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纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测
被引量:
5
1
作者
刘兆武
李文昊
+4 位作者
王敬开
姜珊
宋莹
潘明忠
巴音贺希格
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第9期2134-2141,共8页
针对二维工作台测量镜本身的面形误差以及装调等因素引起面形变化对二维工作台定位精度的影响,提出了一种用于纳米精度二维工作台测量镜面形误差的在线检测方法。利用两路激光干涉仪检测面形微分数据的基本原理,分析了零点误差和积分累...
针对二维工作台测量镜本身的面形误差以及装调等因素引起面形变化对二维工作台定位精度的影响,提出了一种用于纳米精度二维工作台测量镜面形误差的在线检测方法。利用两路激光干涉仪检测面形微分数据的基本原理,分析了零点误差和积分累计误差对测量镜面形误差检测的影响并提出了改进方法。利用三路激光干涉仪组成两组不等跨度的检测机构,得到两组工作台测量镜面形的原始数据,通过这两组数据之间的关系修正跨度间的面形细节误差,得到了精确的测量镜面形误差量。对此方法进行了理论推导、仿真计算和实验验证,并将结果与Zygo干涉仪测量得到的离线检测结果进行了对比,结果显示其差异在±10nm之间,且趋势有较好的一致性。得到的结果验证了提出的方法可正确测量和真实地还原测量镜的面形误差。
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关键词
激光干涉仪
纳米二维工作台
测量镜
面形误差
在线检测
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职称材料
组合递向反射镜系统中测量镜的晃动引起的附加光程
2
作者
蒋式弘
陈明仪
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1990年第4期374-377,共4页
组合逆向反射镜系统在二维精密工作台激光定干涉仪中起着立方角棱镜的作用.但它在晃动中易于引起附加光程.本文导出了附加光程的计算公式,提出了减小误差的措施.
关键词
逆向反射
镜
测量镜
附加光程
原文传递
任意点置镜测量既有曲线方法的研究
被引量:
1
3
作者
李家稳
张海燕
+1 位作者
曾学贵
施仲衡
《中国安全科学学报》
CAS
CSCD
2002年第3期51-54,共4页
整正既有曲线是既有线提速改造和工务设计大修中的主要工作之一。传统的整正既有曲线的现场测量工作是将测量仪器置镜在曲线的钢轨上进行。这种方法既不安全 ,又容易引发交通事故 ,且工作效率极低。为改进传统的整正既有曲线的现场测量...
整正既有曲线是既有线提速改造和工务设计大修中的主要工作之一。传统的整正既有曲线的现场测量工作是将测量仪器置镜在曲线的钢轨上进行。这种方法既不安全 ,又容易引发交通事故 ,且工作效率极低。为改进传统的整正既有曲线的现场测量工作 ,满足火车提速和铁路建设的需要 ,提出采用置镜任意点的测量方法 。
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关键词
任意点置
镜
测量
整正既有曲线
提速改造
工务大修
测量
交通安全
铁路系统
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职称材料
楔形镜精密测量装制的研制
4
作者
张家耕
《天津工业大学学报》
CAS
2002年第2期56-57,61,共3页
从锗光楔的测角特点出发 ,采用多自由度精密测微技术 ,同时利用微机控制下的细分驱动技术 ,制成楔形镜精密测量装置 ,提高了测角精度 .实际应用中 ,配合计算机对数字信号的采样及分析处理 ,有效地完成了对楔角的测量 .该测量装置结构紧...
从锗光楔的测角特点出发 ,采用多自由度精密测微技术 ,同时利用微机控制下的细分驱动技术 ,制成楔形镜精密测量装置 ,提高了测角精度 .实际应用中 ,配合计算机对数字信号的采样及分析处理 ,有效地完成了对楔角的测量 .该测量装置结构紧凑 ,传动误差小 。
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关键词
楔形
镜
精密
测量
装置
楔形角
微机
角度
测量
锗光楔
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职称材料
动态图像法与镜下测量法粒度分布结果对比研究
被引量:
5
5
作者
陈麦雨
徐守余
+2 位作者
张立强
王朝
许紫菁
《沉积学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第3期502-510,共9页
动态图像法、镜下测量法在地下沉积岩粒度分析中的应用研究较为薄弱。对塔里木轮南地区X100井三叠系水下分流河道12块砂岩样品分别采用以上两种方法进行粒度测试,将所测得的各组分含量、粒度曲线及粒度参数进行对比分析,并对镜下测量法...
动态图像法、镜下测量法在地下沉积岩粒度分析中的应用研究较为薄弱。对塔里木轮南地区X100井三叠系水下分流河道12块砂岩样品分别采用以上两种方法进行粒度测试,将所测得的各组分含量、粒度曲线及粒度参数进行对比分析,并对镜下测量法粒度结果开展校正研究,以使这两种方法在今后能更广泛地运用于粒度分析。研究结果表明:相较于镜下测量法,动态图像法检测粗组分含量偏大而细组分含量偏小,黏土—粉砂组分和中砂组分是两种方法产生差异的分界线。检测颗粒数目的悬殊和岩石类型是两种方法存在差异的主要原因,测试方法的量程、测量原理和颗粒形状也会造成一定的影响。基于岩性的镜下测量法粒度结果校正,使两种方法的细砂—粗砂组分含量、粒径参数的相关系数从0.25~0.80提高到0.88~0.95,达到了校正基本目的,其准确性得到有效的提高。
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关键词
粒度测试
粒度分析
动态图像法
镜
下
测量
法
对比与校正
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职称材料
在轨道外任意点置镜测量既有曲线
6
作者
邓永红
《铁道建筑》
北大核心
2002年第7期10-11,共2页
介绍运用坐标变换、曲线拟合及最小二乘法等数学原理 ,根据任意点置镜测量得到的既有曲线数据 。
关键词
轨道
任意点置
镜
测量
既有曲线
曲线拟合
最小二乘法
拨量计算
铁路
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职称材料
三峡二期围堰桩号及边坡整治测量
7
作者
崔邦全
《葛洲坝集团科技》
1998年第4期42-43,共2页
三峡工程二期围堰筑工程量1100万m^3,工期仅为26个月,如采用常规方法测量,将不利于指导现场施工,于是采用任意点置镜测量法,其测量值准确及时,为围堰填筑施工赢得了时间。
关键词
二期围堰
任意点
置
镜
测量
桩号
边坡整治
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职称材料
航天器精测数据可视化模型U-SAM设计及实现
被引量:
3
8
作者
张蕊
李雷
+2 位作者
李广云
王力
杨再华
《测绘科学技术学报》
CSCD
北大核心
2017年第4期331-335,共5页
经纬仪测量设备能够获取卫星及星上仪器设备安装的角度和位置等精测数据,而从测量数据本身不易直观分析出航天器壳体结构和星上设备安装的精度。为此设计了一种基于Unity的航天器精测数据可视化模型——U-SAM。本文在分析目前航天器精...
经纬仪测量设备能够获取卫星及星上仪器设备安装的角度和位置等精测数据,而从测量数据本身不易直观分析出航天器壳体结构和星上设备安装的精度。为此设计了一种基于Unity的航天器精测数据可视化模型——U-SAM。本文在分析目前航天器精测数据可视化存在问题的基础上;重点阐述和论证结合立方镜准直测量原理设计U-SAM可视化模型的方法;并测试了基于U-SAM模型的可视化效果。结果表明,基于该模型对测量数据可视化能够形象、直观、快速地反映测量数据目前具有的或在随后的测量过程中可能出现的误差趋势,从而指导工作人员对设备总装、测量手段等进行不断地调整和优化。该模型能够高效地对测量数据进行诊断,检测测量数据的正确性和有效性为航空航天部门提供技术支持,减轻测量工作强度,提高工作效率。
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关键词
航天器
可视化
U-SAM模型
立方
镜
准直
测量
精测数据
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职称材料
激光跨桥法测量龙门数控机床6米间距床身导轨基面间的平行度
9
作者
接明
孙彦斌
+2 位作者
王树杰
王飞
蒋林
《计量技术》
2011年第4期32-35,共4页
随着重大型龙门式数控机床制造技术的不断进步,两分体床身间跨距尺寸为5~6m的已成常见规格,但如何准确测量出大跨距两分体床身导轨的跨距尺寸和平行度,在测试技术领域中仍是一个难题。本文介绍了用激光过桥法测量跨距尺寸和平行度...
随着重大型龙门式数控机床制造技术的不断进步,两分体床身间跨距尺寸为5~6m的已成常见规格,但如何准确测量出大跨距两分体床身导轨的跨距尺寸和平行度,在测试技术领域中仍是一个难题。本文介绍了用激光过桥法测量跨距尺寸和平行度的原理、方法,供机床制造企业借鉴和参考。
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关键词
激光跨桥法
激光线性
测量镜
组
激光角度
镜
组
光学直角器
跨桥
等距.
原文传递
题名
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测
被引量:
5
1
作者
刘兆武
李文昊
王敬开
姜珊
宋莹
潘明忠
巴音贺希格
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学
北京航空航天大学
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第9期2134-2141,共8页
基金
国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.61227901)
文摘
针对二维工作台测量镜本身的面形误差以及装调等因素引起面形变化对二维工作台定位精度的影响,提出了一种用于纳米精度二维工作台测量镜面形误差的在线检测方法。利用两路激光干涉仪检测面形微分数据的基本原理,分析了零点误差和积分累计误差对测量镜面形误差检测的影响并提出了改进方法。利用三路激光干涉仪组成两组不等跨度的检测机构,得到两组工作台测量镜面形的原始数据,通过这两组数据之间的关系修正跨度间的面形细节误差,得到了精确的测量镜面形误差量。对此方法进行了理论推导、仿真计算和实验验证,并将结果与Zygo干涉仪测量得到的离线检测结果进行了对比,结果显示其差异在±10nm之间,且趋势有较好的一致性。得到的结果验证了提出的方法可正确测量和真实地还原测量镜的面形误差。
关键词
激光干涉仪
纳米二维工作台
测量镜
面形误差
在线检测
Keywords
laser interferometer
nano-2D stage
stage mirror
profile deviation
online detection
分类号
TN247 [电子电信—物理电子学]
TH744.3 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
组合递向反射镜系统中测量镜的晃动引起的附加光程
2
作者
蒋式弘
陈明仪
机构
上海科学技术大学精密机械系
出处
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1990年第4期374-377,共4页
文摘
组合逆向反射镜系统在二维精密工作台激光定干涉仪中起着立方角棱镜的作用.但它在晃动中易于引起附加光程.本文导出了附加光程的计算公式,提出了减小误差的措施.
关键词
逆向反射
镜
测量镜
附加光程
Keywords
composite retro-reflector system
additional optical path,
分类号
TH744.3 [机械工程—光学工程]
原文传递
题名
任意点置镜测量既有曲线方法的研究
被引量:
1
3
作者
李家稳
张海燕
曾学贵
施仲衡
机构
北方交通大学土建学院
中国科学院地理科学与资源研究所
出处
《中国安全科学学报》
CAS
CSCD
2002年第3期51-54,共4页
文摘
整正既有曲线是既有线提速改造和工务设计大修中的主要工作之一。传统的整正既有曲线的现场测量工作是将测量仪器置镜在曲线的钢轨上进行。这种方法既不安全 ,又容易引发交通事故 ,且工作效率极低。为改进传统的整正既有曲线的现场测量工作 ,满足火车提速和铁路建设的需要 ,提出采用置镜任意点的测量方法 。
关键词
任意点置
镜
测量
整正既有曲线
提速改造
工务大修
测量
交通安全
铁路系统
Keywords
Adjusting the existing curvilinear railway Reconstruction for speed up Overhaul Survey Traffic safety
分类号
U21 [交通运输工程—道路与铁道工程]
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职称材料
题名
楔形镜精密测量装制的研制
4
作者
张家耕
机构
天津理工学院机械工程系
出处
《天津工业大学学报》
CAS
2002年第2期56-57,61,共3页
基金
天津市教委科技发展基金项目 (2 0 0 1 0 1 0 1 )
文摘
从锗光楔的测角特点出发 ,采用多自由度精密测微技术 ,同时利用微机控制下的细分驱动技术 ,制成楔形镜精密测量装置 ,提高了测角精度 .实际应用中 ,配合计算机对数字信号的采样及分析处理 ,有效地完成了对楔角的测量 .该测量装置结构紧凑 ,传动误差小 。
关键词
楔形
镜
精密
测量
装置
楔形角
微机
角度
测量
锗光楔
Keywords
wedge
microcomputer
precision testing
分类号
TH741.2 [机械工程—光学工程]
下载PDF
职称材料
题名
动态图像法与镜下测量法粒度分布结果对比研究
被引量:
5
5
作者
陈麦雨
徐守余
张立强
王朝
许紫菁
机构
中国石油大学(华东)地球科学与技术学院
出处
《沉积学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第3期502-510,共9页
基金
国家科技重大专项(2017ZX05009001)~~
文摘
动态图像法、镜下测量法在地下沉积岩粒度分析中的应用研究较为薄弱。对塔里木轮南地区X100井三叠系水下分流河道12块砂岩样品分别采用以上两种方法进行粒度测试,将所测得的各组分含量、粒度曲线及粒度参数进行对比分析,并对镜下测量法粒度结果开展校正研究,以使这两种方法在今后能更广泛地运用于粒度分析。研究结果表明:相较于镜下测量法,动态图像法检测粗组分含量偏大而细组分含量偏小,黏土—粉砂组分和中砂组分是两种方法产生差异的分界线。检测颗粒数目的悬殊和岩石类型是两种方法存在差异的主要原因,测试方法的量程、测量原理和颗粒形状也会造成一定的影响。基于岩性的镜下测量法粒度结果校正,使两种方法的细砂—粗砂组分含量、粒径参数的相关系数从0.25~0.80提高到0.88~0.95,达到了校正基本目的,其准确性得到有效的提高。
关键词
粒度测试
粒度分析
动态图像法
镜
下
测量
法
对比与校正
Keywords
grain-size test
grain-size analysis
dynamic image analysis
thin-section measuring analysis
comparison and calibration
分类号
P585.2 [天文地球—岩石学]
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职称材料
题名
在轨道外任意点置镜测量既有曲线
6
作者
邓永红
机构
广州铁路勘测设计研究院
出处
《铁道建筑》
北大核心
2002年第7期10-11,共2页
文摘
介绍运用坐标变换、曲线拟合及最小二乘法等数学原理 ,根据任意点置镜测量得到的既有曲线数据 。
关键词
轨道
任意点置
镜
测量
既有曲线
曲线拟合
最小二乘法
拨量计算
铁路
分类号
U212.332.2 [交通运输工程—道路与铁道工程]
U212.24 [交通运输工程—道路与铁道工程]
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职称材料
题名
三峡二期围堰桩号及边坡整治测量
7
作者
崔邦全
出处
《葛洲坝集团科技》
1998年第4期42-43,共2页
文摘
三峡工程二期围堰筑工程量1100万m^3,工期仅为26个月,如采用常规方法测量,将不利于指导现场施工,于是采用任意点置镜测量法,其测量值准确及时,为围堰填筑施工赢得了时间。
关键词
二期围堰
任意点
置
镜
测量
桩号
边坡整治
分类号
TV522 [水利工程—水利水电工程]
TV551.3 [水利工程—水利水电工程]
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职称材料
题名
航天器精测数据可视化模型U-SAM设计及实现
被引量:
3
8
作者
张蕊
李雷
李广云
王力
杨再华
机构
信息工程大学
华北水利水电大学
北京卫星环境工程研究所
出处
《测绘科学技术学报》
CSCD
北大核心
2017年第4期331-335,共5页
基金
国家自然科学基金项目(41501491)
航天器高精度测量联合实验室基金项目(2014-04)
河南省高等学校重点科研项目(16A520062)
文摘
经纬仪测量设备能够获取卫星及星上仪器设备安装的角度和位置等精测数据,而从测量数据本身不易直观分析出航天器壳体结构和星上设备安装的精度。为此设计了一种基于Unity的航天器精测数据可视化模型——U-SAM。本文在分析目前航天器精测数据可视化存在问题的基础上;重点阐述和论证结合立方镜准直测量原理设计U-SAM可视化模型的方法;并测试了基于U-SAM模型的可视化效果。结果表明,基于该模型对测量数据可视化能够形象、直观、快速地反映测量数据目前具有的或在随后的测量过程中可能出现的误差趋势,从而指导工作人员对设备总装、测量手段等进行不断地调整和优化。该模型能够高效地对测量数据进行诊断,检测测量数据的正确性和有效性为航空航天部门提供技术支持,减轻测量工作强度,提高工作效率。
关键词
航天器
可视化
U-SAM模型
立方
镜
准直
测量
精测数据
Keywords
spacecraft
visualization
U-SAM model
collimating measuring theory of cube mirror
accurate meas-urement data
分类号
P228 [天文地球—大地测量学与测量工程]
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职称材料
题名
激光跨桥法测量龙门数控机床6米间距床身导轨基面间的平行度
9
作者
接明
孙彦斌
王树杰
王飞
蒋林
机构
沈阳机床股份有限公司
出处
《计量技术》
2011年第4期32-35,共4页
文摘
随着重大型龙门式数控机床制造技术的不断进步,两分体床身间跨距尺寸为5~6m的已成常见规格,但如何准确测量出大跨距两分体床身导轨的跨距尺寸和平行度,在测试技术领域中仍是一个难题。本文介绍了用激光过桥法测量跨距尺寸和平行度的原理、方法,供机床制造企业借鉴和参考。
关键词
激光跨桥法
激光线性
测量镜
组
激光角度
镜
组
光学直角器
跨桥
等距.
分类号
TG551.2 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
纳米精度二维工作台测量镜的面形误差在线检测
刘兆武
李文昊
王敬开
姜珊
宋莹
潘明忠
巴音贺希格
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
5
下载PDF
职称材料
2
组合递向反射镜系统中测量镜的晃动引起的附加光程
蒋式弘
陈明仪
《光学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1990
0
原文传递
3
任意点置镜测量既有曲线方法的研究
李家稳
张海燕
曾学贵
施仲衡
《中国安全科学学报》
CAS
CSCD
2002
1
下载PDF
职称材料
4
楔形镜精密测量装制的研制
张家耕
《天津工业大学学报》
CAS
2002
0
下载PDF
职称材料
5
动态图像法与镜下测量法粒度分布结果对比研究
陈麦雨
徐守余
张立强
王朝
许紫菁
《沉积学报》
CAS
CSCD
北大核心
2019
5
下载PDF
职称材料
6
在轨道外任意点置镜测量既有曲线
邓永红
《铁道建筑》
北大核心
2002
0
下载PDF
职称材料
7
三峡二期围堰桩号及边坡整治测量
崔邦全
《葛洲坝集团科技》
1998
0
下载PDF
职称材料
8
航天器精测数据可视化模型U-SAM设计及实现
张蕊
李雷
李广云
王力
杨再华
《测绘科学技术学报》
CSCD
北大核心
2017
3
下载PDF
职称材料
9
激光跨桥法测量龙门数控机床6米间距床身导轨基面间的平行度
接明
孙彦斌
王树杰
王飞
蒋林
《计量技术》
2011
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