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海绵镀膜卷绕系统的设计
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作者 李桂芹 《真空》 CAS 北大核心 2004年第5期54-55,共2页
海绵卷绕系统是真空法连续镀制泡沫镍成套设备的重要组成部分之一,本文主要介绍了海绵卷绕系统的设计及其特点。
关键词 泡沫镍 连续镀腰 海绵卷绕系统
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海绵卷绕真空磁控溅射镀膜过程中的传动控制 被引量:4
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作者 孙清 魏海波 +1 位作者 池世春 栾居里 《真空》 CAS 北大核心 2006年第5期53-55,共3页
根据磁控溅射中海绵的传动特性,建立了传动控制的数学模型,采用带有矢量的变频调速器实现了海绵卷绕真空镀膜过程中的张力控制,满足了磁控溅射中海绵卷绕的传动要求。
关键词 变频调速 张力控制 矢量控制 海绵卷绕系统
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