计量圆光栅动态精度的检测技术

本文探讨了计量圆光栅的精度检测问题，提出了一种新的动态检测方法。它不同于目前普遍采用的标准多面棱体静态检测法，后者只能得到圆光栅静止于圆周内若干等分位置的静态误差，而前者采用频谱分析方法、借助计算机处理，实现对圆光栅动态地、连续测量，最终得到其误差函数Ｒ（θ）。本方法采用软件修正技术剔除安装偏心等系统误差，硬件系统使用了高精度的脉冲计数电路，使得检测系统的精度大为提高，并且排除了测量过程中，环境或人为因素对检测精度的影响。本文对这种光栅动态检测技术的原理及应用进行了研究。

高精度角度比较仪

1991年德国联邦物理技术研究院(PTB)开展了高分辨率高精度的新型角度比较仪的研制.其原因是,近年来角度测量技术已获得很大的进展,用于测量与生产技术的新型数字测角系统,受到了现有校准可能性的限制.大型望远镜新的测角系统,一再实现了更为精确的测量步骤.此外,惯性—角度测量技术,如激光陀螺仪和光纤陀螺仪,要求更高级的检测与校准设备.曾在1969年,Johannes Heidenhain公司向PTB提供了一种角度测量台,其分辨率为0.1 are sec.后来,将这一测角台装备了新的电子学系统,分辨能力达到0.01 aresec.1987年Heidenhain公司为PTB制造了一台分光仪,其测角台含0.01 are sec的测量步骤.该公司又于1991年与PTB合作,开发测量步骤为0.001 are sec的角度比较仪.