还是静态测量系统,用该建模理论与方法都能够建立其全误差模型。最后利用全系统动态误差建模理论与方法建立了测微系统(百分表)的全误差模型,并进行了实验验证。

关于JJ6-1型激光经纬仪结构性能的初步探讨

本仪器选用了J6光学经纬仪的照准架及测微系统。结构紧凑、使用方便、便于维修。