浮雕矩形光栅刻槽深度的衍射测量方法

当激光束投射在浮雕光栅上,透过光栅的衍射光斑就反映了浮雕光栅的表面信息。提出一种浮雕矩形光栅刻槽深度的高精度衍射测量方法。分别采用两个激光波长垂直入射光栅表面,测量透过光栅的0级和1级衍射光强比,实现对光栅刻槽深度的间接测量。此测量方法理论精度优于1nm。给出了对石英浮雕矩形光栅的实验测量结果。该测量方法的突出特点是:所用仪器设备简单,对环境噪声不敏感,测量速度快,特别适用于在线检测。

线偏振超高斯光束通过矩形浮雕光栅的传输

利用严格的"逆规则"傅里叶模式理论,研究了超高斯光束在特征尺寸可与波长相比拟的矩形浮雕介质光栅中的传输,分析了光束中心入射角、入射点位置、光束束宽对栅体内光强空间分布及其对称性的影响。最后,数值比较了它们的相对误差为1%时,对光强空间分布形状的影响,结果表明入射点的纵坐标z0的误差可容度最小,束宽w0最大。

厄米-高斯光束通过正弦和矩形浮雕光栅传输特性的比较研究

使用严格的傅里叶模式理论和反射-透射系数矩阵递推算法(RTCM),对不同阶数的厄米-高斯光束通过特征尺寸与波长可比拟的正弦和矩形浮雕光栅中的传输特性做了详细的研究和比较.结果表明,入射光束的初始场分布和浮雕光栅的结构影响浮雕光栅内的光强分布.矩形浮雕光栅对光束匀滑效果优于正弦形浮雕光栅.